CN111584325B - 用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统及操作方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统及操作方法，包括钟罩、载物台、底板以及可旋转地设置在钟罩内的氮气屏蔽装置；钟罩顶部顶面的中心位置设置有第一电机，驱动氮气屏蔽装置转动；载物台设置有多个工位；氮气屏蔽装置包括上部分和下部分，均具有中空腔体，上部分被设置成与中心轴固定连接；上部分和/或下部分设置有排气孔，通过管路与钟罩上设置的充气孔连通；上部分和下部分所包围形成的中空腔体被设置成用以包裹住所述多个工位中的至少一个，并且使多个工位中的至少一个处于未被包围的位置。本发明可在不影响装卸管操作的同时，又可最大限度的对腔室及所安装的零部件进行充氮气保护。

Description

用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统及操作方法
技术领域
本发明涉及光电倍增管制备技术领域，具体而言涉及一种用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统。
背景技术
光电倍增管(PMT)是一种真空光电探测器件，用于微弱光信号的探测，通过高真空排气装置进行制作。高真空排气装置的洁净度与制作的产品性能及寿命息息相关。一般制作的光电倍增管尺寸较小，基于制作的真空腔室也较小，在装卸管过程中可一直充入氮气进行保护，使得制作腔室及安装的零部件有较高的洁净度。但对于大尺寸光电倍增管来说，例如20英寸的光电倍增管，其具有非常大的玻璃壳体，例如北方夜视技术有限公司制备的20英寸的PMT来说，采用多工位的方式制备，即需要同时制作2只及以上，每只管子包括各组件都需要分别装卸。以3只样管为例，在120分钟的装卸管过程中，需要将整个制作腔室暴露大气，这对于真空类光学器件的性能是非常不利的。
按照传统的氮气管道安装方式及充气方式，当设备的钟罩升起时，氮气从设备顶端或底板处充入，由于氮气与空气的分子质量差不多，所以当钟罩完全升起时，由于空间较大，氮气的浓度并不能保证，不但不能达到保护的效果，氮气的耗损量非常大。
发明内容
本发明所解决的技术问题在于：对于大型多工位设备来说，在不影响装卸管操作的同时，又可最大限度的对腔室及所安装的零部件进行充氮气保护。
根据本发明的目的提出一种用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统，包括钟罩、载物台、底板以及可旋转地设置在钟罩内的氮气屏蔽装置；
所述钟罩顶部顶面的中心位置设置有第一电机，第一电机的输出端连接一中心轴，所述中心轴与氮气屏蔽装置固定连接，通过第一电机驱动氮气屏蔽装置转动；
所述钟罩以可升降的方式安装到所述底板上，并且二者安装闭合后所限定的内部的密闭腔体构成制备光电倍增管的空间；
所述载物台以可旋转的方式安装在所述底板上、并位于所述密闭腔体内；所述载物台上设置有用于固定光电倍增管玻璃球壳的多个工位；
所述氮气屏蔽装置包括上部分和下部分，均具有中空腔体，上部分嵌套在下部分的外侧，并且上部分被设置成与所述中心轴固定连接，使得通过钟罩的升降运动带动上部分同步上升和下降运动；
所述氮气屏蔽装置的上部分和/或下部分设置有排气孔，通过管路与钟罩上设置的充气孔连通，用于充入氮气；
其中，所述氮气屏蔽装置的上部分和下部分所包围形成的中空腔体被设置成用以包裹住所述多个工位中的至少一个，并且使多个工位中的至少一个处于未被包围的位置。
进一步地，所述载物台上设置有三个以上的工位，所述氮气屏蔽装置的上部分和下部分所包围形成的中空腔体被设置成用以包裹住所述多个工位中的至少两个，并且使多个工位其中的一个工位处于未被包围的位置。
进一步地，所述氮气屏蔽装置沿着与载物台平行方向的截面呈弧形，弧形的两端点的连线与未被包围的工位相交。
进一步地，所述氮气屏蔽装置的弧形的半径尺寸与载物台的尺寸一致。
进一步地，所述氮气屏蔽装置的下部分的中空宽度小于上部分的中空宽度。
进一步地，其特征在于，所述氮气屏蔽装置的下部分还设置有活动门，活动门与下部分连接，并可沿着竖直方向上下移动。
进一步地，其特征在于，所述氮气屏蔽装置的下部分还设置有活动门，活动门可上下翻转地与下部分连接。
进一步地，所述钟罩为具有下部开口的帽状金属罩。
