CN202432999U - 曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置 - Google Patents

曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置 Download PDF

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Abstract

本实用新型公开了一种曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置，包括传感器和计算机控制中心，所述传感器为高精度激光位移传感器，传感器通过ARM系统与计算机控制中心电连接，所述计算机控制中心通过驱动系统连接驱动传感器内压电晶体微动工作台。采用本非接触测量装置测量抛光物件的表面，不仅能真实反映抛光物件表面的形态，而且其测量精度也非常高，能圆满实现曲面表面在加工过程中的在线、自动、非接触测量。此外，这种曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置也适用于各种复杂曲面工件表面的工程粗糙度的二维或三维痕迹测量。

Description

曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置
技术领域
本实用新型属于工程表面测量技术及其设备领域，具体的是涉及一种曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置。
背景技术
众所周知，物件表面痕迹的测量一般采用数字摄影的方法获得待测物品痕迹的放大的二维平面图像，由于微小的痕迹是三维的，一般是有关机件与待测物体表面发生机械擦划而留下的，常呈凹陷或凸起状，其形状及细微特征都是三维分布的，因此二维平面图像无法给出痕迹的完整描述。例如在对模具型面等自由曲面进行自动抛光的过程中，需要对抛光件表面的粗糙度进行实时非接触测量，采用数字摄影的方法的痕迹平面图像，所依赖的是边缘灰度值的变化，其灰度值不仅不能反映模具型面的真实形态，而且存在较大的误差。
发明内容
针对上述现有技术的不足，本实用新型的目的是提供一种曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置，该装置不仅能反映抛光物件表面的真实形态，而且其测量精度也非常高。
为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置，包括传感器和计算机控制中心，所述传感器为高精度激光位移传感器，传感器通过ARM系统与计算机控制中心电连接，所述计算机控制中心通过驱动系统连接驱动传感器内压电晶体微动工作台。
优选的，所述传感器为非接触式高精度激光位移传感器，该传感器采用压电晶体微动工作台实现测量过程中的扫描操作。
优选的，所述驱动系统还包括有压电晶体微动工作台驱动电路和交流伺服电机驱动电路。
优选的，所述ARM系统包括有S3C2440A控制板、LCD显示器、FLASH存贮器和SDRAM存贮器。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：采用本非接触测量装置测量抛光物件的表面，不仅能真实反映抛光物件表面的形态，而且其测量精度也非常高，能圆满实现曲面表面在加工过程中的在线、自动、非接触测量。此外，这种曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置也适用于各种复杂曲面工件表面的工程粗糙度的二维或三维痕迹测量。
附图说明
图1为本实用新型的组成结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。
参见图1，本实用新型的曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置，包括传感器1和计算机控制中心4，所述传感器1为非接触式高精度激光位移传感器，将传感器1安装在加工机械手上，加工机械手带有抛光头，加工机械手通过立柱与底座相连，底座上安装有工作台，传感器1和抛光头位于工作台的上方，传感器1通过ARM系统3与计算机控制中心4电连接，ARM系统3包括有S3C2440A控制板、LCD显示器、FLASH存贮器和SDRAM存贮器；所述计算机控制中心4通过驱动系统2连接驱动传感器1内压电晶体微动工作台；所述驱动系统2还包括有压电晶体微动工作台驱动电路和交流伺服电机驱动电路，计算机控制中心4通过驱动系统2的压电晶体微动工作台驱动电路连接驱动传感器器1内的微动工作台；计算机控制中心4通过电机驱动系统2的交流伺服电机驱动电路连接驱动工作台内交流伺服电机。
使用时，将被测的抛光件装夹在工作台上，抛光头即可对抛光件进行抛光操作。根据系统工作流程，抛光过程中，将传感器1的激光测头对准被测的抛光件通电即可对抛光件表面的粗糙度进行实时非接触测量，测量非常方便。本曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置，对抛光物件表面的分辨率不大于0.05um。当然，这种非接触测量装置也适用于各种复杂曲面工件表面的工程粗糙度的二维或三维痕迹测量。
上述仅为本实用新型的一种实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置，包括传感器（1）和计算机控制中心（4），其特征在于：所述传感器（1）为高精度激光位移传感器，传感器（1）通过ARM系统（3）与计算机控制中心（4）电连接，所述计算机控制中心（4）通过驱动系统（2）连接驱动传感器（1）内压电晶体微动工作台。
2.根据权利要求1所述的曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置，其特征在于：所述传感器（1）为非接触式高精度激光位移传感器，该传感器（1）采用压电晶体微动工作台实现测量过程中的扫描操作。
3.根据权利要求1所述的曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置，其特征在于：所述驱动系统（2）还包括有压电晶体微动工作台驱动电路和交流伺服电机驱动电路。
4.根据权利要求1所述的曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置，其特征在于：所述ARM系统（3）包括有S3C2440A控制板、LCD显示器、FLASH存贮器和SDRAM存贮器。
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