CN203303823U - 废气处理设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种废气处理设备，其包括腔体、排气管、抽风装置及存水弯管。腔体包括进气口、排水口及用以喷洒液体的洒水装置。废气经由进气口进入腔体与液体接触。排气管连接腔体。抽风装置将腔体内的废气抽送至排气管。存水弯管连接排水口且包括第一压力控制阀、第二压力控制阀及弯折部。第一及第二压力控制阀分别设置于存水弯管的进水端及出水端。弯折部位于进水端及出水端之间。当第一或第二压力控制阀开启时，液体通过开启的第一或第二压力控制阀。当第一或第二压力控制阀关闭时，液体无法通过关闭的第一或第二压力控制阀。

Description

废气处理设备

技术领域

本实用新型涉及一种废气处理设备，且特别是涉及一种具有压力控制阀的废气处理设备。 

背景技术

当制作工艺机台的废气自制作工艺反应室抽离后，会先经过废气处理设备，再作进一步处理，之后排入大气。目前的废气处理设备一般采用前段高温加热，使半导体制作工艺废气氧化，后段再经洒水装置以清水喷洒冲洗，将高温废气降温，同时洗涤高温废气，使废气中的微粒或者酸碱溶解于水中，再将废水经由排水管排出，并通过抽风装置将处理过的废气通过排气管排放至外界。由于此设备有效结合氧化及水洗的优点，能适用于大量粉尘的制作工艺中，因此广受各大半导体厂选用。 

现有的废气处理设备为了与抽风装置所产生的风压抗衡，其排水管须设置有一定高度的存水弯，以利用其静水压力来抵抗风压，使废水能顺利经由排水管排出。然而，当抽风装置所产生的风压超过2000毫米水柱（mmAq）以上时，其所需的存水弯长度将长达几十公尺（米），无论在实务上或建置空间上皆不适宜。若用以抵抗抽风装置的风压的存水弯长度不足，则废水会随着处理过的废气一同抽送至排气管而排放至外界，不仅造成环境污染，更会使管线积水，进而造成严重的管线腐蚀问题、工安危害以及维修上的困扰。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种废气处理装置，其可控制腔体以及存水弯管内的压力，因而可缩短其其存水弯管的长度。 

为达上述目的，本实用新型提出一种废气处理设备，其包括腔体、排气管、抽风装置及存水弯管。腔体包括进气口、排水口及用以喷洒液体的洒水装置。废气经由进气口进入腔体与液体接触。排气管连接腔体。抽风装置将腔体内的废气抽送至排气管。存水弯管连接排水口且包括第一压力控制阀、 第二压力控制阀及弯折部。第一及第二压力控制阀分别设置于存水弯管的进水端及出水端。弯折部位于进水端及出水端之间。当第一或第二压力控制阀开启时，液体通过开启的第一或第二压力控制阀。当第一或第二压力控制阀关闭时，液体无法通过关闭的第一或第二压力控制阀。 

在本实用新型的一实施例中，上述的第一压力控制阀以及第二压力控制阀各包括一挡片，其适于切换于一开启位置及一关闭位置之间。当挡片位于开启位置时，挡片让出一通道以供液体通过。当挡片位于关闭位置时，挡片遮挡存水弯管的管道以阻挡液体通过。 

在本实用新型的一实施例中，上述的挡片各具有一转轴，各转轴通过存水弯管的管道中心。各挡片沿着对应的转轴旋转，以切换于开启位置及关闭位置之间。 

在本实用新型的一实施例中，上述的存水弯管的长度介于2公尺至3公尺之间。 

在本实用新型的一实施例中，上述的抽风装置的风压介于2000毫米水柱（mmAq）至3500毫米水柱（mmAq）之间。 

在本实用新型的一实施例中，上述的废气处理设备还包括一感测单元以及一控制单元。感测单元耦接第一压力控制阀以及第二压力控制阀。控制单元耦接感测单元、第一压力控制阀以及第二压力控制阀。当感测单元侦测到第二压力控制阀开启时，控制单元关闭第一压力控制阀。 