根据本发明的第二方面还提出一种用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统的操作方法，包括以下步骤：
通过充气孔和排气孔向钟罩内充入氮气，待其内部气压与大气压相同时，将钟罩升起；
此时载物台具有一个工位连同成品的玻璃球壳暴露在大气中，其余工位的成品玻璃球壳在氮气屏蔽装置内部，处在氮气保护环境中；
将暴露在氮气屏蔽装置之外的工位的成品卸下后，并在同一工位安装上新的光电倍增管的玻璃球壳，然后再将氮气屏蔽装置旋转到即将要装卸管的工位，此时除了即将要装卸管的工位暴露在大气外，其余工位均处在氮气屏蔽装置的内部的氮气保护环境中；如此将第二个工位的装卸完毕后，再进行旋转对第三个工位进行装卸管，如此重复上述操作，至少所有工艺的成品被装卸。
由此，本发明提供一种基于大型阴极转移设备的氮气保护系统，该系统在装卸管过程中将设备内部及制管的零配件包裹氮气中进行保护，从而提升产品性能；同时，对于大型多工位设备来说，在不影响装卸管操作的同时，又可最大限度的对腔室及安装的零部件进行保护。
应当理解，前述构思以及在下面更加详细地描述的额外构思的所有组合只要在这样的构思不相互矛盾的情况下都可以被视为本公开的发明主题的一部分。另外，所要求保护的主题的所有组合都被视为本公开的发明主题的一部分。
结合附图从下面的描述中可以更加全面地理解本发明教导的前述和其他方面、实施例和特征。本发明的其他附加方面例如示例性实施方式的特征和/或有益效果将在下面的描述中显见，或通过根据本发明教导的具体实施方式的实践中得知。
附图说明
附图不意在按比例绘制。在附图中，在各个图中示出的每个相同或近似相同的组成部分可以用相同的标号表示。为了清晰起见，在每个图中，并非每个组成部分均被标记。现在，将通过例子并参考附图来描述本发明的各个方面的实施例，其中：
图1是根据本发明制作的光电倍增管大型的排气装置的底板及以上部分的结构图，包括钟罩1、载物台2、底板3的结构框图。
图2是根据本发明的充气屏蔽装置示意图(活动门关闭)。
图3是根据本发明的充气屏蔽装置示意图(活动门开启)。
图4是根据本发明的充气屏蔽装置下半部分的示意图。
图5是根据本发明的充气屏蔽装置与载物台、底板的结构俯视图。
具体实施方式
为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。
在本公开中参照附图来描述本发明的各方面，附图中示出了许多说明的实施例。本公开的实施例不必定意在包括本发明的所有方面。应当理解，上面介绍的多种构思和实施例，以及下面更加详细地描述的那些构思和实施方式可以以很多方式中任意一种来实施，这是因为本发明所公开的构思和实施例并不限于任何实施方式。另外，本发明公开的一些方面可以单独使用，或者与本发明公开的其他方面的任何适当组合来使用。
结合图1-5所示，根据本发明的实施例的用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统，包括钟罩1、载物台2、底板3以及可旋转地设置在钟罩内的氮气屏蔽装置102。钟罩1为具有下部开口的帽状金属罩。
钟罩1以可升降的方式安装到底板3上，并且二者安装闭合后所限定的内部的密闭腔体构成制备光电倍增管的空间。
载物台2以可旋转的方式安装在底板2上、并位于密闭腔体内。
载物台2上设置有用于固定光电倍增管玻璃球壳的多个工位。在本发明的实施例中，以三个工位为例进行说明。
钟罩1的内部顶面的中心位置设置有第一电机106，第一电机的输出端连接一中心轴105，结合图1、2，中心轴105与氮气屏蔽装置固定连接，通过第一电机驱动氮气屏蔽装置转动。
结合图2-5，氮气屏蔽装置包102括上部分102-1和下部分102-2，均具有中空腔体。上部分嵌套在下部分的外侧，并且上部分102-1被设置成与中心轴105固定连接，使得通过钟罩的升降运动带动上部分102-1同步上升和下降运动。优选地，下部分的中空宽度小于上部分的中空宽度。
氮气屏蔽装置102的上部分和/或下部分设置有排气孔108，通过管路与钟罩上设置的充气孔107连通，通过充气孔107将外部的氮气充入，由于氮气的化学性质十分不活泼，只有在高温高压或者是放电的情况下才进行反应，而且无毒无污染，所以本发明在制备光电倍增管过程中用氮气作为保护气体。
