CN203792202U - 安装模具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种安装模具，包括相互连接的本体和盖体，分别在本体和盖体上设置目标件和安装件，通过目标件和安装件的闭合接触来将目标件和安装件安装到一起。另外，在目标件和安装件上分别设置了固定结构，避免了安装件在其容置空间内的移动而影响安装的情况。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种安装模具。
背景技术
光刻是通过对准、曝光等一系列步骤将光罩上的目标图案转移到晶圆上的工艺过程。通常，光罩图案设置在其相对中部的位置，光罩边缘为无图案区域。如图5所示，在生产光罩时，此图案部分所在的面通常被覆盖上一层保护膜30，以起到保护作用，而在另一边的周边通常会设置固定装置20，使得光罩在使用时方便被固定住。
在光罩生产过程中，一般是把固定装置20放在一固定槽中并在固定装置20表面涂上胶水，然后将贴完保护膜30的光罩按在所述固定装置20上以实现粘贴固定。但是在实际操作中，固定槽的位置通常大于固定装置的大小，而且固定槽的下方存在弹性件，胶水极易从固定装置表面漏到下方导致弹性件实效。
综上所述，提供一种新式的安装模具并解决上述问题是十分必要的。
实用新型内容
本实用新型提供一种安装模具，包括用于放置一目标件的本体和用于放置一安装件的盖体，其中所述本体与所述盖体合并时能够将所述安装件安装到所述目标件上。
进一步的，所述盖体上设置有盖体凹槽以放置所述安装件。
进一步的，所述盖体凹槽的壁采用可吸附所述安装件的材料制成。
进一步的，所述安装模具还包括设置于所述本体上的若干凸柱，以固定所述目标件。
进一步的，所述安装模具还包括设置于所述本体一侧的推送件，以推送所述目标件至所述凸柱固定。
进一步的，所述安装模具还包括设置于所述本体上的目标件支撑结构。
进一步的，所述安装模具还包括一翻转件，所述盖体通过所述翻转件连接所述本体。
进一步的，所述本体与盖体均为矩形，所述翻转件分别连接所述本体与所述盖体的一边。
进一步的，所述本体上设置位于所述目标件两侧的本体凹槽。
进一步的，所述本体上设置位于所述目标件下方的凹陷部以容纳所述目标件上的一凸起部。
进一步的，安装模具的所述目标件是光罩，所述安装件是所述光罩的固定装置。综上所述，本实用新型的安装模具包括相互连接的本体和盖体，分别在本体和盖体上设置目标件和安装件，通过目标件和安装件的闭合接触来将目标件和安装件安装到一起。另外，在目标件和安装件上分别设置了固定结构，避免了安装件在其容置空间内的移动而影响安装的情况。
附图说明
图1为本实用新型一实施例的安装模具本体的结构示意图。
图2为本实用新型一实施例的安装模具盖体的结构示意图。
图3为本实用新型一实施例的安装模具的总体结构图。
图4为本实用新型一实施例的翻转件结构示意图。
图5为本实用新型所适用的光罩、光照保护膜以固定装置的结构图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
图3为本实用新型一实施例的安装模具的总体结构图。如图3所示，安装模具包括用于放置目标件10的本体100和用于放置安装件20的盖体200，本体100和盖体200通过翻转件300连接，使得盖体200可以以翻转件300为轴相对本体100转动并和本体100合并。
在本实施例中，本体100和盖体200的形状均为矩形，并且其长边的长度相等，翻转件300的数量为两个，分别连接本体100和盖体200的一长边，且本体100和盖体200对齐设置。本体100和盖体200的材料可为塑料或特氟龙。本实施例可通过的本体100和盖体200的相对转动并合并，以将安装件20安装到目标件10上，图3中的箭头即盖体200相对于本体100转动的方向。
如图4所示，翻转件300包含两个连接部310和设置于两个连接部310中间的转轴320，两个连接部310可沿转轴320转动以张开和闭合。在本实施例中，本体100和盖体200的一边分别固定于每个翻转件的两个连接部310上，连接部310上包含孔洞，以便于固定本体100和盖体200。
如图1所示，安装模具的本体100为矩形板状，其表面具有若干凸柱110以固定目标件10。所述凸柱100凸起于本体100的表面，通过对目标件10的边缘止挡来固定目标件10，防止其在本体100的表面滑动。另外，本体100的一侧设置推送件140以推送所述目标件10至所述凸柱110固定。推送件140推送目标件10到位后，目标件10的三条边被凸柱110止挡而停住，同时目标件10的另一条边被推送件140挡住，如此即可将目标件10牢牢地固定在本体100上。图3中的本体100即为目标件10被固定安装后的情形。
本实施例中，所述推送件140和凸柱110的材料均为特氟龙。推送件140的数量为2，设置于本体100上远离凸柱110的一侧。具体地，推送件140为螺丝，通过转动而推送目标件10直至和凸柱110接触。
