CN203305035U - 一种精抛机导轮 - Google Patents

Abstract

本实用新型所述的一种精抛机导轮，主要用于生产单晶硅抛光片的抛光机上。导轮外壳（1）和导轮底座（2）均采用一体式结构设计，导轮外壳（1）不再有留存抛光液残留的缝隙，导轮外壳（1）与导轮底座（2）过盈配合组装，避免出现松动或相对移动产生摩擦的问题。导轮上盖（6）内孔装有轴封（7）将导轮轴（3）的上部与导轮上盖（6）之间的空隙封闭，防止水抛光液进入导轮内部。导轮外壳（1）为锥形圆柱状结构设计，使抛光机压头下落时不再碰撞导轮上部。本实用新型结构设计简单，安装操作方便，易于维修，方便使用，克服了抛光布上产生的沾污和划道问题，降低了使用成本，提高了工作效率。

Description

一种精抛机导轮

技术领域

本实用新型属于单晶硅抛光片生产技术领域，主要涉及一种精抛机导轮。

背景技术

单晶硅抛光片是IC行业的基础材料，而抛光机是生产硅抛光片的必要设备。目前在市场上，SPEEDFAM公司生产的一种SPAW50抛光机，在国内IC行业拥有较大保有量。SPAW50精抛机导轮是精抛机上的重要装置，与中心轮一起准确确定了载体盘在抛光布上的位置。导轮的运行状态对于生产单晶硅抛光片的品质具有极其重要的影响。抛光机工作时，在抛光机大盘、中心轮的转动下，通过化学机械抛光过程完成硅片的精抛光。在抛光生产过程中，要求导轮除能够保证载体盘的准确定位，平稳运行以外，还要在运行过程中保证洁净、不产生颗粒，并要求导轮有一定的耐用程度，易于维护、修理，尽量使生产能不间断地连续进行。但在生产使用中发现，SPAW50精抛机所使用的导轮存在着以下三个问题：

1、抛光机压头下落时因为压头随机倾斜会碰到导轮的上部，碰撞所产生的颗粒掉落在抛光布上，使抛光片产生沾污和划道。

2、导轮外壳材料为聚甲醛树脂，分为上下两个部分设计制造。导轮内套也分为不锈钢底座与中圈两部分。这种设计使得上下两部分之间有一道缝隙，抛光液进入该缝隙后往往不易被清洗出来而造成结晶。另外导轮外壳的两部分均与抛光机导轮的不锈钢底座、中圈过盈装配，这种分体结构使得导轮外壳与不锈钢底座、中圈的结合力不够。往往下部外壳与底座表面以及与上部外壳底面产生相对运动。尤其是下部外壳因工作温度升高或载体盘的冲击、挤压下，先与不锈钢底座表面松动后再与上部外壳的底面产生摩擦。摩擦使得抛光液的结晶以及接触面的材料以细小的颗粒物掉落在抛光布上，从而产生沾污和划道。这样就无法保障硅片抛光生产的洁净要求，造成抛光片成品下降，废品率上升。

3、导轮组装的零件数过多，整体部件可靠性差、拆装相对麻烦，修理不便。影响了生产的正常进行和工作效率。

实用新型内容

鉴于现有技术中使用的SPAW50精抛光机导轮所存在的问题，本实用新型设计提出了一种新型SPAW50精抛机上用导轮。通过对导轮外壳采用锥形圆柱体设计，使导轮外壳上部直径尺寸减小，目的是解决抛光机压头下落时，随机倾斜碰撞导轮的上部，碰撞所产生的颗粒掉落在抛光布上，使抛光片产生沾污和划道问题。导轮外壳和导轮底座都采用整体式结构设计，使导轮外壳不在有可以留存抛光液残留后形成结晶的缝隙，导轮外壳通过过盈配合镶嵌在整体式结构设计的导轮底座上，这样导轮外壳与导轮底座接触表面面积增大，提高了导轮外壳与导轮底座之间的结合力，不再出现松动或因相对移动产生摩擦使抛光液的结晶以及接触面的材料以细小的颗粒物掉落在抛光布上产生沾污和划道问题。

为实现上述发明目的，本实用新型采取的技术方案是：一种精抛机导轮，主要是由导轮外壳、导轮底座，导轮轴、轴承、轴承挡板、导轮上盖、轴封、橡胶O型环、内六方螺栓构成；其中导轮外壳采用聚甲醛树脂材料制做，设计成上部尺寸小下部尺寸大的锥形圆柱状结构，上部直径尺寸为115mm，底部直径尺寸为118mm，以解决抛光机压头下落时随机倾斜碰撞导轮的上部问题；圆柱部分直接作用于载体盘边缘，设计为16mm高，配合中心轮对载体板进行定位；在导轮外壳的底部设计一个圆柱型空腔，与导轮底座相配合；导轮底座采用不锈钢材料制做，在导轮底座下部设计一个5mm高的凸台，目的是防止导轮外壳和导轮底座在工作时产生形变造成的脱落；导轮外壳和导轮底座通过过盈配合组装成一体；装有两个滚珠轴承的导轮轴安装在导轮底座的内孔中，导轮轴的底部安装了一块用螺栓固定的轴承挡板，以防止轴承从导轮轴上脱落；导轮上盖套入导轮轴上端后，用内六方螺栓固定在导轮底座上；导轮上盖内孔装有轴封，将导轮轴的上部与导轮上盖之间的空隙封闭，防止水抛光液进入导轮内部；导轮上盖的下部凸台外圆上与导轮底座接触面设有一个凹槽，凹槽内装有橡胶O型环，用以密封导轮上盖与导轮底座之间的缝隙，防止水、抛光液侵入导轮内。

