CN203548934U - 快慢一体式真空阀 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种快慢一体式真空阀,包括气缸、第一真空阀和第二真空阀;所述第一真空阀与所述气缸连接;所述第二真空阀与所述第一真空阀连接;所述第二真空阀的进气口连接于所述第一真空阀的上,所述第二真空阀的出气口连接于所述第一真空阀的出气口上。本实用新型结构简单、使用方便,把慢真空阀进出气口设计到主阀体外侧,气路经过主阀,实现了将两只真空阀做成一只真空阀,一只真空阀内实现快慢两个功能,因此能减少真空接头,便于使用和安装。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空阀,尤其涉及一种快慢一体式真空阀。
背景技术
目前国内的对真空腔体排气,只使用一个真空阀,因为气体在管道内流动过程中分为4种,即湍流、黏性流动、过渡流动、分子流动等。湍流在低压流体管道中持续时间很短,但是这个抽气过程很强烈,会引起真空腔内灰尘扬起,对产品质量会有影响。现有的改进方案是在要求比较高腔体上安装两只真空阀,一只大真空阀,一只小真空阀。为了减少湍流对腔体的影响,刚开始抽真空时,开的小的真空阀。但是安装两个真空需要在腔体上做两个接口,配管也是较多,对安装空间有要求。
实用新型内容
本实用新型的目的是:为了解决上述问题,提供一种结构简单、使用方便的快慢一体式真空阀,把慢真空阀进出气口设计到主阀体外侧,气路经过主阀,实现了将两只真空阀做成一只真空阀,一只真空阀内实现快慢两个功能,因此能减少真空接头,便于使用和安装。
为了实现上述目的,本实用新型的技术方案是:
一种快慢一体式真空阀,包括气缸、第一真空阀和第二真空阀;所述第一真空阀与所述气缸连接;所述第二真空阀与所述第一真空阀连接;所述第二真空阀的进气口连接于所述第一真空阀的上,所述第二真空阀的出气口连接于所述第一真空阀的出气口上。
进一步的,所述第一真空阀的进气口和出气口分别通过第一法兰接头和第二法兰接头与真空腔和真空泵连接。
本实用新型由于采用了上述技术,使之与现有技术相比具有的积极效果是:
本实用新型将第二真空阀的进气口与第一真空阀阀体连接,第二真空阀的出气口与第一真空阀的出气口连接,因此第二真空阀气路经过主阀,并通过第一真空阀的进气口和出气口分别连接真空腔和真空泵,将两只真空阀做成一只真空阀,一只真空阀内实现快慢两个功能,因此能减少真空接头,便于使用和安装。
附图说明
图1是本实用新型快慢一体式真空阀的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图进一步说明本实用新型的实施例。
请参见图1所示,一种快慢一体式真空阀,包括气缸1、第一真空阀2和第二真空阀3;所述第一真空阀2与所述气缸1连接;所述第二真空阀3与所述第一真空阀2连接;所述第二真空阀3的进气口31连接于所述第一真空阀2的上;所述第二真空阀3的出气口32连接于所述第一真空阀2的出气口22上。第一真空腔2的气路为气路1,第二真空腔3的气路为气路2,气路2经过第一阀体2。
优选的,所述第一真空阀2的进气口21和出气口22分别通过第一法兰接头4和第二法兰接头5与真空腔和真空泵连接。
第二真空阀3的进气口31与第一真空阀2阀体连接,第二真空阀3的出气口32与第一真空阀2的出气口33连接,因此第二真空阀气路经过主阀,并通过第一真空阀的进气口和出气口分别连接真空腔和真空泵;抽速慢时用第二真空阀3,气体经过气路2;抽速块时用第一真空阀2,气体经过气路1;将两只真空阀做成一只真空阀,一只真空阀内实现快慢两个功能,因此能减少真空接头,便于使用和安装。
综上所述,本实用新型结构简单、使用方便,把慢真空阀进出气口设计到主阀体外侧,气路经过主阀,实现了将两只真空阀做成一只真空阀,一只真空阀内实现快慢两个功能,因此能减少真空接头,便于使用和安装。
Claims (2)
1.一种快慢一体式真空阀,其特征在于:包括气缸(1)、第一真空阀(2)和第二真空阀(3);所述第一真空阀(2)与所述气缸(1)连接;所述第二真空阀(3)与所述第一真空阀(2)连接;所述第二真空阀(3)的进气口(31)连接于所述第一真空阀(2)的上;所述第二真空阀(3)的出气口(32)连接于所述第一真空阀(2)的出气口(22)上。
2.根据权利要求1所述的快慢一体式真空阀,其特征在于:所述第一真空阀(2)的进气口(21)和出气口(22)分别通过第一法兰接头(4)和第二法兰接头(5)与真空腔和真空泵连接。
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