CN203871298U - 光电倍增管阴极制作及封接的排气装置结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光电倍增管阴极制作及封接的排气装置结构，主要用于光电倍增管的阴极制作及封接的真空排气。主要技术方案是：在支架的上部安装一块圆形底板，圆形底板与钟罩形成一个真空室，阴极组件腔体与钟罩真空室联通，MCP组件腔体与分子泵连接形成一个独立的真空腔体，在圆形底板上安装有一个玻壳托架，玻壳托架可以实现玻壳球在阴极组件腔体和MCP组件腔体上方做水平移动。本实用新型通过应用证明：该结构的装置，在制造中将阴极制作和MCP组件分开，避免了MCP组件受到阴极材料的污染，完全满足光电倍增管的工艺要求。

Description

光电倍增管阴极制作及封接的排气装置结构

技术领域

本实用新型属于一种电真空器件制作的排气装置，主要用于光电倍增管的阴极制作及封接的真空排气，也可用于其它类似器件制作的真空排气。

背景技术

光电倍增管是一种高能粒子探测的光电器件，主要用于科研、国防及特殊行业。传统的光电倍增管结构是将全部倍增组件组装封接在玻壳内，玻壳预留真空抽气口，通过真空抽气口对玻壳内部抽真空，外部烘烤加热除气，然后进行阴极制作，阴极制作完成后进行真空抽气口封接。这种光电倍增管结构的缺点是在进行阴极制作时，蒸镀的阴极材料会对倍增组件造成污染，最终导致光电倍增管的量子效率偏低，使产品的性能质量受到影响。现在新的光电倍增管主要结构（见图1），由阴极1、玻壳球2、MCP（微通道板）组件3、封接盘4等组成，尤其是采用MCP作为倍增组件，为了避免MCP组件受到阴极材料的污染，玻壳球和MCP组件是分离的，需要先对玻壳球进行真空烘烤除气，阴极制作，再进行对MCP组件的封接。这样原来的排气装置已不再适用，需要研制一种新的真空排气装置，来满足新的光电倍增管玻壳的真空烘烤除气、阴极制作、MCP组件电子清刷及MCP组件封接的工艺要求。

实用新型内容

本实用新型要解决的主要技术问题是：根据新的光电倍增管的结构特点，研制一种阴极制作及MCP组件封接的真空排气装置结构，将阴极制作和MCP组件封接分开，避免MCP组件受阴极材料的污染，达到满足新的光电倍增管的工艺要求。

本实用新型的主要技术方案：在支架的上部安装一块圆形底板，底部安装一个电机，电机主轴通过联轴器、导向器、丝杆与支杆配合连接，支杆与钟罩通过螺纹连接，圆形底板通过橡胶圈在钟罩降到低位时，形成一个大的钟罩真空室，钟罩的内壁安装有电阻加热带，圆形底板上有接口，接口通过真空插板阀连接主分子泵，接口密封连接阴极组件腔体并与钟罩真空室联通，接口通过真空插板阀连接MCP组件腔体，MCP组件腔体同时与分子泵连接形成一个独立的真空腔体，阴极组件腔体和MCP组件腔体的中心与接口的中心距相等，即以接口中心为圆心，阴极组件腔体和MCP组件腔体分布在同一半径圆弧上，阴极组件腔体内装有阴极组件，MCP组件腔体内装有MCP组件，在阴极组件腔体一侧通过螺钉安装一个短波纹升降器，在MCP组件腔体下方配合安装一个长波纹升降器，在圆形底板上安装一个玻壳托架，玻壳托架上的转轴与手轮配合连接，转动手轮时可以实现玻壳球在阴极组件腔体和MCP组件腔体上方做水平移动。

本实用新型通过实际应用证明：该结构的排气装置，操作方便，结构简单，制造中做到将阴极制作和 MCP组件分开，完全避免了MCP组件受到阴极材料的污染，而且在同一台装置上能够完成光电倍增管制造中的两道关键工序，有效的满足了新的光电倍增管的工艺要求。