本实用新型所述的一种精抛机导轮，所用的各种组件加工工艺简单，安装操作方便，有效地解决抛光机压头碰撞导轮上部的问题，导轮外壳和导轮底座采用整体结构设计，使导轮外壳不再有留存抛光液残留的缝隙，提高了导轮外壳和导轮底座之间的结合力，克服了抛光布上产生的沾污和划道问题，降低了使用成本，提高了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：1、导轮外壳，2、导轮底座，3导轮轴，4、滚珠轴承，5、轴承挡板，6、导轮上盖，7、轴封，8、橡胶O型环，9、内六方螺栓，10、凸台，11、圆柱部分。

具体实施方式

下面结合附图给出本实用新型的实施方式如下：

如图1所示，本实用新型所述的一种精抛机导轮，主要是由导轮外壳1、导轮底座2、导轮轴3、滚珠轴承4、轴承挡板5、导轮上盖6、轴封7、橡胶O型环8、内六方螺栓9构成；导轮外壳1是采用聚甲醛树脂材料制做，设计成上部尺寸小下部尺寸大的锥形圆柱状结构，上部直径尺寸为115mm，底部直径尺寸为118mm，以解决抛光机压头下落时随机倾斜碰撞导轮的上部问题；圆柱部分11直接作用于载体盘边缘，设计为16mm高，配合中心轮对载体板进行定位；在导轮外壳1的底部设计一个圆柱型空腔，与导轮底座2相配合；导轮底座2采用不锈钢材料制做，在导轮底座下部设计一个5mm高的凸台10，与导轮外壳1配合，防止导轮外壳1和导轮底座2在工作时产生形变造成的脱落；导轮外壳1通过过盈配合和导轮底座2组装在一起；装有两个滚珠轴承4的导轮轴3安装在导轮底座2的内孔中，导轮轴3的底部安装了一块用螺栓固定的轴承挡板5，防止轴承从导轮轴3上脱落；导轮上盖6通过上盖内孔套入导轮轴3的上端后，用内六方螺栓9将导轮上盖6固定在导轮底座2上。导轮上盖6的内孔装有轴封7，将导轮轴3的上部与导轮上盖6之间的空隙封闭，防止水和抛光液进入导轮内部。导轮上盖6下部凸台的外圆上与导轮底座2接触面设有一个凹槽，凹槽内装有橡胶O型环8，起到密封导轮上盖6与导轮底座2之间缝隙的作用。

安装时，将整体的导轮外壳1通过过盈配合安装在底部带有凸台的导轮底座2上，把装有两个滚珠轴承4的导轮轴3安装到导轮底座2的内孔中，导轮轴3下部通过固定螺栓安装轴承挡板5；导轮上盖6内孔穿过导轮轴3上部后，用内六方螺栓9将导轮上盖6固定在导轮底座2上，导轮上盖6内安装的轴封7，将导轮轴3上部与导轮上盖6之间的空隙封闭；导轮上盖6下部凸台外圆凹槽内安装橡胶O型环8，密封导轮上盖6与导轮底座2之间缝隙。

组装完成后，将导轮安装到SPAW50设备的导轮臂上，导轮轴3上端的三个螺孔尺寸位置均与原SPAW50设备上的导轮相同，故此可以方便地连接在原导轮的导轮臂上使用。

Claims (4)

1.一种精抛机导轮，其特征是：所述的一种精抛机导轮，主要是由导轮外壳（1）、导轮底座（2）、导轮轴（3）、滚珠轴承（4）、轴承挡板（5）、导轮上盖（6）、轴封（7）、橡胶O型环（8）、内六方螺栓（9）构成；其中，导轮外壳（1）和导轮底座（2）均为整体式设计结构，导轮外壳（1）为锥型圆柱体结构，内设一个圆柱形空腔；导轮底座（2）的底部设有一个与圆柱形空腔相匹配的凸台（10），导轮外壳（1）安装在导轮底座上（2）上；装有两个滚珠轴承（4）的导轮轴（3）安装在导轮底座（2）的内孔中，导轮轴（3）的底部固定安装了一块轴承挡板（5）；导轮上盖（6）通过上盖内孔套入导轮轴（3）的上端，用内六方螺栓（9）固定安装在导轮底座（2）上。

2.根据权利要求1所述的一种精抛机导轮，其特征是：导轮外壳（1）上部直径尺寸为115mm，下部直径尺寸为118mm，圆柱部分（11）高16mm。

3.根据权利要求1所述的一种精抛机导轮，其特征是：导轮上盖（6）与导轮轴（3）上部之间的空隙内装有轴封（7）。

4.根据权利要求1所述的一种精抛机导轮，其特征是：导轮上盖（6）下部凸台的外圆上与导轮底座（2）接触面设有一个凹槽，凹槽内装有橡胶O型环（8）。

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