CN108660428A - 带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备 - Google Patents

带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备 Download PDF

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CN108660428A CN201810647653.7A CN201810647653A CN108660428A CN 108660428 A CN108660428 A CN 108660428A CN 201810647653 A CN201810647653 A CN 201810647653A CN 108660428 A CN108660428 A CN 108660428A
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朱刚毅
朱刚劲
朱文廓
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/568—Transferring the substrates through a series of coating stations

Abstract

本发明涉及带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备，包括沿着镀膜生产路线依次设置的进片室、进过渡室、进缓冲室、第一镀膜室、第二镀膜室、出缓冲室、出过渡室、出片室、第一旋转架、观察架、第二旋转架、下料架、过渡架、上料架、第一烘箱组件、第一旋转烘箱、第二烘箱组件、第二旋转烘箱；连通的进缓冲室、第一镀膜室、第二镀膜室、出缓冲室形成相通的真空室；第一镀膜室和第二镀膜室内设有镀膜源；第一旋转架位于出片室的出口处，第二旋转架位于下料架的入口处，第一旋转烘箱位于第一烘箱组件的出口处，第二旋转烘箱位于进片室的入口处；第一烘箱组件、第一旋转烘箱、第二烘箱组件、第二旋转烘箱内均设有大气加热模块。

Description

带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备
技术领域
本发明涉及真空室内工件镀膜的技术领域，尤其涉及带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备。
背景技术
现有技术中，在对工件进行镀膜时，往往需要对工件进行加热，但是现有技术中，都是在真空室内对工件进行加热并镀膜，在真空室内对工件进行加热，真空室内对工件的烘烤效率低，因此需要延长加热烘烤时间，从而延长了工件在真空室内的停留时间，也即提高了镀膜加工的节拍时间，降低了镀膜生产线的整体产能，同时，增加了真空加热的抽真空的设备成本及能耗，增加了生产线整体的真空部件成本投入，且容易引起真空的密封性降低以及传动元件的寿命缩短，而且真空室内会增加材料的放气量，影响镀膜品质。
发明内容
针对现有技术中存在的技术问题，本发明的目的是：提供一种带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备，可在工件进行加热之后对工件进行镀膜。
为了达到上述目的，本发明采用如下技术方案：
带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备，包括沿着镀膜生产路线依次设置的进片室、进过渡室、进缓冲室、第一镀膜室、第二镀膜室、出缓冲室、出过渡室、出片室、第一旋转架、观察架、第二旋转架、下料架、过渡架、上料架、第一烘箱组件、第一旋转烘箱、第二烘箱组件、第二旋转烘箱；
进片室的入口处设有真空锁，进片室和进过渡室之间设有真空锁，进过渡室和进缓冲室之间设有真空锁，出缓冲室和出过渡室之间设有真空锁，出过渡室和出片室之间设有真空锁，出片室的出口处设有真空锁；连通的进缓冲室、第一镀膜室、第二镀膜室、出缓冲室形成相通的真空室；第一镀膜室和第二镀膜室内设有镀膜源；进片室、进过渡室、进缓冲室、第一镀膜室、第二镀膜室、出缓冲室、出过渡室、出片室沿着横向方向依次布置；
