CN203429266U - 一种电子级四甲基氢氧化铵生产装置 - Google Patents
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Abstract
一种电子级四甲基氢氧化铵生产装置，所述生产装置包括阴离子树脂塔、阳离子树脂塔、电解槽和过滤器，所述阴离子树脂塔的入口为四甲基碳酸盐进料口，所述阴离子树脂塔的出口与所述阳离子树脂塔的入口连通，所述阳离子树脂塔的出口与所述电解槽的入口连通，所述电解槽的出口与出料管的一端连接，所述出料管上安装过滤器，所述出料管的另一端与电子级四甲基氢氧化铵产品储罐连接。本实用新型提供了一种结构简单、有效消除阴离子超标问题、可连续生产的电子级四甲基氢氧化铵生产装置。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种四甲基氢氧化铵生产装置。
背景技术
电子级四甲基氢氧化铵（Tetramethyl AmmoniumHydroxide,TMAH）用于显示面板（FDP）和半导体芯片生产过程中的显影液，是用量最大的电子化学品之一。电子级四甲基氢氧化铵的主要制备方法是通过电解四甲基碳酸铵。由于用于显示面板（FDP）和半导体芯片生产过程中的显影液要求纯度高：单个金属离子要求低于100ppb，单个阴离子杂质低于1ppm，因此完全靠离子膜电解控制无法实现，必须对电解原料四甲基碳酸铵进行金属离子和其他阴离子如硝酸根的脱除。
发明内容
为了克服已有四甲基氢氧化铵生产装置的结构复杂、存在阴离子超标问题的不足,本实用新型提供了一种结构简单、有效消除阴离子超标问题、可连续生产的电子级四甲基氢氧化铵生产装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种电子级四甲基氢氧化铵生产装置，所述生产装置包括阴离子树脂塔、阳离子树脂塔、电解槽和过滤器，所述阴离子树脂塔的入口为四甲基碳酸盐进料口，所述阴离子树脂塔的出口与所述阳离子树脂塔的入口连通，所述阳离子树脂塔的出口与所述电解槽的入口连通，所述电解槽的出口与出料管的一端连接，所述出料管上安装过滤器，所述出料管的另一端与电子级四甲基氢氧化铵产品储罐连接。
进一步，所述阴离子树脂塔和阳离子树脂塔组成树脂塔支路，所述树脂塔支路有两条，两条树脂塔支路并联，两个阴离子数字头的入口均与入料阀连通，两个阳离子树脂塔的出口均与出料阀连通，所述出料阀与所述电解槽的入口连通，所述入料阀和出料阀均为二选一控制阀。即两个树脂塔支路，一个支路用以实现生产，此时，另一个支路实现再生。
本实用新型的有益效果主要表现在：充分利用阴阳树脂装置预处理四甲基碳酸盐，保证了电解生产的四甲基氢氧化铵金属杂质和阴离子杂质达到显示面板（FDP）和半导体芯片生产过程中的显影液使用要求。而且结构简单，可连续生产，并且树脂容易再生，循环使用，节约成本，易于推广实用。
附图说明
图1是电子级四甲基氢氧化铵生产装置的示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步描述。
参照图1，一种电子级四甲基氢氧化铵生产装置，所述生产装置包括阴离子树脂塔1、阳离子树脂塔2、电解槽3和过滤器4，所述阴离子树脂塔1的入口为四甲基碳酸盐进料口，所述阴离子树脂塔1的出口与所述阳离子树脂塔2的入口连通，所述阳离子树脂塔2的出口与所述电解槽3的入口连通，所述电解槽3的出口与出料管的一端连接，所述出料管上安装过滤器4，所述出料管的另一端与电子级四甲基氢氧化铵产品储罐6连接。
进一步，所述阴离子树脂塔1和阳离子树脂塔2组成树脂塔支路，所述树脂塔支路有两条，两条树脂塔支路并联，两个阴离子数字头的入口均与入料阀连通，两个阳离子树脂塔的出口均与出料阀连通，所述出料阀与所述电解槽的入口连通，所述入料阀和出料阀均为二选一控制阀5。即两个树脂塔支路，一个支路用以实现生产，此时，另一个支路实现再生。
本实施例中，四甲基碳酸盐溶液流经填有弱碱性阴离子树脂的树脂塔1，去除溶液中的金属离子杂质；经上述1所处理后的四甲基碳酸盐再流经填有强酸性阳离子树脂的树脂塔2，去除金属离子杂质；经过上述1,2处理后的四甲基碳酸盐进入含离子膜的电解槽电解生产四甲基氢氧化铵，达到目标浓度后过滤得到合格的电子级四甲基氢氧化铵，适应于显示面板（FDP）和半导体芯片生产过程中的显影液。
阴离子树脂塔可以通过无机酸如盐酸再生。阳离子树脂可以碱液如氢氧化钠，氢氧化钾再生。
为了保证连续生产，上述1,2中的树脂塔可建立两套，在一套树脂塔进行再生时，另一套进行四甲基碳酸盐的纯化。
如图1所示，四甲基碳酸盐首先经过树脂塔1，去除其中的金属杂质；之后四甲基碳酸盐流经树脂塔2，去除其中的阴离子杂质；纯化后的四甲基碳酸盐进入含离子膜的电解槽3电解生产四甲基氢氧化铵；产品经过过滤装置4保证颗粒数达到电子级产品的要求进入产品储罐6。两条树脂塔支路并联，当树脂塔吸附饱和后，通过酸碱溶液进行再生，在再生的同时树脂塔进行四甲基碳酸盐的纯化，如此交替通过二选一控制阀5控制保证连续生产。
Claims (2)
1.一种电子级四甲基氢氧化铵生产装置，其特征在于：所述生产装置包括阴离子树脂塔、阳离子树脂塔、电解槽和过滤器，所述阴离子树脂塔的入口为四甲基碳酸盐进料口，所述阴离子树脂塔的出口与所述阳离子树脂塔的入口连通，所述阳离子树脂塔的出口与所述电解槽的入口连通，所述电解槽的出口与出料管的一端连接，所述出料管上安装过滤器，所述出料管的另一端与电子级四甲基氢氧化铵产品储罐连接。
2.如权利要求1所述的电子级四甲基氢氧化铵生产装置，其特征在于：所述阴离子树脂塔和阳离子树脂塔组成树脂塔支路，所述树脂塔支路有两条，两条树脂塔支路并联，两个阴离子数字头的入口均与入料阀连通，两个阳离子树脂塔的出口均与出料阀连通，所述出料阀与所述电解槽的入口连通，所述入料阀和出料阀均为二选一控制阀。
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