CN203894534U

CN203894534U - 光阻供应装置

Info

Publication number: CN203894534U
Application number: CN201420330744.5U
Authority: CN
Inventors: 方利
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2014-06-19
Filing date: 2014-06-19
Publication date: 2014-10-22
Anticipated expiration: 2024-06-19

Abstract

本实用新型提供了一种光阻供应装置，包括光阻瓶、供液管路、存储槽以及缓冲槽，所述供液管路的一端连接所述光阻瓶，所述供液管路的另一端连接一机台，所述存储槽设置于所述供液管路上，所述缓冲槽设置于所述光阻瓶与存储槽之间的供液管路上，所述光阻瓶的开口朝下；在光阻瓶与存储槽之间的管路中安装有缓冲槽，可以临时存储管路中的气泡，排除切换光阻瓶时管路中产生的气泡，提高了光阻的利用率，减少成本；在光阻瓶与缓冲槽之间的供液管路中设置有用于监控光阻瓶中的光阻是否用完的第一流量传感器，如果光阻瓶为空瓶，监控装置发送信号给机台，从而提醒操作人员及时切换光阻瓶，提高了生产效率。

Description

光阻供应装置

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造技术领域，具体涉及一种光阻供应装置。

背景技术

在晶片生产过程中，光阻是很重要的原料。一般来说，光阻的价格都是比较昂贵的，但是目前一瓶光阻大约只有68％应用于产品，其余32％都被浪费掉，例如挡片(dummy)上光阻的使用、排除光阻中气泡时造成的光阻浪费等，前者的使用不可避免，而在光阻供应过程中应当尽量避免光阻的浪费。

图1为现有技术中光阻供应装置的结构示意图，如图1所示，所述光阻供应装置包括光阻瓶10、供液管路30以及存储槽20，供液管路30的一端与光阻瓶10连接，另一端连接一机台，存储槽20设置于所述供液管路30上；光阻瓶10用于提供光阻，存储槽20用于存储光阻，防止更换光阻瓶10的过程中无法连续提供光阻给下一工序；在存储槽20两侧的管道30上设置有流量传感器41、42，用于监控流入与流出存储槽20的光阻。

当光阻瓶10中光阻使用完毕之后，需要更换新的光阻瓶，此时，供液管路30需要从光阻瓶10中抽出，待切换新的光阻瓶之后，再放置于新的光阻瓶中继续提供光阻，在此过程中有一段时间供液管路30的一端暴露于空气中，从而造成空气混合在供液管路30的光阻中，导致光阻中产生气泡，从而在存储槽20以及连接到后续工艺的供液管路30中都产生气泡。在光阻涂覆工序中，气泡会直接经由喷嘴喷到晶片上，造成光阻涂覆不连续，影响光阻的覆盖良率，造成光阻的使用率不佳，进而导致最终产品的良率或可靠度降低，甚至造成产品的报废。

一般通过排出一部分光阻来排出气泡以解决此问题，在这个过程中往往要消耗掉大量的光阻和工程师的时间，给半导体厂造成很多不必要的成本损失。统计发现，一瓶光阻中，大约有9.9％的光阻用于排出气泡，光阻的使用量增加，其浪费也会随之增加。

因此，亟需提供一种可排除气泡的光阻供应装置，以增加产品的良率、减少制造成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光阻供应装置，通过较低的成本解决光阻供应装置中的气泡问题。

为实现上述目的，本实用新型提供一种光阻供应装置，其包括：光阻瓶、供液管路、存储槽以及缓冲槽，所述供液管路的一端连接所述光阻瓶，所述供液管路的另一端连接一机台，所述存储槽设置于所述供液管路上，所述缓冲槽设置于所述光阻瓶与存储槽之间的供液管路上，所述光阻瓶的开口朝下。

可选的，还包括设置于所述缓冲槽上的排气装置。

可选的，所述缓冲槽由软塑料制成，所述缓冲槽的位置低于所述光阻瓶的位置。

可选的，光阻供应装置还包括光阻瓶固定装置，所述光阻瓶通过所述光阻瓶固定装置固定于一平台上。

可选的，还包括设置于所述光阻瓶与所述缓冲槽之间的供液管路上的第一流量传感器。

可选的，还包括设置于所述缓冲槽与所述存储槽之间的供液管路上的第二流量传感器。

可选的，还包括设置于所述存储槽与机台之间的供液管路上的第三流量传感器。

可选的，所述缓冲槽为方形或球形。

与现有技术相比，本实用新型所提供的光阻供应装置的有益效果是：

1、本实用新型提供的光阻供应装置在光阻瓶与存储槽之间的管路中安装有缓冲槽，可以临时存储管路中的气泡，排除切换光阻瓶时管路中产生的气泡，提高了光阻的利用率，减少成本；

