CN203386727U - 一种恒温酸洗槽 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种恒温酸洗槽,包括酸洗槽、加热模块和水泵,所述水泵的出水口连接到加热模块的进水口,所述加热模块的进水口连接到酸洗槽的进水口。与现有技术相比,本实用新型的有益之处在于结构简单、合理,使用方便,有效保证酸洗液的温度,达到良好的酸洗效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体的生产装备,尤其是一种恒温酸洗槽。
背景技术
在半导体二级管的制作过程中,需要对二极管酸洗后再进行封装。因此,二极管清洗是否干净,直接影响其性能。在清洗过程中,通常将二极管插装在酸洗槽的插孔内,先将腐蚀性的含硫酸的酸洗液引入酸洗槽内对二极管浸泡,再将二极管用离子水进行冲洗。只有保持酸洗液为一定的温度,才能保证清洗效果及其反应充分。酸洗过程的温度控制,直接影响到二极管的品质。
发明内容
本实用新型针对上述存在的酸洗槽恒温的问题,提供一种恒温酸洗槽,在酸洗槽的进水口处,设置加热模块,控制酸洗槽的温度。
本实用新型采用如下技术方案:一种恒温酸洗槽,包括酸洗槽、加热模块和水泵,所述水泵的出水口连接到加热模块的进水口,所述加热模块的进水口连接到酸洗槽的进水口。
优选的,所述加热模块包括电热水器。
与现有技术相比,本实用新型的有益之处在于,结构简单、合理,使用方便,有效保证酸洗液的温度,达到良好的酸洗效果。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
附图标记:
1、水泵出水口;2、加热模块;3、酸洗槽。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。
实施例1,如图1所示。恒温酸洗槽,包括酸洗槽3、加热模块2和水泵,所述水泵的出水口1连接到加热模块2的进水口,所述加热模块2的进水口连接到酸洗槽3的进水口。加热模块2包括电热水器。
二极管在酸洗时控制腐蚀温度70摄氏度。根据环境温度,夏天的温度控制在70摄氏度左右,冬季要高些,一般在85—90摄氏度。稳定的温度才能保证清洗效果及反应充分。工作时,打开水泵,酸洗液流入电热水器中,加热到一定温度后,流至酸洗槽,对二极管进行清洗。
尽管结合优选实施方案具体展示和介绍了本实用新型,但所属领域的技术人员应该明白,在不脱离所附权利要求书所限定的本实用新型的精神和范围内,在形式上和细节上对本实用新型做出各种变化,均为本实用新型的保护范围。
Claims (2)
1.一种恒温酸洗槽,其特征在于,包括酸洗槽、加热模块和水泵,所述水泵的出水口连接到加热模块的进水口,所述加热模块的进水口连接到酸洗槽的进水口。
2.如权利要求1所述的一种恒温酸洗槽,其特征在于,所述加热模块包括电热水器。
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Granted publication date: 20140108 Termination date: 20140628 |
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