第一旋转架位于出片室的出口处，观察架沿着纵向方向布置，第二旋转架位于下料架的入口处，第一旋转烘箱位于第一烘箱组件的出口处，第二旋转烘箱位于进片室的入口处，第二烘箱组件沿着纵向方向布置；第一烘箱组件、第一旋转烘箱、第二烘箱组件、第二旋转烘箱内均设有大气加热模块；下料架、过渡架、上料架、第一烘箱组件沿着横向方向依次布置。
进一步的是：镀膜源为磁控溅射阴极或电弧离子阴极。
进一步的是：进片室、进过渡室、进缓冲室、第一镀膜室、第二镀膜室、出缓冲室、出过渡室、出片室均设置有抽真空机组。
进一步的是：第一镀膜室和第二镀膜室内充入惰性气体。
进一步的是：进片室和出片室的工作压力的范围为0～100Pa，进过渡室和出过渡室的工作压力≤10-1Pa。
进一步的是：第一烘箱组件包括多个依次连接在一起的烘箱，多个烘箱沿着横向方向依次布置，烘箱内均设有大气加热模块。
进一步的是：第二烘箱组件包括多个依次连接在一起的烘箱，多个烘箱沿着纵向方向依次布置，烘箱内均设有大气加热模块。
进一步的是：第一烘箱组件包括六个烘箱。
进一步的是：第二烘箱组件包括两个烘箱。
总的说来，本发明具有如下优点：
镀膜生产设备可在工件进行加热之后对工件进行镀膜。工件在大气中加热，较真空环境的加热效率更高，可以避免在真空室内对工件进行加热，提高了镀膜生产线的整体产能，减少了生产线整体的真空部件成本投入，设备造价更具竞争力。本镀膜生产设备的生产线整合烘烤模块按环形组线，整线作回转循环作业，提高了镀膜品质。
附图说明
图1是本镀膜生产设备的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图和具体实施方式来对本发明做进一步详细的说明。
为了便于统一查看说明书附图里面的各个附图标记，现对说明书附图里出现的附图标记统一说明如下：
1为进片室、2为进过渡室、3为进缓冲室、4为第一镀膜室、5为第二镀膜室、6为出缓冲室、7为出过渡室、8为出片室、9为第一旋转架、10为观察架、11为第二旋转架、12为下料架、13为过渡架、14为上料架、15为第一烘箱组件、16为第一旋转烘箱、17为第二烘箱组件、18为第二旋转烘箱。
为叙述方便，现对下文所说的方位说明如下：下文所说的上下左右方向与图1本身的上下左右方向一致，左右方向即横向方向，上下方向即纵向方向。
结合图1所示，带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备，包括沿着镀膜生产路线依次设置的进片室、进过渡室、进缓冲室、第一镀膜室、第二镀膜室、出缓冲室、出过渡室、出片室、第一旋转架、观察架、第二旋转架、下料架、过渡架、上料架、第一烘箱组件、第一旋转烘箱、第二烘箱组件、第二旋转烘箱。本设备是给基材镀膜的，镀膜生产路线即镀膜生产工序、即基材的运行路线。
进片室的入口处(即进片室的右端)设有真空锁，进片室和进过渡室之间设有真空锁，进过渡室和进缓冲室之间设有真空锁，出缓冲室和出过渡室之间设有真空锁，出过渡室和出片室之间设有真空锁，出片室的出口处(即出片室的左端)设有真空锁。连通的进缓冲室、第一镀膜室、第二镀膜室、出缓冲室形成相通的真空室，即进缓冲室、第一镀膜室、第二镀膜室、出缓冲室之间是相通的。第一镀膜室和第二镀膜室内设有镀膜源。进片室、进过渡室、进缓冲室、第一镀膜室、第二镀膜室、出缓冲室、出过渡室、出片室沿着横向方向依次布置。进片室是基材进入镀膜生产设备的第一个室，进过渡室和出过渡室为了实现真空隔离，即将进缓冲室和进片室隔离开来，将出缓冲室和出片室隔离开来，保障镀膜品质和提高工作效率。出片室则实现将加工完成的产品输送出来。
第一旋转架位于出片室的出口处，第一旋转架可以旋转，使得第一旋转架成横向方向布置或纵向方向布置，第一旋转架旋转成横向方向时，第一旋转架对准出片室的出口处，第一旋转架旋转成纵向方向时，第一旋转架和观察架对接好。观察架沿着纵向方向布置，第二旋转架位于下料架的入口处，第二旋转架可以旋转，使得第二旋转架成横向方向布置或纵向方向布置，第二旋转架旋转成横向方向时，第二旋转架对准下料架的入口处，第二旋转架旋转成纵向方向时，第二旋转架和观察架对接好，第一旋转架、观察架、第二旋转架可以沿着纵向方向依次布置。
