CN203878214U - 硅片化镀处理用摆动装置 - Google Patents
硅片化镀处理用摆动装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203878214U CN203878214U CN201420251199.0U CN201420251199U CN203878214U CN 203878214 U CN203878214 U CN 203878214U CN 201420251199 U CN201420251199 U CN 201420251199U CN 203878214 U CN203878214 U CN 203878214U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- silicon chip
- mechanical arm
- plating treatment
- manipulator
- chemical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Chemically Coating (AREA)
- Coating With Molten Metal (AREA)
Abstract
本实用新型涉及硅片化镀处理装置领域,具体涉及一种硅片化镀处理用摆动装置。硅片化镀处理用摆动装置,它包括机架、转轮、旋转电机、机械手、机械手臂、硅片花篮和化镀处理槽,机架上端装有旋转电机,转轮连接在旋转电机的转轴上,转轮圆心一侧连接机械手臂上端,机械手臂下端设计装有机械手,机械手抓在硅片花篮的提手上,硅片花篮位于化镀处理槽内,机架下端是化镀处理槽。优点是设计简单,使用方便,无需人工,工作效率高,且安全可靠,硅片表面镀镍、镀金均匀;机械手的结构设计能够把硅片花篮有效地抓紧,防止工作过程中花篮脱落;转轮与机械臂偏心连接设计,使硅片花篮均匀摆动。
Description
技术领域
本实用新型设计硅片化镀处理装置领域,具体涉及一种硅片化镀处理用摆动装置。
背景技术
扩散硅片在化学镀镍、化学镀金中一般用手摆动装有硅片的花篮进行处理,使待镀硅片与化镀溶液充分接触发生反应。这种手动摆动处理存在缺点:摆速不均匀,造成加工硅片表面镀镍、镀金不太均匀,在生产过程中需要人一直维持,人工效率低下,且化学溶液对人体有危害。
发明内容
为了解决上述问题,本实用新型提出了一种硅片化镀处理用摆动装置,设计简单,使用方便,无需人工,工作效率高,且安全可靠,硅片表面镀镍、镀金均匀。
为了达到上述发明目的,本实用新型提出以下技术方案:
硅片化镀处理用摆动装置,它包括机架、转轮、旋转电机、机械手、机械手臂、硅片花篮和化镀处理槽,机架上端装有旋转电机,转轮连接在旋转电机的转轴上,转轮圆心一侧连接机械手臂上端,机械手臂下端设计装有机械手,机械手抓在硅片花篮的提手上,硅片花篮位于化镀处理槽内,机架下端是化镀处理槽。
所述的机械手包括压手块和拉手块,压手块是“L”状,拉手块是挂钩形状,压手块装在拉手快上端,压手块通过螺栓和螺母固定在机械臂上。
所述的转轮与机械手臂是偏心连接,转轮上设计有偏心转轴,机械手臂上端安装在偏心转轴上。
本实用新型的优点是设计简单,使用方便,无需人工,工作效率高,且安全可靠,硅片表面镀镍、镀金均匀;机械手的结构设计能够把硅片花篮有效地抓紧,防止工作过程中花篮脱落;转轮与机械臂偏心连接设计,使硅片花篮均匀摆动。
附图说明
图1是本实用新型的示意图。
图2是本实用新型的前视示意图。
具体实施方式
为了对本实用新型进一步说明,下面结合说明书附图来介绍:
参照附图1和图2,硅片化镀处理用摆动装置,它包括机架1、转轮2、旋转电机3、机械手4、机械手臂5、硅片花篮6和化镀处理槽7,机架1上端装有旋转电机3,转轮2连接在旋转电机3的转轴上,转轮2圆心一侧连接机械手臂5上端,机械手臂5下端设计装有机械手4,机械手4抓在硅片花篮6的提手61上,硅片花篮6位于化镀处理槽7内,机架1下端是化镀处理槽7。
参照图2,所述的机械手4包括压手块41和拉手块42,压手块41是“L”状,拉手块42是挂钩形状,压手块41装在拉手快上端,压手块41通过螺栓和螺母固定在机械臂上。
所述的转轮2与机械手臂是偏心连接,转轮2上设计有偏心转轴21,机械手臂5上端安装在偏心转轴21上。
本实用新型使用时,硅片花篮内装满待处理的硅片,然后把花篮的提手挂在机械手的拉手块上,提手上端在用压手块压住,防止花篮脱落,压手块再通过螺栓和螺母锁紧,启动旋转电机,带动转轮旋转,机械臂在转轮上的偏心转轴的带动下,做出摆臂动作,从而带动机械手和硅片花篮同步摆动,匀速的对硅片进行处理。这种无需人员不停的手动摆动,人员接触化学溶液机会就少就更安全,而且旋转电机可采用变速装置对其摆动速度进行控制调节,旋转摆动时间可以通过时间继电器控制其摆动处理时间。
Claims (3)
1.硅片化镀处理用摆动装置,它包括机架、转轮、旋转电机、机械手、机械手臂、硅片花篮和化镀处理槽,其特征是机架上端装有旋转电机,转轮连接在旋转电机的转轴上,转轮圆心一侧连接机械手臂上端,机械手臂下端设计装有机械手,机械手抓在硅片花篮的提手上,硅片花篮位于化镀处理槽内,机架下端是化镀处理槽。