结合图2-5所示，氮气屏蔽装置的上部分和下部分所包围形成的中空腔体被设置成用以包裹住多个工位中的至少一个，并且使多个工位中的至少一个处于未被包围的位置。如此，未被包围的工位可进行装卸管的操作，而其他工位则处于中空腔体内，通过内部达到一定的浓度的氮气保护环境进行保护，减少零部件与外部接触，减少外部水汽及空气的污染及氧化，从而达到保护的效果。如此，在不影响装卸管操作的同时，又可最大限度的对腔室及安装的零部件进行保护。
如图所示，优选地，载物台2上设置有三个以上的工位，氮气屏蔽装置的上部分和下部分所包围形成的中空腔体被设置成用以包裹住所述多个工位中的至少两个，并且使多个工位其中的一个工位处于未被包围的位置。
结合图示，氮气屏蔽装置沿着与载物台平行方向的截面呈弧形，弧形的两端点的连线与未被包围的工位相交。
为了便于操作、旋转以及与载物台的配合实现氮气保护，氮气屏蔽装置的弧形的半径尺寸与载物台的尺寸一致。
如图2-5，氮气屏蔽装置的下部分102-2还设置有活动门103，活动门103与下部分连接，并可沿着竖直方向上下移动。
如图2，活动门103的下方设置有门把手104，通过门把手可推动活动门向上运动。当活动门103向上移动推进充气屏蔽装置的上部分时，可通过定位销插入定位孔固定。定位孔分别位于在活动门以及其正上方的充气屏蔽装置的上部分。
在另一些实施例中，氮气屏蔽装置的下部分还设置有活动门，活动门可上下翻转地与下部分连接。尤其是，可在朝上翻转后通过挂钩或者其他定位机构进行固定。
如此，通过活动门的移动，使得氮气屏蔽装置的下部分的空间得以空出，在此状态下，可通过第一电机驱动氮气屏蔽装置旋转以暴露出其他工位，并使得已经装卸管完毕的工位进入到氮气屏蔽装置的内部中空腔体内，实现对其氮气环境的包围和保护，从而可以对暴露出其他工位进行装卸管操作，如此反复上述过程。
结合以上描述的用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统的操作方法，其过程包括以下步骤：
通过充气孔和排气孔向钟罩内充入氮气，待其内部气压与大气压相同时，将钟罩升起；
此时载物台具有一个工位连同成品的玻璃球壳暴露在大气中，其余工位的成品玻璃球壳在氮气屏蔽装置内部，处在氮气保护环境中；
将暴露在氮气屏蔽装置之外的工位的成品卸下后，并在同一工位安装上新的光电倍增管的玻璃球壳，然后再将氮气屏蔽装置旋转到即将要装卸管的工位，此时除了即将要装卸管的工位暴露在大气外，其余工位均处在氮气屏蔽装置的内部的氮气保护环境中；如此将第二个工位的装卸完毕后，再进行旋转对第三个工位进行装卸管，如此重复上述操作，至少所有工艺的成品被装卸。
结合图1以及图5所示，下面以一个具体操作的三工位的排气台为例进行具体的说明。
将成品制作完毕后，打开充气孔107充入氮气，待腔室气压与大气压相同时，将钟罩1升起，整个装置呈图1的状态。此时载物台2有一个工位连同成品暴露在大气中，其余两个工位的成品在充气屏蔽装置102内部，处在氮气保护环境中，充气屏蔽装置呈图2的状态。
如此，将此工位的成品卸下后，在载物台2安装上新的组成光电倍增管的零部件，将活动门103抬起呈图3状态。将充气屏蔽装置102旋转到即将要装卸管的工位，此时活动门处在此工位的正上方，再次将活动门103降下，整个装置呈图2的状态，此时除了即将要装卸管的工位暴露在大气外，其余2个工位均处在氮气保护中。
将第二个工位的装卸完毕后，再将活动门103抬起，将充气屏蔽装置102旋转到即将要装卸管的工位，将活动门103降下，对第三个工位进行装卸管，其余两个工位处在氮气保护环境中。如此，在三个工位全部装卸管完成后，将钟罩1降下，设备呈密封状态，抽真空准备制管。
在整个装卸管的150min内，如无充气屏蔽保护装置，在装卸任何一个工位时，其他两个工位均处在大气中，相当于所有工位均需暴露在大气中150min；而在此充气屏蔽装置的保护下，每个工位暴露在大气的时间在50min左右，减少了三分之二的暴露时间。
由此可见，本发明提出多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统的解决方案，对于大型多工位设备来说，在一个工位进行装卸管时，其他不进行装卸管的工位可处于氮气保护中，可最大限度的对腔室及零部件进行充氮气保护，缩短腔室及零部件在大气中的暴露时间，减少外部水汽及空气的污染及氧化，从而达到保护的效果。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。