在本实用新型的一实施例中，上述的弯折部包括一第一弯折部以及一第二弯折部。第一弯折部位于进水端与第二弯折部之间。第二弯折部位于出水端与第一弯折部之间。 

在本实用新型的一实施例中，当上述的液体通过第二弯折部时，控制单元开启第二压力控制阀，此时感测单元侦测到第二压力控制阀开启，控制单元关闭第一压力控制阀。 

在本实用新型的一实施例中，上述的腔体还包括一洗涤层，具有多个微孔，使液体与废气通过洗涤层而充分混合。 

在本实用新型的一实施例中，上述的第一压力控制阀以及第二压力控制阀为蝴蝶阀。 

本实用新型的优点在于，在连接腔体的存水弯管内设置两个压力控制阀，其分别位于存水弯管的进水端及出水端，且在排水的过程中，两个压力 控制阀至少有一个呈关闭状态。如此，腔体内的压力可与出水端外的压力隔绝，以维持腔体内的压力不变，而腔体内的液体即可顺利经由存水弯管排出，而不会因抽风装置所产生的风压过大，而造成抽风装置将液体与废气一同抽至排气管内的情形。因此，本实用新型的废气处理设备无须全靠存水弯管内的静水压力来平衡抽风装置产生的风压，存水弯管的长度因而可大幅缩短，因而增加了废气处理设备在实务上以及建置空间上的可行性。 

为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图作详细说明如下。 

附图说明

图1是依照本实用新型的一实施例的一种废气处理设备的示意图； 

图2是图1的压力控制阀的示意图。 

主要元件符号说明 

100：废气处理设备 

110：腔体 

112：洒水装置 

114：进气口 

116：排水口 

118：洗涤层 

120：排气管 

130：抽风装置 

140：存水弯管 

142：第一压力控制阀 

142a：挡片 

142b：转轴 

144：第二压力控制阀 

146：弯折部 

146a：第一弯折部 

146b：第二弯折部 

148：进水端 

149：出水端 

150：感测单元 

160：控制单元 

F：液体 

G：废气 

P1：开启位置 

P2：关闭位置 

S：通道 

具体实施方式

图1是依照本实用新型的一实施例的一种废气处理设备的示意图。请参照图1，在本实施例中，废气处理设备100包括腔体110、排气管120、抽风装置130及存水弯管140。腔体110包括进气口114、排水口116及洒水装置112。洒水装置112用以喷洒一液体F。一废气G经由进气口114进入腔体110与液体F接触。在本实施例中，废气G传送至例如一燃烧室中燃烧分解，经燃烧分解后的废气G接着进入腔体110，通过洒水装置112喷洒的液体F将高温废气G降温，同时洗涤高温废气G。在本实施例中，腔体110还可包括一洗涤层118，其位于排水口上方并具有多个微孔，微孔呈高密度配置，洒水装置112将液体F喷洒至洗涤层118上，使液体F与经处理的废气G能够充分混合，以将废气G中的微粒或者酸碱物质溶解于水中。在本实施例中，洗涤层118的材料例如包括耐酸碱的材料。 

承上述，排气管120位于腔体110上方并连接腔体110，以利用抽风装置130将腔体110内与液体F接触后的废气G抽送至排气管120。存水弯管140则连接排水口116。存水弯管140包括第一压力控制阀142、第二压力控制阀144及至少一弯折部146。第一压力控制阀142设置于存水弯管140的进水端148，而第二压力控制阀144则设置于存水弯管140的出水端149。弯折部146位于进水端148及出水端149之间。与废气G接触后的液体F由排水口116流出腔体110，并经由进水端148流入存水弯管140。当第一压力控制阀142或第二压力控制阀144开启时，液体F通过开启的第一压力控制阀142或第二压力控制阀144。当第一压力控制阀142或第二压力控制阀144关闭时，液体F无法通过关闭的第一压力控制阀142或第二压力控制 阀144。 

图2是图1的压力控制阀的示意图。图2绘示本实施例的第一压力控制阀142的结构，本实施例的第一压力控制阀142以及第二压力控制阀144的结构相同，第二压力控制阀144的结构可参照第一压力控制阀142，于此不再赘述。请参照图1及图2，在本实施例中，第一压力控制阀142以及第二压力控制阀144例如为蝴蝶阀。具体而言，第一压力控制阀142以及第二压力控制阀144各包括一挡片142a，挡片142a具有一转轴142b，转轴142b通过存水弯管140的管道中心。挡片142a适于沿着对应的转轴142b旋转，以切换于一开启位置P1及一关闭位置P2之间。当挡片142a位于开启位置P1时，挡片142a让出一通道S以供液体F通过。当挡片142a位于关闭位置时，挡片142a遮挡存水弯管140的管道以阻挡液体F通过。挡片142a的作用是在于关闭位置P2时可截断水流，而于开启位置P1时由于其位于水流中心，因此水力损失较小。 

在本实施例中，抽风装置130所产生的风压介于2000毫米水柱（mmAq）至3500毫米水柱（mmAq）之间。因此，为了抵抗抽风装置130所产生的风压，使与废气G接触后的液体F能顺利经由进水端148进入存水弯管140并由出水端149排放至外界，第一压力控制阀142以及第二压力控制阀144一开始皆呈关闭状态，使腔体110内的压力不与外界相通，因而使液体F能顺利经由进水端148进入存水弯管140而累积于第一压力控制阀142上。在本实施例中，废气处理设备100还包括一感测单元150以及一控制单元160。感测单元150耦接第一压力控制阀142以及第二压力控制阀144，以感测第二压力控制阀144的开启或关闭状态。控制单元160耦接感测单元150、第一压力控制阀142以及第二压力控制阀144，以控制第一压力控制阀142以及第二压力控制阀144的开启或关闭。 