2、本实用新型提供的光阻供应装置在光阻瓶与缓冲槽之间的供液管路中设置有用于监控光阻瓶中的光阻是否用完的第一流量传感器，如果光阻瓶为空瓶，监控装置发送信号给机台，从而提醒操作人员及时切换光阻瓶，提高了生产效率。

附图说明

图1为现有技术中光阻供应装置的结构示意图。

图2为本实用新型一实施例所提供的光阻供应装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

本实用新型可以利用多种替换方式实现，下面通过较佳的实施例来加以说明，当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的普通技术人员所熟知的一般的替换无疑涵盖在本实用新型的保护范围内。

其次，本实用新型利用示意图进行了详细的描述，在详述本实用新型实施例时，为了便于说明，示意图不依一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。

请参考图2，其为本实用新型一实施例所提供的光阻供应装置的结构示意图，如图2所示，所述光阻供应装置包括光阻瓶100、供应管路200、存储槽300以及缓冲槽400，所述供液管路200的一端连接所述光阻瓶100，所述供液管路200的另一端连接一机台，所述存储槽300设置于所述供液管路200上，所述缓冲槽400设置于所述光阻瓶100与存储槽300之间的供液管路200上。此外，光阻瓶100的开口向下，即倒立固定于一平台上，在所述平台上设置有空洞，供液管路200穿过空洞。光阻在重力作用下向光阻瓶100的底部移动，最终位于光阻瓶100的底部(此处的底部是指图2中光阻瓶100倒立放置时光阻瓶的底部)，使得光阻瓶100中的气泡聚集于光阻瓶100的顶部，从而排除光阻中的气泡。

当光阻瓶100中光阻使用完毕，切换光阻瓶100时，供液管路200需要从光阻瓶100中抽出再放入新的充满光阻的光阻瓶中，期间供液管路200的一端会有一段时间暴露于空气中，造成空气混合在供液管路200的光阻中，而本实用新型在光阻瓶100与存储槽300之间的供液管路200中安装有缓冲槽400，可以临时存储由于切换光阻瓶而在供液管路200中产生的气泡，从而达到排除供液管路200中气泡的目的，最终避免现有技术中排除气泡造成的光阻浪费，提高光阻的利用率，减少制造成本，同时提高了产品的良率。

本实施例中，所述缓冲槽400由软塑料制成，，临时存储在所述缓冲槽300中的气泡可以通过手压的方式把气泡排到与之连接的光阻瓶100中，最终聚集于光阻瓶100的顶部，从而避免使用现有技术的方法排除气泡造成光阻的浪费；在其他实施例中所述缓冲槽400也可以是其他已知的软质材料，需要方便排出气泡至光阻瓶中。所述缓冲槽400的位置低于所述光阻瓶100的位置，被挤压时其中的空气才会上升至光阻瓶100中。

可以理解的是，上述方式需要手动按压缓冲槽400，会花费一定工作时间。在本实用新型的另一实施例中，可以在所述缓冲槽400上设置排气装置，只需要打开排气装置排出所述缓冲槽400中的气泡即可，不需要按压缓冲槽400，相对而言，可以节省时间，降低操作失误，但同时提高了缓冲槽400的成本。此外，所述缓冲槽400不受限于软质材料，可以使用与存储槽300相类似的材料，减小了材料的受限范围，同时，由于不需要挤压气泡，缓冲槽400的位置可以不低于所述光阻瓶100的位置。所述两种排除气泡的方式，可以根据实际的生产需要来选择。所述缓冲槽400为方形或球形，在其他实施例中，也可以为本领域技术人员已知的其他形状。

请继续参考图2，所述光阻供应装置还包括光阻瓶固定装置500，所述光阻瓶100通过所述光阻瓶固定装置500固定于一平台上。如上所述，在所述平台上设置有空洞，所述光阻瓶100被光阻瓶固定装置500固定于平台上，与所述光阻瓶100相连接的供液光路200穿过空洞，缓冲槽400在平台下方或者其他低于光阻瓶100的位置，而存储槽300的位置不限定；需要说明的是，以上是针对缓冲槽400为软质材料而言，若缓冲槽400上设置有排气装置，则所述缓冲槽400的位置也不受限制。