第一旋转烘箱位于第一烘箱组件的出口处，第一旋转烘箱可以旋转，使得第一旋转烘箱成横向方向布置或纵向方向布置，第一旋转烘箱旋转成横向方向时，第一旋转烘箱对准第一烘箱组件的出口处，第一旋转烘箱旋转成纵向方向时，第一旋转烘箱和第二烘箱组件对接好。第二旋转烘箱位于进片室的入口处，第二烘箱组件沿着纵向方向布置，第二旋转烘箱可以旋转，使得第二旋转烘箱成横向方向布置或纵向方向布置，第二旋转烘箱旋转成横向方向时，第二旋转烘箱对准进片室的入口处，第二旋转烘箱旋转成纵向方向时，第二旋转烘箱和第二烘箱组件对接好。旋转好后，第一旋转烘箱、第二烘箱组件、第二旋转烘箱可以沿着纵向方向依次布置。第一烘箱组件、第一旋转烘箱、第二烘箱组件、第二旋转烘箱内均设有大气加热模块；下料架、过渡架、上料架、第一烘箱组件沿着横向方向依次布置。第一烘箱组件、第一旋转烘箱、第二烘箱组件、第二旋转烘箱内的大气加热模块对基材进行加热处理。大气加热模块属于现有技术。
镀膜源为磁控溅射阴极或电弧离子阴极。
进片室、进过渡室、进缓冲室、第一镀膜室、第二镀膜室、出缓冲室、出过渡室、出片室均设置有抽真空机组。抽真空机组的一种设置方式是：进片室和出片室设有一个抽真空机组，进过渡室、进缓冲室、出缓冲室、出过渡室分别设有两个抽真空机组，第一镀膜室和第二镀膜室分别设有六个抽真空机组。抽真空机组的数量可根据实际需要合理设置。
第一镀膜室和第二镀膜室内充入惰性气体。
进片室和出片室的工作压力的范围为0～100Pa，进过渡室和出过渡室的工作压力≤10-1Pa。
第一烘箱组件包括多个依次连接在一起的烘箱，多个烘箱沿着横向方向依次布置，烘箱内均设有大气加热模块。第一烘箱组件包括六个烘箱。烘箱之间的排列方式和连接方式及基材如何穿过各个烘箱属于现有的技术。
第二烘箱组件包括多个依次连接在一起的烘箱，多个烘箱沿着纵向方向依次布置，烘箱内均设有大气加热模块。第二烘箱组件包括两个烘箱。
本镀膜生产设备的工作原理：将基材放置在上料架上，然后基材在上料架运行，基材从上料架进入第一烘箱组件，然后基材依次穿过第一烘箱组件的所有烘箱，并从最后一个烘箱内出来，此时第一旋转烘箱旋转成横向方向，基材进入第一旋转烘箱内，然后第一旋转烘箱旋转成纵向方向，基材从第一旋转烘箱内出来，然后基材依次穿过第二烘箱组件的所有烘箱，并从最后一个烘箱内出来，此时，第二旋转烘箱旋转成纵向方向，基材进入第二旋转烘箱内，然后第二旋转烘箱旋转成横向方向，基材从第二旋转烘箱内出来，然后基材进入进片室，然后对进片室进行初步抽真空处理(即粗真空的排气)，打开进片室和进过渡室之间的真空锁，基材进入进过渡室，进入进过渡室后，关闭进片室和进过渡室之间的真空锁，对进过渡室进行进一步的抽真空处理(即高真空的排气)；然后将基材送入进缓冲室，基材在进缓冲室停留设定的时间后(该设定的时间一般很短，只是稍作停留)，再将基材送入第一镀膜室和第二镀膜室，基材在镀膜室内运动，镀膜室内的镀膜源对基材进行镀膜。完成镀膜后，将基材送入出缓冲室，基材在出缓冲室停留设定的时间后，再将基材送入出过渡室，然后由出过渡室进入出片室，最终从出片室输送到第一旋转架，基材达到第一旋转架后，第一旋转架旋转成纵向方向，基材进入观察架，然后进入第二旋转架，然后旋转架旋转成横向方向后，基材进入下料架，此时基材从下料架下来。
在基材进出进片室和出片室、进过渡室和出过渡室、进缓冲室和出缓冲室，均需要打开或关闭相应的真空锁。在基材进入进缓冲室后，由于进过渡室和进缓冲室之间的真空锁被打开，使得镀膜室的真空环境被改变，所以需要在进缓冲室停留设定的时间，直至镀膜室回复到适合镀膜的真空环境。在基材镀膜完成后，也需要在出缓冲室停留设定的时间，等出缓冲室和出过渡室之间的真空锁打开后，基材再进入出过渡室，此时出过渡室处于高真空的状态，基材进入出片室后，向出片室充气。出过渡室和出片室是逐步接近大气环境的过程，进片室和进过渡室是逐步接近真空环境的过程。出过渡室可以将出缓冲室和出片室隔离开，避免出片室的杂质气体污染镀膜室。