Claims (8)

1.一种用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统，其特征在于，包括钟罩、载物台、底板以及可旋转地设置在钟罩内的氮气屏蔽装置；
所述钟罩顶部顶面的中心位置设置有第一电机，第一电机的输出端连接一中心轴，所述中心轴与氮气屏蔽装置固定连接，通过第一电机驱动氮气屏蔽装置转动；
所述钟罩以可升降的方式安装到所述底板上，并且二者安装闭合后所限定的内部的密闭腔体构成制备光电倍增管的空间；
所述载物台以可旋转的方式安装在所述底板上、并位于所述密闭腔体内；所述载物台上设置有用于固定光电倍增管玻璃球壳的多个工位；
所述氮气屏蔽装置包括上部分和下部分，均具有中空腔体，上部分嵌套在下部分的外侧，并且上部分被设置成与所述中心轴固定连接，使得通过钟罩的升降运动带动上部分同步上升和下降运动；
所述氮气屏蔽装置的上部分和/或下部分设置有排气孔，通过管路与钟罩上设置的充气孔连通，用于充入氮气；
其中，所述氮气屏蔽装置的上部分和下部分所包围形成的中空腔体被设置成用以包裹住所述多个工位中的至少一个，并且使多个工位中的至少一个处于未被包围的位置。
2.根据权利要求1所述的用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统，其特征在于，所述载物台上设置有三个以上的工位，所述氮气屏蔽装置的上部分和下部分所包围形成的中空腔体被设置成用以包裹住所述多个工位中的至少两个，并且使多个工位其中的一个工位处于未被包围的位置。
3.根据权利要求1所述的用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统，其特征在于，所述氮气屏蔽装置沿着与载物台平行方向的截面呈弧形，弧形的两端点的连线与未被包围的工位相交。
4.根据权利要求3所述的用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统，其特征在于，所述氮气屏蔽装置的弧形的半径尺寸与载物台的尺寸一致。
5.根据权利要求1所述的用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统，其特征在于，所述氮气屏蔽装置的下部分的中空宽度小于上部分的中空宽度。
6.根据权利要求1-5中任意一项所述的用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统，其特征在于，所述氮气屏蔽装置的下部分还设置有活动门，活动门与下部分连接，并可沿着竖直方向上下移动。
7.根据权利要求1-5中任意一项所述的用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统，其特征在于，所述氮气屏蔽装置的下部分还设置有活动门，活动门可上下翻转地与下部分连接。
8.根据权利要求1所述的用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统，其特征在于，所述钟罩为具有下部开口的帽状金属罩。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102869608A (zh) * 2010-04-12 2013-01-09 Memc电子材料有限公司 包括热辐射屏蔽的用于西门子反应器的钟罩
CN103715034A (zh) * 2013-12-30 2014-04-09 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种光电探测器件转移制作系统及制作方法
CN203871298U (zh) * 2014-05-26 2014-10-08 北方夜视技术股份有限公司 光电倍增管阴极制作及封接的排气装置结构
CN106531593A (zh) * 2016-12-13 2017-03-22 北方夜视技术股份有限公司 用于制造光电倍增管的排气装置及操作方法
CN107706071A (zh) * 2017-08-25 2018-02-16 北方夜视技术股份有限公司 用于调节光电倍增管阴极制备过程真空度的方法、装置及光电倍增管与光电阴极的制作方法
CN107706072A (zh) * 2017-08-25 2018-02-16 北方夜视技术股份有限公司 基于阴极转移设备的光电倍增管的铟封方法及所制备的光电倍增管

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102869608A (zh) * 2010-04-12 2013-01-09 Memc电子材料有限公司 包括热辐射屏蔽的用于西门子反应器的钟罩
CN103715034A (zh) * 2013-12-30 2014-04-09 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种光电探测器件转移制作系统及制作方法
CN203871298U (zh) * 2014-05-26 2014-10-08 北方夜视技术股份有限公司 光电倍增管阴极制作及封接的排气装置结构
CN106531593A (zh) * 2016-12-13 2017-03-22 北方夜视技术股份有限公司 用于制造光电倍增管的排气装置及操作方法
CN107706071A (zh) * 2017-08-25 2018-02-16 北方夜视技术股份有限公司 用于调节光电倍增管阴极制备过程真空度的方法、装置及光电倍增管与光电阴极的制作方法
CN107706072A (zh) * 2017-08-25 2018-02-16 北方夜视技术股份有限公司 基于阴极转移设备的光电倍增管的铟封方法及所制备的光电倍增管

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
真空转移装置中透射式Ag-O-Cs光电阴极的研制;赵文锦等;《光电子技术》;20100628(第02期);全文 *

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