CN203785643U - 一种高速平面度检测仪 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种高速平面度检测仪,所述底座1上安装有Y向工作台,Y向工作台上安装有X向工作台,X向工作台上安装有Z向工作台;所述Y向工作台安装在底座上,它由两侧立柱,中间横梁组成,通过3组高精密滑轨滑块组安装在底座上;所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上;所述Z向工作台主板上装有CCD激光位移传感器固定块,上面固定有CCD激光位移传感器;所述底座工作台上设有定位板。本实用新型结构稳定,自动化程度高,操作简单,功能强大,精度高,性价比优,适用范围广泛。

Description

一种高速平面度检测仪
技术领域
本实用新型涉及一种全自动,高精度测量工件平面度,粗糙度及平行度的设备,具体地说是一种高速平面度检测仪。
背景技术
随着科学技术的不断进步,人们对检测自动化的程度不断提高。一种高效,全自动检测玻璃工件平面度的设备是通过CCD激光位移传感器采集放置于工作台上的工件的高度数据,通过计算机运算处理,配合科学的软件算法得到工件的平面度,平行度数据。它由大理石底座,Y向工作台,X向工作台以及Z向工作台组成,机台采用龙门结构,右端单边驱动横梁移动。Z向工作台上装有CCD激光位移传感器和光学影像集成装置,可以通过视觉系统快速观察被测目标并精确定位。工作时Z轴固定不动,Y,Z向工作台把测量点移到工件的不同点,CCD激光位移传感器测量工件表面高度数据,可得到工件的平面度,粗糙度等数据。同时旁边的光学影像集成装置可以同时进行产品的几何尺寸测量,两种测量模式可以同时进行,节约时间,提高工作效率,还可以让两种测量模式下的测量数据关联共享。但是现有的检测仪结构不够稳定,自动化程度不高,功能很少,精度不高,性价比低,适用范围不狭窄。为了解决现有技术的不足,本实用新型提出一种高速平面度检测仪。
实用新型内容
针对上述问题,本实用新型旨在提供一种高速平面度检测仪。
为实现该技术目的,本实用新型的方案是:一种高度平面度检测仪,包括底座、第一轴马达、第一轴高精密丝杆、滑块组、立柱、光栅尺、位置传感器、中间横梁、第二轴马达、第二轴高精密丝杆、高精密滑轨滑块、工作台板、梯形螺杆螺母、滚珠导轨、主板、固定块、上光学影像集成装置、CCD激光位移传感器、定位板;所述底座1上安装有Y向工作台,Y向工作台上安装有X向工作台,X向工作台上安装有Z向工作台;所述底座采用优质天然大理石制作,它具有高精度,高稳定性;所述Y向工作台安装在底座上,它由两侧立柱,中间横梁组成,通过3组高精密滑轨滑块组安装在底座上,左侧两滑轨滑块组保证工作台的运动精度,右滑轨滑块组起辅助作用,主要支撑中间横梁,保证横梁与底座平面的平行度,通过安装在底座上的第一轴马达,第一轴高精密丝杆驱动,安装在左立柱侧的光栅尺准确测量数据,安装在左立柱两端的位置传感器可防止工作台超出工作范围,两侧立柱及中间横梁采用优质天然大理石和优质航空硬铝合金制作,材料特性稳定质量轻,使设备具有高精度,高稳定性和很低的运动惯性;所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上;所述工作台板采用优质航空硬铝合金制作,通过两组高精密滑轨滑块与横梁连接导向,保证与Y工作台运动方向的垂直度及与底座平面的平行度,通过安装在横梁上的第二轴马达和第二轴高精密丝杆驱动;所述Z向工作台主板安装在X向工作台板上,通过高精密交叉滚子导轨与X向工作台板连接,保证运动方向与Y、X工作台运动方向及底座平面垂直,通过梯形螺杆螺母调节高度;所述主板上装有CCD激光位移传感器固定块,上面固定有CCD激光位移传感器,通过更换固定块可对不同的产品进行检测;所述主板上还装有光学影像集成装置,以同时进行产品的几何尺寸测量,两种测量模式可以同时进行,节约时间,提高工作效率,还可以让两种测量模式下的测量数据关联共享。所述底座工作台上设有定位板可使更换工件时快速定位夹具。
作为优选,所述Y向运动工作台采用龙门结构。
作为优选,所述安装在Z向上的CCD位移传感器偏移测量。
本实用新型可准确读出Y向位置并向电脑传递数据,滑块两端装有位置传感器以防工作台超出测量范围,底座工作台上装有测量定位板,以便更换工件时可以快速定位,不需要调整产品,且结构稳定,自动化程度高,操作简单,功能强大,精度高,性价比优,适用范围广泛。
附图说明