基材为冶具等工件，设计专用的大气环境加热模块对工件进行加热烘烤前处理，并按加热烘烤工艺时间及镀膜工作节拍与镀膜生产线匹配。工件在大气中加热，较真空环境的加热效率更高，因为大气环境中的热传导效果更好。且在外部设置加热模块，可以避免在真空室内对工件进行加热，若在真空室内对工件进行加热，真空室内对工件的烘烤效率低，因此需要延长加热烘烤时间，从而延长了工件在真空室内的停留时间，也即提高了镀膜加工的节拍时间，降低了镀膜生产线的整体产能。设置烘箱，烘箱内设置大气加热模块，具有更好的运行节拍效果，大气加热效率更高，加热烘烤的能耗相对真空环境较低；同时在大气中加热，免除了真空加热的抽真空的设备成本及能耗，减少了生产线整体的真空部件成本投入，设备造价更具竞争力。本镀膜生产设备的生产线整合烘烤模块按环形组线，整线作回转循环作业，独立烘烤后进行镀膜加工的话，存在操作复杂，自动化程度不足劳动强度低等弊端。若是在真空室内设置大气加热模块容易引起真空的密封性降低以及传动元件的寿命缩短，而且真空室内会增加材料的放气量，影响镀膜品质。
上述实施例为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备，其特征在于：包括沿着镀膜生产路线依次设置的进片室、进过渡室、进缓冲室、第一镀膜室、第二镀膜室、出缓冲室、出过渡室、出片室、第一旋转架、观察架、第二旋转架、下料架、过渡架、上料架、第一烘箱组件、第一旋转烘箱、第二烘箱组件、第二旋转烘箱；
进片室的入口处设有真空锁，进片室和进过渡室之间设有真空锁，进过渡室和进缓冲室之间设有真空锁，出缓冲室和出过渡室之间设有真空锁，出过渡室和出片室之间设有真空锁，出片室的出口处设有真空锁；连通的进缓冲室、第一镀膜室、第二镀膜室、出缓冲室形成相通的真空室；第一镀膜室和第二镀膜室内设有镀膜源；进片室、进过渡室、进缓冲室、第一镀膜室、第二镀膜室、出缓冲室、出过渡室、出片室沿着横向方向依次布置；
第一旋转架位于出片室的出口处，观察架沿着纵向方向布置，第二旋转架位于下料架的入口处，第一旋转烘箱位于第一烘箱组件的出口处，第二旋转烘箱位于进片室的入口处，第二烘箱组件沿着纵向方向布置；第一烘箱组件、第一旋转烘箱、第二烘箱组件、第二旋转烘箱内均设有大气加热模块；下料架、过渡架、上料架、第一烘箱组件沿着横向方向依次布置。
2.按照权利要求1所述的带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备，其特征在于：镀膜源为磁控溅射阴极或电弧离子阴极。
3.按照权利要求1所述的带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备，其特征在于：进片室、进过渡室、进缓冲室、第一镀膜室、第二镀膜室、出缓冲室、出过渡室、出片室均设置有抽真空机组。
4.按照权利要求1所述的带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备，其特征在于：第一镀膜室和第二镀膜室内充入惰性气体。
5.按照权利要求1所述的带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备，其特征在于：进片室和出片室的工作压力的范围为0～100Pa，进过渡室和出过渡室的工作压力≤10-1Pa。
6.按照权利要求1所述的带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备，其特征在于：第一烘箱组件包括多个依次连接在一起的烘箱，多个烘箱沿着横向方向依次布置，烘箱内均设有大气加热模块。
7.按照权利要求1所述的带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备，其特征在于：第二烘箱组件包括多个依次连接在一起的烘箱，多个烘箱沿着纵向方向依次布置，烘箱内均设有大气加热模块。
8.按照权利要求1所述的带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备，其特征在于：第一烘箱组件包括六个烘箱。
9.按照权利要求1所述的带大气加热模块的环形自动镀膜生产设备，其特征在于：第二烘箱组件包括两个烘箱。
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