CN203622672U - 劈裂机劈刀振动装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型为一种劈裂机劈刀振动装置，安装于一劈裂机上，并用于振动一劈裂单元，该劈裂机劈刀振动装置包含一音圈马达，该音圈马达具有一定子和一动子，该定子固定于该劈裂机上，该动子可略微振动位移的插设于该定子内，且该动子连接固定该劈裂单元。据此该音圈马达的动子可通过一电压脉波的驱使而产生振动位移，因此当该劈裂单元接触一待劈裂晶片时，该动子即可产生振动位移，进而带动该劈裂单元位移以切断该待劈裂晶片，其形成一反应快速、安静且精准控制振幅的劈刀振动装置，可满足工艺使用上的需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及劈裂晶片的晶片劈裂机，尤其涉及晶片劈裂机的劈裂驱动结构。
背景技术
关于劈刀切割工艺，请参阅“图1”和“图2”所示，为已知技术的正视示意图和侧视示意图，其包含有一滑动单元1、一击锤单元2、一劈裂单元3以及一晶片支撑载台4；该滑动单元1的一侧设置于滑块5上，且该滑块5在一滑轨6上滑移，该滑动单元1通过该滑块5而与该滑轨6进行相对移动，而该击锤单元2与该劈裂单元3设置于该滑动单元1的另一侧，且该晶片支撑载台4设置于该劈裂单元3的下方，而关于此已知的劈刀切割装置的操作方式是当该晶片7置于该晶片支撑载台4上时，该滑动单元1滑动至该劈裂单元3接近该晶片7，再由该击锤单元2对该劈裂单元3实施撞击，使该劈裂单元3对该晶片支撑载台4上的该晶片7实施劈裂的操作。
此通过该击锤单元2敲击该劈裂单元3的劈裂方式，其金属撞击所产生的噪音相当的可观，且通过该击锤单元2移动撞击该劈裂单元3的方式，其速度受到物理上的限制，难以增加产量，另外该击锤单元2的撞击力道会随着该击锤单元2的机构老化而难以控制，且易有反应延迟的问题，显然已无法满足使用上的需要，因此以此方式产生的该晶片7相当容易呈现出锯齿状断面，甚至沿锯齿状断面在切割后的该晶片7上还产生出其他的细微裂纹，而使产品的不良率升高。
实用新型内容
因此，本实用新型的主要目的在于提供一种劈裂机劈刀振动装置，其反应快速、安静且精准控制振幅，可满足工艺使用上的需求。
经由以上可知，为达到上述目的，本实用新型为一种劈裂机劈刀振动装置，安装于一劈裂机上，并用于振动一劈裂单元，该劈裂机劈刀振动装置包含一音圈马达，该音圈马达具有一定子和一动子，该定子固定于该劈裂机上，该动子以能具有振动位移的方式插设于该定子内，且该动子连接固定该劈裂单元。
进一步地，该劈裂单元设置于一滑动单元上，该滑动单元固定于一滑块上，且该滑块相对于一滑轨移动。
进一步地，该动子固定于该滑动单元上。
进一步地，该劈裂机上能设置一音圈固定板，该音圈固定板用于该定子的悬吊固定。
据此，该音圈马达的动子可通过一电压脉波的驱使而产生振动位移，因此当该劈裂单元接触一待劈裂晶片时，该动子即可产生振动位移，进而带动该劈裂单元位移以切断该待劈裂晶片，其形成一反应快速、安静且精准控制振幅的劈刀振动装置，可满足工艺使用上的需求。
附图说明
图1为已知晶片劈裂结构正视示意图。
图2为已知晶片劈裂结构侧视示意图。
图3为本实用新型结构图。
具体实施方式
为使对本实用新型的特征、目的以及效果有更加深入的了解与认同，现列举优选实施例并配合附图说明如下：
请参阅“图3”所示，本实用新型为一种劈裂机劈刀振动装置，安装于一劈裂机10上，并用于振动一劈裂单元11，该劈裂机劈刀振动装置包含一音圈马达20，该音圈马达20具有一定子21和一动子22，该定子21固定于该劈裂机10上，该动子22可略微振动位移的插设于该定子21内，且该动子22连接固定该劈裂单元11。
另外该劈裂单元11可以设置于一滑动单元30上，该滑动单元30固定于滑块40上，且该滑块40相对一滑轨50移动，而该动子22为固定于该滑动单元30，该滑动单元30为固定该滑块40上，因此通过该滑块40与该滑轨50，可使该动子22稳定的线性位移。
此外，该劈裂机10上可以设置一音圈固定板60，该音圈固定板60为该定子21提供悬吊固定，以确实将该定子21固定于该劈裂机10上。
据此，当一晶片支撑载台上放置固定一待劈裂晶片，且该劈裂单元11接触该待劈裂晶片时，该音圈马达20即可输入一电压脉波，以便使该音圈马达20的动子22产生振动位移，进而带动该劈裂单元11位移，即可切断该待劈裂晶片，其形成一反应快速、安静且精准控制振幅的劈刀振动装置，可满足工艺使用上的需求。
如上所述，本实用新型提供一种劈裂机劈刀振动装置，可在该劈裂单元接触待劈裂晶片时，即可通过该音圈马达的动子的振动位移，进而带动该劈裂单元位移以切断该待劈裂晶片，其具有反应快速、安静且精准控制振幅等等特性，可以满足工艺使用上的需求。
Claims (4)
1.一种劈裂机劈刀振动装置，安装于一劈裂机上，并用于振动一劈裂单元，其特征在于，所述劈裂机劈刀振动装置包含：
一音圈马达，所述音圈马达具有一定子和一动子，所述定子固定于所述劈裂机上，所述动子以能具有振动位移的方式插设于所述定子内，且所述动子连接固定所述劈裂单元。
2.根据权利要求1所述的劈裂机劈刀振动装置，其特征在于，所述劈裂单元设置于一滑动单元上，所述滑动单元固定于一滑块上，且所述滑块相对于一滑轨移动。
3.根据权利要求2所述的劈裂机劈刀振动装置，其特征在于，所述动子固定于所述滑动单元上。
4.根据权利要求2所述的劈裂机劈刀振动装置，其特征在于，所述劈裂机上能设置一音圈固定板，所述音圈固定板用于所述定子的悬吊固定。
Priority Applications (1)
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Publications (1)
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| CN203622672U true CN203622672U (zh) | 2014-06-04 |
Family
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Country Status (1)
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN112201600A (zh) * | 2020-10-14 | 2021-01-08 | 北京中科镭特电子有限公司 | 一种晶圆劈裂扩片装置及晶圆裂片扩片方法 |
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2013
- 2013-12-13 CN CN201320829885.7U patent/CN203622672U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112201600A (zh) * | 2020-10-14 | 2021-01-08 | 北京中科镭特电子有限公司 | 一种晶圆劈裂扩片装置及晶圆裂片扩片方法 |
| CN112201600B (zh) * | 2020-10-14 | 2024-03-08 | 北京中科镭特电子有限公司 | 一种晶圆劈裂扩片装置及晶圆裂片扩片方法 |
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