在所述光阻瓶100与所述缓冲槽400之间的供液管路200中还设置有第一流量传感器601，用于监控光阻瓶100中的光阻是否用完，如果所述光阻瓶100为空瓶，所述第一流量传感器601会发出信号给机台，机台报警，从而及时切换光阻瓶，防止光阻供应出现异常，提高生产效率。

在所述缓冲槽400与所述存储槽300之间的供液管路200上设置有第二流量传感器602，在所述存储槽300与机台之间的供液管路200上设置有第三流量传感器603，用于监控流入及流出存储槽300的光阻。例如第二流量传感器602用于监控管路中是否有光阻流过，如果没有光阻，则会发出信号给机台，机台产生报警，从而提醒工作人员判断是否有光阻流入存储槽300中，及时发现异常并进行对策；同样的，所述第三流量传感器603所起的作用与第二流量传感器602相类似，当没有光阻从存储槽300中流出时，可以及时发现异常，避免对后续的生产造成影响。

以下结合图2简单叙述本实用新型提供的光阻供应装置的使用方法。

当光阻瓶100中有光阻时，其使用方法与现有技术的光阻供应装置相同；当光阻瓶100中光阻使用完毕后，第一流量传感器601会发出信号给机台，机台发生报警；切换光阻瓶100，之后排除缓冲槽400中的气泡，如果使用的是软质材料制成的缓冲槽400，则需要手压缓冲槽400将其中存储的气泡排到与之相连的光阻瓶100中，如果使用的是安装有排气装置的缓冲槽400，则需要打开排气装置排除缓冲槽400中的气泡；然后继续光阻的供应。原则上，只有在切换光阻瓶100时才可能在供液管路200中混入空气，从而在缓冲槽400中产生气泡，因此只需要在切换光阻瓶100之后排除缓冲槽400中的气泡即可，但是也不排除在后续提供光阻的过程中在缓冲槽400中产生气泡，因此需要根据实际的光阻供应装置以及工艺条件，决定后续过程中是否还需要进行缓冲槽400中气泡的排除，以及排除的次数。

综上所述，本实用新型提供的光阻供应装置在光阻瓶与存储槽之间的管路中安装有缓冲槽，可以临时存储管路中的气泡，排除切换光阻瓶时管路中产生的气泡，提高了光阻的利用率，减少成本；本实用新型提供的光阻供应装置在光阻瓶与缓冲槽之间的供液管路中设置有用于监控光阻瓶中的光阻是否用完的第一流量传感器，如果光阻瓶为空瓶，监控装置发送信号给机台，从而提醒操作人员及时切换光阻瓶，提高了生产效率。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims

1.一种光阻供应装置，其特征在于，包括光阻瓶、供液管路、存储槽以及缓冲槽，所述供液管路的一端连接所述光阻瓶，所述供液管路的另一端连接一机台，所述存储槽设置于所述供液管路上，所述缓冲槽设置于所述光阻瓶与存储槽之间的供液管路上，所述光阻瓶的开口朝下。

2.如权利要求1所述的光阻供应装置，其特征在于，还包括设置于所述缓冲槽上的排气装置。

3.如权利要求1所述的光阻供应装置，其特征在于，所述缓冲槽由软塑料制成，所述缓冲槽的位置低于所述光阻瓶的位置。

4.如权利要求1所述的光阻供应装置，其特征在于，所述光阻供应装置还包括光阻瓶固定装置，所述光阻瓶通过所述光阻瓶固定装置固定于一平台上。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的光阻供应装置，其特征在于，还包括设置于所述光阻瓶与所述缓冲槽之间的供液管路上的第一流量传感器。

6.如权利要求1至4中任意一项所述的光阻供应装置，其特征在于，还包括设置于所述缓冲槽与所述存储槽之间的供液管路上的第二流量传感器。

7.如权利要求1至4中任意一项所述的光阻供应装置，其特征在于，还包括设置于所述存储槽与机台之间的供液管路上的第三流量传感器。

8.如权利要求1至4中任意一项所述的光阻供应装置，其特征在于，所述缓冲槽为方形或球形。