CN203320118U - 超高方阻金属化膜用真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种超高方阻金属化膜用真空镀膜机，这种真空镀膜机包括卷绕系统、蒸镀系统、降温系统、真空系统和电脑控制系统；卷绕系统包括放卷辊，导辊，展平辊，主鼓，张力辊，收卷辊，蒸镀系统包括蒸发舟、蒸发舟隔板、锌炉、锌炉挡板，降温机构包括制冷机，真空机构包括抽真空电动机和真空室，电脑控制系统包括由单片机组成的CPU、显示屏及各种传感器。通过对真空镀膜机的蒸发舟隔板、锌炉挡板的形状、大小、距基膜距离，锌炉压力、主鼓温度及真空室真空度的精确调整，使超高方阻金属化膜的生产达到质量要求而实现规模化量产。

Description

超高方阻金属化膜用真空镀膜机

技术领域

本实用新型涉及一种金属化膜的生产设备，特别适合于电容器用超高方阻金属化膜的产业化生产。

背景技术

如图1所示，现有的超高方阻(方阻：在金属化膜中一个正方形方块金属镀层的电阻值)金属化膜金属镀层沿材基M1的宽度方向由中心向二侧依次分为加厚区a、方阻渐变区b和高方阻区c，超高方阻金属化膜的基膜M1为有机聚合物薄膜，在基膜M1上蒸镀金属镀层，包括铝层M2以及蒸镀在铝层M2表面的锌层M3，锌层M3沿基膜M1的宽度方向由二侧向中心逐渐加厚。铝层M2和锌层M3是通过真空镀膜机在高真空状态下在基膜M1上蒸镀而成，由于在基膜上要形成加厚区、方阻渐变区和高方阻区，蒸镀过程中与蒸发炉真空度和灰尘微粒的控制、主鼓温度的控制、蒸发舟隔板的开口形状、尺寸和对基膜距离的控制、锌炉压力和锌炉挡板的开口形状、尺寸和对基膜距离的控制及操作工人的技术经验都密切相关，增加了超高方阻金属化膜质量的不稳定性，故这种金属化膜很难实现规模化生产。

发明内容

为实现上述目的，本实用新型公开一种超高方阻金属化膜用真空镀膜机，经精确操作后能使超高方阻金属化膜的生产达到质量要求而实现规模化量产。

超高方阻金属化膜用真空镀膜机包括卷绕系统、蒸镀系统、降温系统、真空系统和电脑控制系统；卷绕系统包括放卷辊，导辊，展平辊，主鼓，张力辊，收卷辊，蒸镀系统包括蒸发舟、蒸发舟隔板、锌炉、锌炉挡板，降温机构包括制冷机、真空机构包括抽真空电动机和真空室，电脑控制系统包括由单片机组成的CPU、显示屏及各种传感器。金属锌块和铝丝分别在锌炉和蒸发舟内加热为液态至沸腾而形成金属蒸气，基膜经过放卷辊、主鼓和收卷辊带动基膜高速卷绕，使得基膜通过主鼓表面先后与蒸发舟和锌炉的蒸镀口处被蒸镀而形成金属铝膜和金属锌膜。通过对真空镀膜机蒸发舟隔板、锌炉挡板形状、大小、距基膜的距离，锌炉压力、主鼓温度及真空度的精确调整，使超高方阻金属化膜的生产达到质量要求而实现规模化量产。

1、蒸发舟隔板开口尺寸及至基膜的距离控制：

根据真空镀膜技术原理，基膜上金属镀层厚度t₀＝w₀/(πρh²)，式中w₀为蒸发量，ρ为金属的电阻率，h为蒸发源距基膜的距离，本实用新型通过计算机对超高方阻金属化膜的工艺参数进行分析计算，自动调节蒸发舟隔板的开口尺寸和距基膜的距离，保证铝镀层厚度的可控性及宽度的一致性。

2、锌炉挡板的调整：

根据方阻值的变化要求，锌炉挡板采用对称阶梯形开口并由计算机计算锌炉锌炉挡板的开口尺寸和距基膜的距离，运行中再由人工准确调整以得到渐变锌层厚度与渐变方阻值相符的金属锌层。