图1为本实用新型中高速平面度测量仪的立体示意图;
图2为本实用新型中CCD激光位移传感器工作的示意图;
图中:底座1、第一轴马达2、第一轴高精密丝杆3、滑块组4、立柱5、光栅尺6、位置传感器7、中间横梁8、第二轴马达9、第二轴高精密丝杆10、高精密滑轨滑块11、工作台板12、梯形螺杆螺母13、滚珠导轨14、主板15、固定块16、光学影像集成装置17、CCD激光位移传感器18、视觉照明装置19、定夹具20。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。
如图1~2所示,本实用新型实施例的一种高速平面度检测仪,包括底座1、第一轴马达2、第一轴高精密丝杆3、滑块组4、立柱5、光栅尺6、位置传感器7、中间横梁8、第二轴马达9、第二轴高精密丝杆10、高精密滑轨滑块11、工作台板12、梯形螺杆螺母13、滚珠导轨14、主板15、CCD激光位移传感器固定块16、光学影像集成装置17、CCD激光位移传感器18、视觉照明装置19、定夹具20;所述底座1上安装有Y向工作台,Y向工作台上安装有X向工作台,X向工作台上安装有Z向工作台;所述底座1采用优质天然大理石制作,它具有高精度,高稳定性;所述Y向工作台安装在底座1上,它由两侧立柱5,中间横梁8组成,通过3组高精密滑轨滑块组4安装在底座1上,左侧两滑轨滑块组保证工作台的运动精度,右滑轨滑块组起辅助作用,主要支撑中间横梁,保证横梁与底座平面的平行度,通过安装在底座1上的第一轴马达2,第一轴高精密丝杆3驱动,安装在左立柱侧的光栅尺6准确测量数据,安装在左立柱两端的位置传感器7可防止工作台超出工作范围,两侧立柱及中间横梁采用优质天然大理石和优质航空硬铝合金制作,材料特性稳定质量轻,使设备具有高精度,高稳定性和很低的运动惯性;所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上;所述工作台板12采用优质航空硬铝合金制作,通过两组高精密滑轨滑块11与横梁连接导向,保证与Y工作台运动方向的垂直度及与底座平面的平行度,通过安装在横梁上的第二轴马达9和第二轴高精密丝杆10驱动;所述Z向工作台主板15安装在X向工作台板上,通过高精密交叉滚子导轨14与X向工作台板连接,保证运动方向与Y,X工作台运动方向及底座平面垂直,通过梯形螺杆螺母13调节高度;所述主板15上装有CCD激光位移传感器固定块16,上面固定有CCD激光位移传感器18,可对不同的产品进行检测;所述主板15上还装有上光学影像集成装置17和下光学影像集成装置19,可测量工件的几何形状和尺寸并对被测目标进行准确定位;所述底座1工作台上设有定夹具20可使更换工件时快速定位。
作为优选,所述Y向运动工作台采用龙门结构。
作为优选,所述安装在Z向上的CCD位移传感器18偏移测量。
以上所述,仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同替换和改进,均应包含在本实用新型技术方案的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种高速平面度检测仪,包括底座、第一轴马达、第一轴高精密丝杆、滑块组、立柱、光栅尺、位移传感器、中间横梁、第二轴马达、第二轴高精密丝杆、高精密滑轨滑块、工作台板、梯形螺杆螺母、滚珠导轨、主板、固定块、上光学影像集成装置、CCD激光位移传感器、下光学影像集成装置、定位板;其特征在于:所述底座(1)上安装有Y向工作台,Y向工作台上安装有X向工作台,X向工作台上安装有Z向工作台;所述底座采用优质天然大理石制作;所述Y向工作台安装在底座上,它由两侧立柱,中间横梁组成,通过3组高精密滑轨滑块组安装在底座上;所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上;所述工作台板采用优质航空硬铝合金制作,通过两组高精密滑轨滑块与横梁连接导向,通过安装在横梁上的第二轴马达和第二轴高精密丝杆驱动;所述主板上装有CCD激光位移传感器固定块,上面固定有CCD激光位移传感器;所述底座工作台上设有定位板。 
2.根据权利要求1所述的一种高速平面度检测仪,其特征在于:所述Z向工作台主板安装在X向工作台板上,通过高精密交叉滚子导轨与X向工作台板连接。 
3.根据权利要求1所述的一种高速平面度检测仪,其特征在于:所述Y向运动工作台采用龙门结构。 
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