CN203284500U - 一种单晶炉石墨坩埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开的一种单晶炉石墨坩埚，其特征在于：单晶炉石墨坩埚的锅体由六瓣锅片围成，六瓣锅片的底部设有箍圈，箍圈为托盘式结构，箍圈具有的外缘从六瓣锅片的底部将六瓣锅片进行箍住，箍圈具有的底盘从六瓣锅片的底部将六瓣锅片进行托住，六瓣锅片具有相同的外形结构。本实用新型具有装炉方便、更换成本低等优点，特别适用大容量单晶炉应用场合。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及一种单晶炉生产设备，具体涉及一种单晶炉的石墨坩埚。
【背景技术】
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉中有一个重要部件为石墨坩埚，传统的石墨坩埚大多选用单瓣式的，单瓣式石墨坩埚的结构简单，但缺点是装炉不方便，更换成本高；还有，对于那些在大容量单晶炉中应用的石墨坩埚，石墨坩埚的尺寸也较大，石墨坩埚在使用一段时间后产生开裂的现象也更多，所以更换成本也更高。
【发明内容】
针对背景技术存在的不足，本实用新型的目的是在于提供一种具有装炉方便、更换成本低等优点，特别适用大容量单晶炉应用场合的单晶炉石墨坩埚。
本实用新型是采取如下技术方案来完成的：
一种单晶炉石墨坩埚，其特征在于：单晶炉石墨坩埚的锅体由六瓣锅片围成，六瓣锅片的底部设有箍圈，箍圈为托盘式结构，箍圈具有的外缘从六瓣锅片的底部将六瓣锅片进行箍住，箍圈具有的底盘从六瓣锅片的底部将六瓣锅片进行托住。
采用上述技术方案的单晶炉石墨坩埚，首先，在装炉时可以一瓣瓣进行安装，所以装炉方便；其次，石墨坩埚在使用一段时间后容易产生开裂，这时可以将开裂的一瓣锅片进行更换，另外的几瓣还可以继续使用，所以更换成本低，特别对于在大容量单晶炉中应用的大尺寸石墨坩埚，六瓣锅片的锅体结构更为适用。
为实现锅片的互换性，作为优选技术方案，六瓣锅片具有相同的外形结构。
【附图说明】
本实用新型有如下附图：
图1为单晶炉石墨坩埚的结构图，
图2为图1的俯视图。
【具体实施方式】
如图所示，本实用新型的单晶炉石墨坩埚，包括锅体和箍圈2，所述锅体由六瓣锅片1围成，六瓣锅片1具有相同的外形结构，所述箍圈2设在六瓣锅片1的底部，箍圈2为托盘式结构，箍圈具有的外缘21从六瓣锅片1的底部将六瓣锅片1进行箍住，箍圈具有的底盘22从六瓣锅片1的底部将六瓣锅片1进行托住。
Claims (2)
1.一种单晶炉石墨坩埚，其特征在于：单晶炉石墨坩埚的锅体由六瓣锅片围成，六瓣锅片的底部设有箍圈，箍圈为托盘式结构，箍圈具有的外缘从六瓣锅片的底部将六瓣锅片进行箍住，箍圈具有的底盘从六瓣锅片的底部将六瓣锅片进行托住。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨坩埚，其特征在于：六瓣锅片具有相同的外形结构。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN2013203114414U CN203284500U (zh) | 2013-05-17 | 2013-05-17 | 一种单晶炉石墨坩埚 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN2013203114414U CN203284500U (zh) | 2013-05-17 | 2013-05-17 | 一种单晶炉石墨坩埚 |
Publications (1)
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| CN203284500U true CN203284500U (zh) | 2013-11-13 |
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Family Applications (1)
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| CN (1) | CN203284500U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104499044A (zh) * | 2014-12-16 | 2015-04-08 | 湖南博云新材料股份有限公司 | 一种炭/炭坩埚及其生产方法 |
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2013
- 2013-05-17 CN CN2013203114414U patent/CN203284500U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN104499044A (zh) * | 2014-12-16 | 2015-04-08 | 湖南博云新材料股份有限公司 | 一种炭/炭坩埚及其生产方法 |
| CN104499044B (zh) * | 2014-12-16 | 2017-10-27 | 湖南博云新材料股份有限公司 | 一种炭/炭坩埚及其生产方法 |
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Legal Events
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| GR01 | Patent grant | ||
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Granted publication date: 20131113 Termination date: 20140517 |