3、主鼓温度的控制：

铝、锌等金属要在蒸发炉内加热成蒸气再蒸镀在基膜上，金属蒸气温度高达1000℃以上，而有机基膜在被蒸镀时温度一般不能超过100℃，为了防止高温金属蒸发源对基膜的热辐射及沉积热对基膜的热损伤，本实用新型采用将主鼓温度冷却至基膜临界温度的最高值，这时既能发挥金属蒸汽高温的可镀性，同时又不至灼伤基膜。

4、锌炉内压力的控制：

由于锌炉内形成锌蒸气的压力很大，不便直接用于蒸镀，本实用新型在真空镀膜机上设置锌炉减压装置，以达到对锌炉内部进行合理减压的目的，使锌蒸气从锌炉内蒸发后能够安全均匀的到达有机基膜表面。

附图说明

图1是背景技术超高方阻金属化膜的截面结构示意图。

图2是本实用新型超高方阻金属化膜用真空镀膜机蒸镀系统结构示意图。

图3是本实用新型蒸发舟隔板结构示意图。

图4是本实用新型锌炉挡板结构示意图。

具体实施方式

本实用新型实施例是一种超高方阻金属化膜用真空镀膜机，图2为真空镀膜机蒸镀系统结构示意图，蒸镀系统包括卷绕系统和蒸发系统，卷绕系统包括放卷辊1，导辊2，展平辊3，主鼓4，张力辊5，收卷辊6，蒸发系统包括蒸发舟7，蒸发舟隔板8，锌炉9，锌炉挡板10，真空室11；在蒸发舟隔板8上设置长方形开口81，在锌炉挡板10上设置对称阶梯形开口101。工作时，首先在放卷辊1装上有机基膜卷，在蒸发舟7内装好铝金属丝和蒸发舟隔板8，在锌炉9内装好金属锌块和锌炉挡板10，将蒸发系统入位真空室11后对卷绕系统和蒸发系统彻底清洁，尽可能地减少各类杂质和飞尘微粒，然后盖上真空室11盖，这时真空镀膜机的卷绕系统和蒸发系统全部处在真空室11内。根据超高方阻金属化膜的设计参数在真空镀膜机的电脑屏上设置好主鼓4的最高临界温度值，调整好蒸发舟7内送铝电极的走进速度、蒸发舟隔板8的开口尺寸和距基膜的距离，设置并调整好锌炉9内的压力和锌炉挡板10的开口尺寸及距基膜的距离。开机，通过真空电动机的工作使真空室11的真空度降至-2MP以下，蒸发舟7和锌炉9的金属被加热成金属蒸气，蒸发舟隔板8被自动调整到距基膜的适当距离，锌炉9内锌蒸气的压力被降至适当值，锌炉挡板10被自动调整距基膜的适当距离，主鼓4的表面温度被制冷机降至基膜临界温度的最高值。此时，卷绕系统开始工作，基膜从放卷辊1放出，经导辊2、展平辊3过主鼓4使铝、锌蒸气被先后蒸镀在基膜上，再经收卷辊6通过其导辊2、展平辊3和张力辊5卷收而为成品。在基膜蒸镀的整个过程中，应根据经验观察被主鼓蒸镀后金属化膜的形状和颜色，随时进行微调，以保证超高方阻金属化膜的产品质量符合技术要求。

Claims (4)

1.一种超高方阻金属化膜用真空镀膜机，其特征在于：真空镀膜机包括卷绕系统、蒸镀系统、降温系统、真空系统和电脑控制系统；卷绕系统包括放卷辊，导辊，展平辊，主鼓，张力辊，收卷辊，蒸镀系统包括蒸发舟、蒸发舟隔板、锌炉、锌炉挡板，降温机构包括制冷机，真空机构包括抽真空电动机和真空室，电脑控制系统包括由单片机组成的CPU、显示屏及各种传感器。 

2.根据权利要求1所述的超高方阻金属化膜用真空镀膜机，其特征在于：蒸发舟隔板上设置有长方形开口，开口的长度、宽度及蒸发舟隔板距基膜的距离与被镀金属化膜铝层的宽度和其方阻值相适应。 

3.根据权利要求1所述的超高方阻金属化膜用真空镀膜机，其特征在于：锌炉挡板上设置有对称阶梯形开口，其阶梯的个数为3～5个，其开口的尺寸及锌炉挡板距基膜的距离与被镀金属化膜的渐变方阻值相适应。 

4.根据权利要求1所述的超高方阻金属化膜用真空镀膜机，其特征在于：锌炉内设置有减压装置。 

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