CN203426851U - 一种硅片装夹装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种在硅片研磨中使用的硅片装夹装置,包括容放硅片的容置槽,容置槽的右端设置有夹紧装置,其包括设置在容置槽内能够在容置槽内来回移动的压紧板,以及设置在容置槽上驱动压紧板的驱动机构,在容置槽的左端设置有辅助夹紧装置,其包括能够在容置槽内来回移动的辅助压紧板,以及固定设置在辅助压紧板左端面、容置槽内壁之间的弹性件,将硅片放置在容置槽中,驱动油缸的活塞杆推动压紧板向前移动,对硅片进行挤压,而辅助夹紧装置能够对硅片进行支撑,使夹紧的力度适合,不会因为压紧板的力量过大而导致硅片的损坏,同时也不会影响研磨工作的进行。本实用新型无需将硅片粘合在一起,从而保证了硅片的质量,确保硅片表面的平整度。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工技术领域,具体涉及一种在硅片研磨中使用的硅片装夹装置。
背景技术
在硅片加工过程中,需要将硅棒加工切割成硅片,硅片上会产生不规则的形状,为了不影响后续工作的质量,需要将硅片上的不规则边切除;而现有不规则硅片的去除方法是:先将硅片用胶粘合在一起,再将不规则边研磨掉,但是将硅片粘合在一起存在缺点:粘合在一起的硅片通过溶解或清洗的方法分开,硅片的破损率高,虽然在后序工作中通过清洗将胶液去除了,但是仍有残留有化合物,从而影响硅片表面的平整度。
发明内容
针对上述技术问题,本实用新型提供一种硅片装夹装置,其无需将硅片粘合在一起,从而保证了硅片的质量,确保硅片表面的平整度。
实现本实用新型的技术方案如下:
一种硅片装夹装置,包括容放硅片的容置槽,容置槽的右端设置有夹紧装置,其包括设置在容置槽内能够在容置槽内来回移动的压紧板,以及设置在容置槽上驱动压紧板的驱动机构,在容置槽的左端设置有辅助夹紧装置,其包括能够在容置槽内来回移动的辅助压紧板,以及固定设置在辅助压紧板左端面、容置槽内壁之间的弹性件。
所述容置槽的槽底开设有滑槽,压紧板、辅助压紧板的底端设置有与滑槽相配合的滑块,压紧板、辅助压紧板上的滑块能够在滑槽中滑动,从而保证压紧板、辅助压紧板的运动精度。
所述容置槽的左端内壁设置有固定板,所述固定板通过螺钉固定连接在容置槽上,弹性件固定设置在固定板与辅助压紧板之间。
所述驱动机构为驱动油缸,驱动油缸固定设置在容置槽上,压紧板固定连接在驱动油缸的活塞杆端部。
所述弹性件为弹簧或“Z”型弹片。
采用了上述方案,将硅片放置在容置槽中,驱动油缸的活塞杆推动压紧板向前移动,对硅片进行挤压,而辅助夹紧装置能够对硅片进行支撑,使夹紧的力度适合,不会因为压紧板的力量过大而导致硅片的损坏,同时也不会影响研磨工作的进行。本实用新型无需将硅片粘合在一起,从而保证了硅片的质量,确保硅片表面的平整度。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图中,1为容置槽,2为压紧板,3为驱动油缸,4为辅助压紧板,5为弹性件,6为滑槽,7为滑块,8为固定板,9为螺钉。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型进一步说明。
参见图1,一种硅片装夹装置,包括容放硅片的容置槽1,容置槽1的右端设置有夹紧装置,其包括设置在容置槽内能够在容置槽内来回移动的压紧板2,以及设置在容置槽1上驱动压紧板的驱动油缸3,驱动油缸3固定设置在容置槽1上,压紧板2固定连接在驱动油缸3的活塞杆端部,在容置槽1的左端设置有辅助夹紧装置,其包括能够在容置槽内来回移动的辅助压紧板4,以及固定设置在辅助压紧板4左端面、容置槽1内壁之间的弹性件5,弹性件5为弹簧或“Z”型弹片;容置槽1的槽底开设有滑槽6,压紧板2、辅助压紧板4的底端设置有与滑槽相配合的滑块7。容置槽1的左端内壁设置有固定板8,固定板8通过螺钉9固定连接在容置槽上,弹性件5固定设置在固定板8与辅助压紧板4之间。
Claims (5)
1.一种硅片装夹装置,包括容放硅片的容置槽,其特征在于:容置槽的右端设置有夹紧装置,其包括设置在容置槽内能够在容置槽内来回移动的压紧板,以及设置在容置槽上驱动压紧板的驱动机构,在容置槽的左端设置有辅助夹紧装置,其包括能够在容置槽内来回移动的辅助压紧板,以及固定设置在辅助压紧板左端面、容置槽内壁之间的弹性件。
2.根据权利要求1所述的一种硅片装夹装置,其特征在于:所述容置槽的槽底开设有滑槽,压紧板、辅助压紧板的底端设置有与滑槽相配合的滑块。
3.根据权利要求1所述的一种硅片装夹装置,其特征在于:所述容置槽的左端内壁设置有固定板,所述固定板通过螺钉固定连接在容置槽上,弹性件固定设置在固定板与辅助压紧板之间。
4.根据权利要求1所述的一种硅片装夹装置,其特征在于:所述驱动机构为驱动油缸,驱动油缸固定设置在容置槽上,压紧板固定连接在驱动油缸的活塞杆端部。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种硅片装夹装置,其特征在于:所述弹性件为弹簧或“Z”型弹片。
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