CN203820929U - 一种单晶炉真空泵油气分离过滤结构 - Google Patents
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- 238000001914 filtration Methods 0.000 title claims abstract description 55
- 238000000926 separation method Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 28
- 239000000779 smoke Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000013022 venting Methods 0.000 claims description 8
- 230000005484 gravity Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010992 reflux Methods 0.000 abstract 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 abstract 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 67
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000036461 convulsion Effects 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005119 centrifugation Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229940095709 flake product Drugs 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000000295 fuel oil Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Abstract
一种单晶炉真空泵油气分离过滤结构，它包括真空泵和排烟风机，特别之处是：所述排烟风机和真空泵之间设有分离过滤箱，分离过滤箱的位置高于真空泵、低于排烟风机，分离过滤箱两个相互对应的第一侧壁、第二侧壁上分别设有向下倾斜的挡油板，分离过滤箱上部设有排气口，排气口连通排烟风机，分离过滤箱下部设置进气口，进气口连通真空泵。采用本实用新型的设计，当真空泵油通过随排气进入油气分离过滤箱内后，遇到挡油板的阻挡，气流绕过挡板由流过，而气流中含有的油滴在与挡板的碰撞中在重力作用下滴落在油气分离过滤箱底部，经连接管回流到真空泵内，避免了真空泵油外喷污染工作环境，还可以通过真空泵油的回流减少了真空泵油的消耗。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种油气分离装置，特别是单晶炉真空泵油气分离过滤结构。
背景技术
硅单晶片是一种重要的半导体材料，生产硅单晶片首先要通过单晶炉生产出硅单晶棒，再通过切片等后续加工出硅单晶片产品。在硅单晶棒的生产过程中，由单晶炉的顶部通入氩气，由真空泵通过设置在单晶炉下部的排气管道进行抽真空作业。在真空泵开始作业阶段，由于真空泵的突然启动，瞬间会产生巨大的抽动速率，过大的抽动速率容易造成真空泵内压力过大，迫使真空泵内的部分真空泵油随着真空泵抽出的气体一同排出，由于瞬间喷力大，真空泵油有时会喷出，这样即浪费了真空泵油，又对泵房环境造成污染。
实用新型内容
本实用新型的目的在于针对现有技术之弊端，提供一种经油气分离回收油液，有效防止真空泵油液喷出污染环境的单晶炉真空泵油气分离过滤结构。
本实用新型所述问题是以下述技术方案实现的：
一种单晶炉真空泵油气分离过滤结构，包括真空泵和排烟风机，特别之处是：所述排烟风机和真空泵之间设有分离过滤箱，分离过滤箱的位置高于真空泵、低于排烟风机，分离过滤箱两个相互对应的第一侧壁、第二侧壁上分别设有向下倾斜的挡油板，分离过滤箱上部设有排气口，排气口连通排烟风机，分离过滤箱下部设置进气口，进气口连通真空泵。
上述单晶炉真空泵油气分离过滤结构，所述分离过滤箱为立方体形，出气口设置在分离过滤箱的第一侧壁顶部，该侧壁设置第一挡油板、第二挡油板，第一挡油板、第二挡油板相对分离过滤箱的底板向下倾斜角α为5°-10°，分离过滤箱的第二侧壁设置第三挡油板、第四挡油板，第三挡油板、第四挡油板相对分离过滤箱底板向下倾斜角β为40°-45°，所述进气口位于底板靠近第二侧壁处。
上述单晶炉真空泵油气分离过滤结构，所述四块挡油板的位置由低到高按照第三挡油板、第一挡油板、第四挡油板、第二挡油板的顺序配置。
上述单晶炉真空泵油气分离过滤结构，所述分离过滤箱向第二侧壁方向倾斜设置，分离过滤箱底板与水平方向的倾斜角Υ为30-35°。
本实用新型针对解决单晶炉真空泵油外喷问题进行了改进，设计了一种单晶炉真空泵油气分离过滤结构。所述结构在单晶炉真空泵串和排烟风机之间设置了油气分离过滤箱，在油气分离过滤箱两个相对应的侧壁上分别设置倾斜的挡油板。当真空泵油通过随排气进入油气分离过滤箱内后，遇到挡油板的阻挡，气流绕过挡板由流过，而气流中含有的油滴在与挡板的碰撞中在重力作用下滴落在油气分离过滤箱底部，经连接管回流到真空泵内。采用本实用新型的设计，避免了真空泵油外喷污染工作环境，还可以通过真空泵油的回流减少了真空泵油的消耗。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是分离过滤箱结构示意图。