承上述，当第一压力控制阀142上累积一定重量的液体F，此时，第一压力控制阀142开启，液体F即通过第一压力控制阀142而到达弯折部146，第二压力控制阀144仍持续关闭。在本实施例中，存水弯管140的弯折部146包括一第一弯折部146a以及一第二弯折部146b。第一弯折部146a如图1所示位于进水端148与第二弯折部146b之间，第二弯折部146b则位于出水端149与第一弯折部146a之间。承前段所述，液体F通过第一压力控制阀142后先到达第一弯折部146a。此时，洒水装置112仍持续喷洒液体F，因此液 体F仍不断累积而往第二弯折部146b的方向漫延。当液体F累积到一定的量，例如液体F漫延至第二弯折部146b时，控制单元160开启第二压力控制阀144，以使液体F能顺利游出水端149排出至外界。此时，感测单元150侦测到第二压力控制阀144的开启状态即传送一感测信号至控制单元160，控制单元160即依据此感测信号关闭第一压力控制阀142，以维持腔体110内的压力与外界隔绝，而不致因为抽风装置130的风压过大而导致液体F被抽送至排气管120的情形。如此设置，则无须全靠存水弯管140内的静水压力来平衡抽风装置130产生的风压，存水弯管140的长度因而可大幅缩短至介于2公尺至3公尺之间。 

综上所述，本实用新型于连接腔体的存水弯管内设置两个压力控制阀，其分别位于存水弯管的进水端及出水端，且在排水的过程中，两个压力控制阀至少有一个呈关闭状态。如此，腔体内的压力可与出水端外的压力隔绝，以维持腔体内的压力不变，而腔体内的液体即可顺利经由存水弯管排出，而不会因抽风装置所产生的风压过大，而造成抽风装置将液体与废气一同抽至排气管内的情形。因此，本实用新型的废气处理设备无须全靠存水弯管内的静水压力来平衡抽风装置产生的风压，存水弯管的长度因而可大幅缩短，因而增加了废气处理设备在实务上以及建置空间上的可行性。 

Claims (9)

1.一种废气处理设备，其特征在于，该废气处理设备包括： 

腔体，包括洒水装置，用以喷洒一液体，该腔体具有进气口以及排水口，一废气经由该进气口进入该腔体并与该液体接触； 

排气管，位于该腔体上方并连接该腔体； 

抽风装置，将该腔体内的该废气抽送至该排气管；以及 

存水弯管，连接该排水口，且包括第一压力控制阀、第二压力控制阀以及至少一弯折部，该第一压力控制阀设置于该存水弯管的一进水端，该第二压力控制阀设置于该存水弯管的一出水端，该弯折部位于该进水端以及该出水端之间。 

2.如权利要求1所述的废气处理设备，其特征在于，该第一压力控制阀以及该第二压力控制阀各包括一挡片，其切换于一开启位置及一关闭位置之间。 

3.如权利要求2所述的废气处理设备，其特征在于，该些挡片各具有一转轴，各该转轴通过该存水弯管的管道中心，各该挡片沿着对应的转轴旋转，以切换于该开启位置及该关闭位置之间。 

4.如权利要求1所述的废气处理设备，其特征在于，该存水弯管的长度介于2公尺至3公尺之间。 

5.如权利要求1所述的废气处理设备，其特征在于，该抽风装置所产生的风压介于2000毫米水柱至3500毫米水柱之间。 

6.如权利要求1所述的废气处理设备，其特征在于，该废气处理设备还包括感测单元以及控制单元，该感测单元耦接该第一压力控制阀以及该第二压力控制阀，该控制单元耦接该感测单元、该第一压力控制阀以及该第二压力控制阀。 

7.如权利要求1所述的废气处理设备，其特征在于，该弯折部包括第一弯折部以及第二弯折部，该第一弯折部位于该进水端与该第二弯折部之间，该第二弯折部位于该出水端与该第一弯折部之间。 

8.如权利要求1所述的废气处理设备，其特征在于，该腔体还包括一洗涤层，该洗涤层位于该排水口上方，具有多个微孔，使该液体与该废气通过该洗涤层而充分混合。 

9.如权利要求1所述的废气处理设备，其特征在于，该第一压力控制阀以及该第二压力控制阀为蝴蝶阀。 

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