附图说明

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细地描述。

图1，是光电倍增管结构的示意图。

图2，是本实用新型的装配结构示意图。

图3，是图2的左视图。

图4，是本实用新型的工作原理示意图。

图5，是本实用新型的圆形底板7形状图。

图6，是MCP组件腔体的结构示意图。。

具体实施方式

参照图2、3、4、5，对本实用新型的主要技术方案进行说明：本实用新型主要由钟罩5、支杆6、圆形底板7、真空插板阀8、支架9、分子泵10、MCP组件腔体11、长波纹升降器12、万向轮13、脚14、联轴器15、短波纹升降器16、阴极组件腔体17、手轮18、控制板19、转轴20、玻壳托架21、电阻加热带22、接线端23、丝杆24、导向器25、电机26、主分子泵27、MCP组件3、阴极组件28等组成。具体结构：在支架9的上部安装一块圆形底板7，底部安装一个电机26（见图3），电机主轴通过联轴器15、导向器25、丝杆24与支杆6配合连接，支杆6与钟罩5通过栓连接，圆形底板7通过橡胶圈在钟罩5降到低位时，形成一个大的钟罩真空室，钟罩5的内壁安装有电阻加热带22，圆形底板7（见图5）上有接口，接口7-1通过真空插板阀8连接主分子泵27（见图3），接口7-2密封连接阴极组件腔体17并与钟罩真空室联通，接口7-3通过真空插板阀8连接MCP组件腔体11，MCP组件腔体同时与分子泵10连接形成一个独立的真空腔体（见图2），阴极组件腔体17和MCP组件腔体11的中心与接口7-4的中心距相等，即以接口7-4中心为圆心，阴极组件腔体17和MCP组件腔体11分布在同一圆弧半径上，阴极组件腔体17内装有阴极组件28（见图4），MCP组件腔体11内装有MCP组件3（见图4），在阴极组件腔体17一侧通过螺钉安装一个短波纹升降器16（见图2），在MCP组件腔体11下方配合安装一个长波纹升降器12（见图2），在圆形底板7上安装一个玻壳托架21，玻壳托架21上的转轴20与手轮18配合连接，转动手轮18时可以实现玻壳球2在阴极组件腔体17和MCP组件腔体11上方做水平移动。

所述的MCP组件腔体11，由大法兰11-4、中法兰11-3、小法兰11-2及连接管11-1组成。

所述的主分子泵27、分子泵10、长波纹升降器12、万向轮13、脚14、联轴器15、短波纹升降器16、控制板19、电阻加热带22、丝杆24、导向器25及电机26等均为购置的标准器件或标准零部件。

参照图2、3、4、6，本实用新型的工作原理： 、将钟罩升起到最高点（由钟罩升降的上限位开关控制），把阴极组件28安装到阴极组件腔体17内，把MCP组件3安装到MCP组件腔体11内（见图4），将阴极组件和MCP组件通过各自的升降器16和12降到腔体的底部（由升降器下限位开关控制）； 、将玻壳球2安装到玻壳托架21上，通过转动手轮18把玻壳球2移动到阴极组件腔体17的正上方，阴极组件28升起进入玻壳球2内部，当阴极组件位于玻壳球2中心时停止（由升降器上限位开关控制），将钟罩5降到最低，钟罩和圆形底板7形成真空室； 、对钟罩内部进行真空抽气，对阴极组件28和玻壳球2进行加热除气，此时将MCP组件腔体11上部的真空插板阀关闭，开始对MCP组件腔体进行真空抽气，对MCP组件3进行加热除气和电子清刷； 、当真空度达到后，对玻壳球进行阴极1的制作（见图1），玻壳球的阴极制作完成后阴极组件28向下移动回到阴极组件腔体底部； 、通过转动手轮18将玻壳球移到MCP组件腔体11的正上方，打开MCP腔体上部的真空插板阀8，将MCP组件的封接盘4向上移动到玻壳球封接处进行封接（见图1），最后光电倍增管的阴极制作及封接工序进行完毕。

本实用新型是排气装置的主要结构，对它的电器线路连接、各个控制部分及附件的结构关系均属现有技术，这里不再一一详述。

Claims (1)

1.光电倍增管阴极制作及封接的排气装置结构，其特征在于：在支架（9）的上部安装一块圆形底板（7），底部安装一个电机（26），电机主轴通过联轴器(15)、导向器(25)、丝杆(24)与支杆(6)配合连接，支杆（6）与钟罩（5）通过螺栓连接，圆形底板（7）通过橡胶圈在钟罩（5）降到低位时，形成一个大的钟罩真空室，钟罩（5）的内壁安装有电阻加热带（22），圆形底板（7）上有接口，接口（7-1）通过真空插板阀（8）连接主分子泵（27），接口（7-2）密封连接阴极组件腔体（17）并与钟罩真空室联通，接口（7-3）通过真空插板阀（8）连接MCP组件腔体（11），MCP组件腔体同时与分子泵（10）连接形成一个独立的真空腔体，阴极组件腔体（17）和MCP组件腔体（11）的中心与接口（7-4）的中心距相等，即以接口（7-4）中心为圆心，阴极组件腔体（17）和MCP组件腔体（11）分布在同一半径圆弧上，阴极组件腔体（17）内装有阴极组件（28），MCP组件腔体（11）内装有MCP组件（3），在阴极组件腔体（17）一侧通过螺钉安装一个短波纹升降器（16），在MCP组件腔体（11）下方配合安装一个长波纹 升降器（12），在圆形底板（7）上安装一个玻壳托架（21），玻壳托架（21）上的转轴（20）与手轮（18）配合连接，转动手轮（18）时可以实现玻壳球（2）在阴极组件腔体（17）和MCP组件腔体（11）上方做水平移动。