图中各标号清单为：1、单晶炉，2、过滤罐，3真空泵，4、分离过滤箱，4-1、排气口，4-2、进气口，4-3、第一侧壁，4-4、第二侧壁，4-5、底板， 5-1、第一挡油板，5-2、第二挡油板，5-3、第三挡油板，5-4、第四挡油板，6、排烟风机。
具体实施方式
参看图1，本实用新型包括真空泵3和排烟风机6，真空泵连接过滤罐2，过滤罐经管道连接单晶炉1，由真空泵将单晶炉下部的气体抽出。为分离过滤真空泵喷出气体中的油液，本实用新型在排烟风机和真空泵之间增设了分离过滤箱4，分离过滤箱的位置高于真空泵、低于排烟风机，分离过滤箱设有排气口4-1、进气口4-2，排气口连通排烟风机6，进气口连通真空泵3
参看图2，分离过滤箱为立方体形，它包括相互对应的第一侧壁4-3、第二侧壁4-4和底板4-5。所述出气口4-1设置在第一侧壁4-3顶部，该侧壁设有第一挡油板5-1、第二挡油板5-2，第一挡油板、第二挡油板相对分离过滤箱的底板向下倾斜角α为5°-10°。在分离过滤箱的第二侧壁4-4设有第三挡油板5-3、第四挡油板5-4，第三挡油板、第四挡油板相对分离过滤箱底板向下倾斜角β为40°-45°。所述进气口4-2位于底板靠近第二侧壁处。四块挡油板的位置由低到高分布顺序为第三挡油板、第一挡油板、第四挡油板、第二挡油板，形成鱼骨形分布。
参看图1、图2，分离过滤箱4的安装可采用吊挂或支撑等方式向第二侧壁4-4方向倾斜固定，使分离过滤箱的底板4-5与底面的倾斜角Υ为30-35°。该安装方式进气口4-2处于最低点，分离出的油液向进气口聚集并及时由进气口回流到真空泵内，不会在分离过滤箱内储留。分离过滤箱按照上述倾斜方式固定后，第三挡油板5-3、第四挡油板5-4相对地面倾斜5-15°，第一挡油板5-1、第二挡油板5-2相对地面倾斜35-45°。上述结构在发生真空泵喷油现象时，油气由进气口喷入分离过滤箱内，上行的油气依次流过第三挡油板、第一挡油板、第四挡油板、第二挡油板，在上述挡油板的多次阻挡分离作用下油气分离，气体经排气口由排烟风机排出，分离出的油液回流到真空泵内。
Claims (4)
1.一种单晶炉真空泵油气分离过滤结构，包括真空泵（3）和排烟风机（6），其特征在于：所述排烟风机和真空泵之间设有分离过滤箱（4），分离过滤箱的位置高于真空泵、低于排烟风机，分离过滤箱两个相互对应的第一侧壁、第二侧壁上分别设有向下倾斜的挡油板，分离过滤箱上部设有排气口（4-1），排气口连通排烟风机，分离过滤箱下部设置进气口（4-2），进气口连通真空泵。
2.根据权利要求1所述的单晶炉真空泵油气分离过滤结构，其特征在于，所述分离过滤箱（4）为立方体形，出气口（4-1）设置在分离过滤箱的第一侧壁（4-3）顶部，该侧壁设置第一挡油板（5-1）、第二挡油板（5-2），第一挡油板、第二挡油板相对分离过滤箱的底板（4-5）向下倾斜角α为5°-10°，分离过滤箱的第二侧壁（4-4）设置第三挡油板（5-3）、第四挡油板（5-4），第三挡油板、第四挡油板相对分离过滤箱底板向下倾斜角β为40°-45°，所述进气口位于底板靠近第二侧壁处。
3.根据权利要求2所述的单晶炉真空泵油气分离过滤结构，其特征在于，所述四块挡油板的位置由低到高按照第三挡油板、第一挡油板、第四挡油板、第二挡油板的顺序配置。
4.根据权利要求3所述的单晶炉真空泵油气分离过滤结构，其特征在于，所述分离过滤箱向第二侧壁（4-4）方向倾斜设置，分离过滤箱底板与水平方向的倾斜角Υ为30-35°。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420109236.4U CN203820929U (zh) | 2014-03-12 | 2014-03-12 | 一种单晶炉真空泵油气分离过滤结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420109236.4U CN203820929U (zh) | 2014-03-12 | 2014-03-12 | 一种单晶炉真空泵油气分离过滤结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203820929U true CN203820929U (zh) | 2014-09-10 |
Family
ID=51476449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420109236.4U Expired - Fee Related CN203820929U (zh) | 2014-03-12 | 2014-03-12 | 一种单晶炉真空泵油气分离过滤结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203820929U (zh) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
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| TR01 | Transfer of patent right |
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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