另外，本体100上还设置目标件支撑结构150，当目标件10固定于本体100后，其下方通过若干目标件支撑结构150支撑其边缘，使得目标件10的中部悬空放置，以防其跟本体100的表面接触而磨损。本体100上还设置有本体凹槽130，位于目标件10的两侧，方便放置时容纳放置器具，比如用手放入目标件10时，捏合目标件10的两根手指可被本体凹槽130容置，以更贴合本体100的表面而放置目标件10。本体100还包含位于其中部的一凹陷部120。
如图2所示，安装模具的盖体200为矩形板状，其表面具有盖体凹槽210，适于放置安装件20。盖体凹槽210的壁采用可吸附所述安装件20的材料制成，因此在放入安装件20后盖体凹槽210即可吸附住安装件20。图3中的盖体200即为安装件10被吸附在盖体凹槽210后的情形。
下面描述本实用新型的本实施例中安装模具的安装过程。
安装时，先手持目标件10将其放到本体100的相应位置，使得目标件支撑结构150支撑起目标件10，此时手指进入本体凹槽130。放好后手指离开目标件10，转动推送件140推动目标件10直至其顶住凸柱110。之后放置安装件20到盖体凹槽210使其被吸附，然后在安装件20露出的一侧涂上粘贴剂，然后将盖体200翻转至紧贴本体100，向下按住盖体200使得安装件20涂粘贴剂的一侧紧紧接触目标件10，最后待安装件20和目标件10粘贴完成后，将盖体200翻转至原处，取下贴好安装件20的目标件10即可。
在本实施例中，目标件10为光罩，其带有图案的一面朝下，即朝向本体100放置，此时目标件支撑结构150支撑起光罩的边缘，即无图案的区域，而使中间有图案的区域被悬空，防止其与本体100的表面接触而被磨损；安装件20为固定装置，其目的是安装到光罩的侧边，以便于在后续应用光罩的制程中通过固定装置将光罩固定住。所述固定装置为铁片，因此盖体凹槽210的壁采用磁铁材料以吸附固定装置。
在传统的光罩制作过程中，通常过程是先贴光罩保护膜再贴固定装置，如此一来当固定装置粘贴出现问题需要将其拆下重贴，易损坏已粘贴的光罩保护膜。在应用本实用新型所述的安装模具后，可以实现先贴安装结构后贴光罩保护膜，有效避免拆固定装置而导致光罩保护膜损害的问题。当然，对于一些已经按照传统的方法首先贴好光照保护膜的光罩，在拆下贴片重贴的时候，亦可使用本实用新型提供的安装模具。此时，光罩为已贴好光照保护膜的，在将其放置到本体100上时，其贴过保护膜的一侧朝下，即靠近本体100的方向。因此，本体100上还包含位于其中部的一凹陷部120，为了容置光罩表面的凸起部，即光罩保护膜。
综上所述，本实用新型通过设置相互连接的本体100和盖体200，并分别将目标件10和安装件20固定于本体100和盖体200上。而在盖体200上设置相当于安装件20大小的盖体凹槽210，避免了安装件20盖体凹槽里滑动。在盖体凹槽内采用可吸附安装件20的材料，取消了凹槽底部的弹性件以防止弹性件的损害，达到了更好地安装效果。
显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。
Claims (11)
1.一种安装模具，其特征在于：包括用于放置一目标件的本体和用于放置一安装件的盖体，其中所述本体与所述盖体合并时能够将所述安装件安装到所述目标件上。
2.如权利要求1所述的安装模具，其特征在于：所述盖体上设置有盖体凹槽以放置所述安装件。
3.如权利要求2所述的安装模具，其特征在于：所述盖体凹槽的壁采用可吸附所述安装件的材料制成。
4.如权利要求1所述的安装模具，其特征在于：还包括设置于所述本体上的若干凸柱，以固定所述目标件。
5.如权利要求4所述的安装模具，其特征在于：还包括设置于所述本体一侧的推送件，以推送所述目标件至所述凸柱固定。
6.如权利要求1所述的安装模具，其特征在于：还包括设置于所述本体上的目标件支撑结构。
7.如权利要求1所述的安装模具，其特征在于：还包括一翻转件，所述盖体通过所述翻转件连接所述本体。
8.如权利要求7所述的安装模具，其特征在于：所述本体与盖体均为矩形，所述翻转件分别连接所述本体与所述盖体的一边。
9.如权利要求1所述的安装模具，其特征在于：所述本体上设置位于所述目标件两侧的本体凹槽。
10.如权利要求1所述的安装模具，其特征在于：所述本体上设置位于所述目标件下方的凹陷部以容纳所述目标件上的一凸起部。
11.如权利要求1至10中任意一项所述的安装模具，其特征在于：所述目标件是光罩，所述安装件是所述光罩的固定装置。
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|---|---|---|---|---|
| CN113715347A (zh) * | 2021-07-14 | 2021-11-30 | 东莞长盈精密技术有限公司 | 一种治具和辅料贴合的方法 |
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2014
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