2.根据权利要求1所述的硅片化镀处理用摆动装置,其特征是所述的机械手包括压手块和拉手块,压手块是“L”状,拉手块是挂钩形状,压手块装在拉手快上端,压手块通过螺栓和螺母固定在机械臂上。
3.根据权利要求1所述的硅片化镀处理用摆动装置,其特征是所述的转轮与机械手臂是偏心连接,转轮上设计有偏心转轴,机械手臂上端安装在偏心转轴上。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201420251199.0U CN203878214U (zh) | 2014-05-16 | 2014-05-16 | 硅片化镀处理用摆动装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201420251199.0U CN203878214U (zh) | 2014-05-16 | 2014-05-16 | 硅片化镀处理用摆动装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN203878214U true CN203878214U (zh) | 2014-10-15 |
Family
ID=51678735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201420251199.0U Expired - Fee Related CN203878214U (zh) | 2014-05-16 | 2014-05-16 | 硅片化镀处理用摆动装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN203878214U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109518235A (zh) * | 2019-01-10 | 2019-03-26 | 江西凤凰光学科技有限公司 | 一种光学模仁镀镍工艺 |
-
2014
- 2014-05-16 CN CN201420251199.0U patent/CN203878214U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109518235A (zh) * | 2019-01-10 | 2019-03-26 | 江西凤凰光学科技有限公司 | 一种光学模仁镀镍工艺 |
CN109518235B (zh) * | 2019-01-10 | 2021-09-10 | 江西凤凰光学科技有限公司 | 一种光学模仁镀镍工艺 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN203878214U (zh) | 硅片化镀处理用摆动装置 | |
CN209682292U (zh) | 一种便于黄桃回收的黄桃切半装置 | |
CN203991535U (zh) | 建筑钢管表面水泥清除机 | |
CN206065379U (zh) | 一种蓄电池铅零件的浇铸模具 | |
CN111530556A (zh) | 一种生物医药加工用研磨装置 | |
CN104155164B (zh) | 一种医用推片装片装置 | |
CN203737362U (zh) | 中药捣药器 | |
CN108391439A (zh) | 毛线加工装置 | |
CN104509941B (zh) | 一种自动椰子切口机 | |
CN204250788U (zh) | 一种履带传送机 | |
CN207125282U (zh) | 柑橘剥皮装置 | |
CN204688457U (zh) | 一种化妆品灌装设备 | |
CN216208868U (zh) | 一种柠檬酸消毒液用滴定检测装置 | |
CN206288272U (zh) | 一种化妆品加工灌装装置 | |
CN212864110U (zh) | 一种用于种衣剂生产的罐装旋盖一体机 | |
CN204975880U (zh) | 一种安全高效的自动滚轮架 | |
CN211658973U (zh) | 一种妇产科检查用输氧装置 | |
CN210177114U (zh) | 一种定量纳米雾化配合变频式喷药机 | |
CN204574748U (zh) | 工业物料干燥挤压成块输送装置 | |
CN207713004U (zh) | 一种新型储料输送装置 | |
CN205103064U (zh) | 一种自动取样装置 | |
CN207186487U (zh) | 一种水果削皮分瓣机 | |
CN109124278B (zh) | 一种多功能削皮机 | |
CN208200335U (zh) | 一种用于液体自动加液及传送灌装装置 | |
CN107968130B (zh) | 硅片清洗制绒工艺 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20141015 Termination date: 20190516 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |