CN203474472U - 一种改良西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置 - Google Patents

一种改良西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置 Download PDF

Info

Publication number
CN203474472U
CN203474472U CN201320368162.1U CN201320368162U CN203474472U CN 203474472 U CN203474472 U CN 203474472U CN 201320368162 U CN201320368162 U CN 201320368162U CN 203474472 U CN203474472 U CN 203474472U
Authority
CN
China
Prior art keywords
resin column
polysilicon
rectifying
purification devices
produced
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201320368162.1U
Other languages
English (en)
Inventor
潘玺
燕军
崔建平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
INNER MONGOLIA TONGYUAN MANAGEMENT ADVICE Co Ltd
Original Assignee
INNER MONGOLIA TONGYUAN MANAGEMENT ADVICE Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by INNER MONGOLIA TONGYUAN MANAGEMENT ADVICE Co Ltd filed Critical INNER MONGOLIA TONGYUAN MANAGEMENT ADVICE Co Ltd
Priority to CN201320368162.1U priority Critical patent/CN203474472U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN203474472U publication Critical patent/CN203474472U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

一种西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置，所述的精馏纯化装置由过滤器、树脂柱、保安过滤器和成品储罐构成，过滤器通过管道与树脂柱的底部连接，树脂柱的顶部通过管道与保安过滤器连接，保安过滤器通过管道与成品储罐连接；本实用新型采用树脂吸附磷硼杂质，解决除去影响多晶硅质量的磷、硼杂质，从而达到纯化氯硅烷物料的目的，提高了精制三氯氢硅的纯度。

Description

一种改良西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置
技术领域
本实用新型涉及一种改良西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置。 
背景技术
精馏纯化工序是多晶硅生产工艺中最核心的技术，因为终极产品多晶硅的纯度就取决于三氯氢硅提纯的程度，而多晶硅的纯度又影响到最终的光伏发电效果。初始原料中的硅粉、氯气，以及各道工序在化学反应中产生的中间产物，含有很多种杂质。在诸多杂质中，影响多晶硅质量的主要包括磷、硼、碳杂质以及氧含量。 
目前，在改良西门子法生产多晶硅生产工艺中的精馏纯化过程，对解决除去影响多晶硅质量的磷、硼杂质，没有好的办法。 
发明内容 
本实用新型克服了现有技术中的不足之处，提供一种能够解决除去影响多晶硅质量的磷、硼杂质的一种改良西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置。 
为了实现本实用新型的目的，我们将采用如下技术方案予以实施： 
一种西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置，其特征在于：所述的精馏纯化装置由过滤器、树脂柱、保安过滤器和成品储罐构成，过滤器通过管道与树脂柱的底部连接，树脂柱的顶部通过管道与保安过滤器连接，保安过滤器通过管道与成品储罐连接。 
所述的树脂柱上部中有少量气体，运行采用下进上出的模式进行 吸附。 
所述的保安过滤器，实现了将吸附纯化后的氯硅烷液体物料中混合的树脂过滤回收的作用。 
所述的过滤器，用来过滤进入树脂柱氯硅烷溶液中的金属硅粉，保障了进入树脂柱中氯硅烷溶液的质量。 
所述的成品储罐为贮槽，在生产或停车过程中，每个树脂柱出口至成品储罐的管线都保持畅通，物料气化产生的压力可通过贮槽泄出，实现了吸附柱及相连管道不承压，保障了吸附柱内树脂和三氯氢硅液体不会沿防爆膜喷出。 
对于备用的树脂柱或长时间不使用的所述精馏纯化装置，要及时向树脂柱内补充三氯氢硅液体，树脂必须被物料浸泡。 
有益效果 
本实用新型是多晶硅生产中精馏工序的最核心的技术，在多晶硅的生产中初始原料中的硅粉、氯气，以及各道工序在化学反应中产生的中间产物，含有很多种杂质，在诸多杂质中，影响多晶硅质量的主要包括磷、硼、碳杂质以及氧含量。本实用新型为解决除去影响多晶硅质量的磷、硼杂质，采用树脂吸附磷硼杂质，从而达到纯化氯硅烷物料的目的，提高了精制三氯氢硅的纯度。 
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。 
具体实施方式
结合附图，对本实用新型做进一步地说明： 
如图1所述，本实用新型由过滤器1、树脂柱2、保安过滤器3和成品储罐4构成，过滤器1通过管道与树脂柱2的底部连接，树脂柱2的顶部通过管道与保安过滤器3连接，保安过滤器3通过管道与成品储罐4连接。 
由于树脂柱2上部中有少量气体，因此运行时必须采用下进上出的模式进行，即料液从底部进入树脂柱2进行吸附纯化后，从顶部排出，实现了吸附柱内气体及时排出，保障了树脂柱内的氯硅烷液体物料的连续性； 
氯硅烷液体物料出树脂柱2后，经过保安过滤器3，进入成品储罐4使用，保安过滤器3实现了将吸附纯化后的氯硅烷液体物料中混合的树脂过滤回收的作用； 
树脂柱2前安装了一套过滤器1，用来过滤进入树脂柱2氯硅烷溶液中的金属硅粉及其它固体杂质，保障了进入树脂柱2中氯硅烷溶液的质量，促进了系统的连续运行，延长了树脂柱2的使用寿命； 
在生产或停车过程中，每个树脂柱2出口至成品储罐4的管线都保持畅通，物料气化产生的压力可通过成品储罐4泄出，实现了树脂柱2及相连管道不承压，保障了树脂柱2内树脂和三氯氢硅液体不会沿树脂柱2的防爆膜喷出； 
对于备用的树脂柱2或长时间不使用的所述精馏纯化装置，及时向树脂柱2内补充三氯氢硅液体，树脂柱2中的树脂必须被物料浸泡，保证了了树脂的使用寿命。 

Claims (6)

1.一种西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置，其特征在于：所述的精馏纯化装置由过滤器、树脂柱、保安过滤器和成品储罐构成，过滤器通过管道与树脂柱的底部连接，树脂柱的顶部通过管道与保安过滤器连接，保安过滤器通过管道与成品储罐连接。 
2.根据权利要求1所述的一种西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置，其特征在于：所述的树脂柱上部中有少量气体，运行采用下进上出的模式进行吸附。 
3.根据权利要求1所述的一种西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置，其特征在于：所述的保安过滤器，实现了将吸附纯化后的氯硅烷液体物料中混合的树脂过滤回收的作用。 
4.根据权利要求1所述的一种西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置，其特征在于：所述的过滤器，用来过滤进入树脂柱氯硅烷溶液中的金属硅粉，保障了进入树脂柱中氯硅烷溶液的质量。 
5.根据权利要求1所述的一种西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置，其特征在于：所述的成品储罐为贮槽。 
6.根据权利要求1所述的一种西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置，其特征在于：对于备用的树脂柱或长时间不使用的所述精馏纯化装置，要及时向树脂柱内补充三氯氢硅液体。 
CN201320368162.1U 2013-06-25 2013-06-25 一种改良西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置 Expired - Fee Related CN203474472U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201320368162.1U CN203474472U (zh) 2013-06-25 2013-06-25 一种改良西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201320368162.1U CN203474472U (zh) 2013-06-25 2013-06-25 一种改良西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN203474472U true CN203474472U (zh) 2014-03-12

Family

ID=50222845

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201320368162.1U Expired - Fee Related CN203474472U (zh) 2013-06-25 2013-06-25 一种改良西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN203474472U (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104016352A (zh) * 2014-06-12 2014-09-03 国电内蒙古晶阳能源有限公司 处理多晶硅尾气的方法和系统
CN104828827A (zh) * 2015-05-15 2015-08-12 国电内蒙古晶阳能源有限公司 提纯三氯氢硅的方法
CN109179425A (zh) * 2018-09-28 2019-01-11 洛阳中硅高科技有限公司 提纯三氯氢硅的装置
CN111773768A (zh) * 2020-06-02 2020-10-16 上海化学工业区中法水务发展有限公司 一种用于测试有机高盐工业废水活性炭吸附能力的方法
CN115023407A (zh) * 2020-11-05 2022-09-06 瓦克化学股份公司 用于从氯硅烷混合物中除去杂质的方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104016352A (zh) * 2014-06-12 2014-09-03 国电内蒙古晶阳能源有限公司 处理多晶硅尾气的方法和系统
CN104828827A (zh) * 2015-05-15 2015-08-12 国电内蒙古晶阳能源有限公司 提纯三氯氢硅的方法
CN109179425A (zh) * 2018-09-28 2019-01-11 洛阳中硅高科技有限公司 提纯三氯氢硅的装置
CN111773768A (zh) * 2020-06-02 2020-10-16 上海化学工业区中法水务发展有限公司 一种用于测试有机高盐工业废水活性炭吸附能力的方法
CN115023407A (zh) * 2020-11-05 2022-09-06 瓦克化学股份公司 用于从氯硅烷混合物中除去杂质的方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN203474472U (zh) 一种改良西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置
CN103111157A (zh) 一种多晶硅生产中吸附塔再生过程排放尾气的净化回收方法
CN101638233B (zh) 一种三氯氢硅合成尾气的干法回收方法
CN204735022U (zh) 氯硅烷废液的净化回收装置
CN102009957A (zh) 高收率超净高纯氢氟酸的提纯方法
CN109133097A (zh) 一种氨水的生产方法
CN105480981B (zh) 一种多晶硅还原生产中的尾气中的二氯二氢硅的回收方法和装置
CN203959838U (zh) 一种去除三氯化硼中氯气杂质的反应装置
CN104262376A (zh) 一种三氟甲磺酸三甲基硅酯的纯化方法
CN205222700U (zh) 制氮机加氢脱氧的氮气纯化系统
CN106395857A (zh) 一种液氨精制脱色系统及方法
CN202620982U (zh) 一种分离含有氢及氯硅烷和/或氯化氢混合气体的变压吸附系统
CN101948707A (zh) 含氧煤层气净化装置
CN105367383A (zh) 一种甲醇生产工艺
CN113479892B (zh) 三氯氢硅除碳反应-选择性吸附耦合装置及方法
CN105132948A (zh) 一种超重力场硫酸锌溶液净化方法
CN104117277A (zh) 一种粗苯加氢精制项目酸性废气的回收方法
CN103880040A (zh) 大型合成氨液氮洗装置尾气回收处理方法
CN203678138U (zh) 三水氟化铝料浆过滤设备
CN203639365U (zh) 一种小型高纯乙炔纯化装置
CN1994525A (zh) 从氯乙烯或氯碱生产放空气中分离回收氢气的方法
CN203220906U (zh) 一种用于高温反应的吸收提纯装置
CN202173802U (zh) 带有分布器的解吸塔
CN202263459U (zh) 一种机械过滤器
CN204710008U (zh) 一种泡沫除尘器

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20140312

Termination date: 20150625

EXPY Termination of patent right or utility model