CN203639602U - 一种降低直拉单晶断尾的单晶炉 - Google Patents
一种降低直拉单晶断尾的单晶炉 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种降低直拉单晶断尾的单晶炉，包括导流筒；所述导流筒的下沿开有一个或多个观察槽。在收尾阶段，通过观察槽，操作人员可以从单晶炉的观察窗对石英埚内的剩余硅料量进行明确判断，准确把握收尾操作的开始时间，既提高了收尾成功率，又提高了单晶产量和单晶成品率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种单晶炉，具体涉及一种有效降低直拉单晶断尾的单晶炉。
背景技术
通常的单晶炉在直拉单晶生长等径过程结束时，进入收尾工序，经常会遇到两种情况：一种是收尾操作开始时剩余硅料较多，收尾工序结束后，剩余硅料也较多，因此减少了单晶生长长度及硅料利用率，造成单晶成品率降低，致使生产成本升高；另一种是收尾过程尚未结束，剩余硅料太少,不足以完成收尾长度的要求，从而导致收尾失败，出现断尾现象，此种情况单晶损失很大，因为收断尾后接触面温度仍高于850度，此时位错会向上移动大约一个直径长度。判断收尾操作开始的时间点不好把握，成为困扰直拉单晶行业的一个重要问题。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够准确判断收尾操作开始的时间点的降低直拉单晶断尾的单晶炉。
为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种降低直拉单晶断尾的单晶炉，包括导流筒；所述导流筒的下沿开有一个或多个观察槽。
其中，所述导流筒包括内筒和外筒；外筒的下沿设有内翻边，内筒的底部与内翻边的顶部联接；所述观察槽设在外筒的下沿和内翻边上。
其中，所述观察槽的高度为15至35毫米。
其中，所述观察槽为2至5个，并且沿着导流筒的下沿圆周均匀分布。
其中，所述观察槽为拱形、方形或弧形。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本实用新型能够保证最佳的单晶生长长度，提升了直拉单晶的成品率，降低了断尾操作出现的几率，减少了收尾失败的单晶损失，保证了成品率。本实用新型简单有效，不增加生产成本，易于实用和推广。
附图说明
图1是本实用新型导流筒的结构示意图；
图中：1、内筒，2、外筒，3、观察槽。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
本实用新型为一种降低直拉单晶断尾的单晶炉，包括导流筒；导流筒的下沿开有一个或多个观察槽3；观察槽3为拱形、方形或弧形，观察槽3的高度为15至35毫米；观察槽3为2至5个，并且沿着导流筒的下沿圆周均匀分布。
如图1所示，本实用新型的导流筒包括内筒1和外筒2；外筒2的下沿设有内翻边，内筒1的底部与内翻边的顶部联接；所述观察槽3设在外筒2的下沿和内翻边上。
收尾阶段，通过观察槽3，操作人员可以从单晶炉的观察窗对石英埚内的剩余硅料量进行明确判断，准确把握收尾操作的开始时间，既提高了收尾成功率，又提高了单晶产量和单晶成品率。
Claims (5)
1.一种降低直拉单晶断尾的单晶炉，包括导流筒；其特征在于：所述导流筒的下沿开有一个或多个观察槽（3）。
2.根据权利要求1所述的一种降低直拉单晶断尾的单晶炉，其特征在于：所述导流筒包括内筒（1）和外筒（2）；外筒（2）的下沿设有内翻边，内筒（1）的底部与内翻边的顶部联接；所述观察槽（3）设在外筒（2）的下沿和内翻边上。
3.根据权利要求1或2所述的一种降低直拉单晶断尾的单晶炉，其特征在于：所述观察槽（3）的高度为15至35毫米。
4.根据权利要求1所述的一种降低直拉单晶断尾的单晶炉，其特征在于：所述观察槽（3）为2至5个，并且沿着导流筒的下沿圆周均匀分布。
5.根据权利要求1所述的一种降低直拉单晶断尾的单晶炉，其特征在于：所述观察槽（3）为拱形、方形或弧形。
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2013
- 2013-08-26 CN CN201320524471.3U patent/CN203639602U/zh not_active Expired - Fee Related
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