CN203488431U - 一种抗大气冲击的分子泵转子 - Google Patents

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郁晋军
董欣
于天化
刘敏强
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Beijing Sihai Xiangyun Fluid Science And Technology Co ltd
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    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
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    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps

Abstract

本实用新型属于流体机械技术领域，尤其涉及一种用于半导体、节能灯、太阳能制造行业中用于获得真空的一种抗大气冲击的分子泵转子，包括中空的圆柱形转子主体，转子主体内部中心位置设置有转轴安装孔，其特征在于：所述的转子主体的表面上挖设有螺旋形牵引级沟槽，牵引级沟槽的深度从上到下逐渐变浅；每相邻两个螺旋形沟槽之间的槽壁形成叶片；本实用新型根据气体的物理特性，牵引级沟槽与转子主体结合为一体，实现了与复合分子泵相近似的特点，既获得了高抽速，又获得了较大的压缩比，本实用新型，取消了定片、隔环，降低了设备的复杂程度，降低了成本，转子由叶片涡轮改为通槽，大幅增加了强度，使其拥有抗大气冲击的能力，另外，槽比叶片更容易加工，降低了成本。

Description

一种抗大气冲击的分子泵转子
技术领域
本实用新型本实用新型属于流体机械技术领域，尤其涉及一种用于半导体、节能灯、太阳能制造行业中用于获得真空的一种抗大气冲击的分子泵转子。
背景技术
分子真空泵是在1911年由德国人盖德(w·Gaede)首先发明的。其原理是靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。1958年，联邦德国的W.贝克首次提出有实用价值的涡轮分子泵。涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(一般为150～400米／秒)。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同，但叶片倾斜角相反。倾斜叶片的运动使气体分子从进气侧穿过叶片到达排气侧的几率，比从排气侧穿过叶片到达进气侧的几率大得多。叶轮连续旋转，气体分子便不断地由进气侧流向排气侧，从而产生抽气作用。
盖德牵引泵在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特别适于抽除较重的气体，但存在抽速小的特点。涡轮分子泵则存在加工多级动静叶片工艺复杂的特点。同时，由于叶片高速旋转，动片与静片的间隙很小，如果突然遭到大气的冲击，极易发生碎裂，造成整泵报废。复合分子泵将涡轮转子和牵引转子串联在一起，以获得更优的综合性能，但同时也继承了涡轮转子加工难度高，不耐冲击的特点。
实用新型内容
本实用新型的目的在于改变现有技术中的不足，而提供一种抗大气冲击的分子泵转子。
本实用新型所采用的技术方案：
一种抗大气冲击的分子泵转子，包括中空的圆柱形转子主体，转子主体内部中心位置设置有转轴安装孔，其特征在于：所述的转子主体的表面上挖设有螺旋形牵引级沟槽，牵引级沟槽的深度从上到下逐渐变浅；每相邻两个螺旋形沟槽之间的槽壁形成叶片。
所述叶片的叶片节距和叶片弦长的比值为1.3-1.5，转子主体外表面均匀挖设有3-8条相同的螺旋形牵引级沟槽。
所述转子主体底端牵引级沟槽的深度为2—6mm，顶端牵引级沟槽的深度为30—50mm。
所述的叶片由相邻的两条牵引级沟槽之间的槽壁形成，每个叶片也呈螺旋形分布在转子主体表面上。
所述的转子主体的上端口端面上均匀设置有上面动平衡配重孔。
本实用新型的有益效果：
1、本实用新型采用牵引级沟槽与转子主体结合为一体的设计，实现了与复合分子泵相近似的特点，既获得了高抽速，又获得了较大的压缩比，同时也大幅增加了转子强度，提高了抗大气冲击的能力。
2、本实用新型，取消了定片、隔环，不但降低了设备制作和安装的复杂程度，也降低了成本。
3、本实用新型采用在转子主体上挖设牵引级沟槽，相邻的两个牵引级沟槽之间的槽壁形成了叶片，由于直接加工叶片要求技术难度较高，加工槽的要求简单，也降低了加工成本。
附图说明
图1是本实用新型的结构图。
图2是本实用新型的剖视图。
具体实施方式
如图1、2所示，一种抗大气冲击的分子泵转子，包括中空的圆柱形转子主体1，转子主体内部中心位置设置有转轴安装孔5，转子叶片节距和叶片弦长的比值为1.4，转子主体的表面上挖设有螺旋形牵引级沟槽2，螺旋形牵引级沟槽为5条，每条牵引级沟槽都相同，牵引级沟槽2的深度从上到下逐渐变浅，转子主体底端牵引级沟槽的深度为2—6mm，顶端牵引级沟槽的深度为30—50mm；每相邻两个螺旋形沟槽之间的槽壁形成叶片3，每个叶片也呈螺旋形分布在转子主体表面上；在转子主体的上端口端面上均匀设置有上面动平衡配重孔4。
本实用新型根据气体的物理特性，采用牵引级沟槽与转子主体结合为一体的设计，实现了与复合分子泵相近似的特点，既获得了高抽速，又获得了较大的压缩比，同时也大幅增加了强度，提高了抗大气冲击的能力；另外，本实用新型的牵引级沟槽是直接在圆柱形转子主体表面挖设，相邻的两个牵引级沟槽之间的槽壁形成了叶片，由于直接加工叶片要求技术难度较高，加工槽的要求简单，也降低了加工成本。

Claims (5)

1.一种抗大气冲击的分子泵转子，包括中空的圆柱形转子主体，转子主体内部中心位置设置有转轴安装孔，其特征在于：所述的转子主体的表面上挖设有螺旋形牵引级沟槽，牵引级沟槽的深度从上到下逐渐变浅；每相邻两个螺旋形沟槽之间的槽壁形成叶片。
2.根据权利要求1所述的抗大气冲击的分子泵转子，其特征在于：所述叶片的叶片节距和叶片弦长的比值为1.3—1.5，转子主体外表面均匀挖设有3-8条相同的螺旋形牵引级沟槽。
3.根据权利要求1所述的抗大气冲击的分子泵转子，其特征在于：所述转子主体底端牵引级沟槽的深度为2-6mm，顶端牵引级沟槽的深度为30-50mm。
4.根据权利要求1所述的抗大气冲击的分子泵转子，其特征在于：所述的叶片由相邻的两条牵引级沟槽之间的槽壁形成，每个叶片也呈螺旋形分布在转子主体表面上。
5.根据权利要求1所述的抗大气冲击的分子泵转子，其特征在于：所述的转子主体的上端口端面上均匀设置有上面动平衡配重孔。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104613008A (zh) * 2015-02-28 2015-05-13 北京北仪创新真空技术有限责任公司 一种分子泵的转子
CN104929978A (zh) * 2015-06-17 2015-09-23 川北真空科技(北京)有限公司 一种新型抗冲击分子泵转子
CN105971905A (zh) * 2015-03-10 2016-09-28 株式会社岛津制作所 真空泵

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