CN203284507U - 单晶炉石墨坩埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开的单晶炉石墨坩埚，其特征在于：单晶炉石墨坩埚的锅体由四瓣锅片围成，四瓣锅片的底部设有箍圈，箍圈为托盘式结构，箍圈从四瓣锅片的底部将四瓣锅片进行箍住并进行托住，四瓣锅片具有相同的外形结构。本实用新型具有装炉方便、更换成本低等优点。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及一种单晶炉生产设备，具体涉及一种单晶炉的石墨坩埚。
【背景技术】
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉中有一个重要部件为石墨坩埚，传统的石墨坩埚大多选用单瓣式的，单瓣式石墨坩埚的结构简单，但缺点是装炉不方便，更换成本高。
【发明内容】
针对背景技术存在的不足，本实用新型的目的是在于提供一种具有装炉方便、更换成本低等优点的单晶炉石墨坩埚。
本实用新型是采取如下技术方案来完成的：
单晶炉石墨坩埚，其特征在于：单晶炉石墨坩埚的锅体由四瓣锅片围成，四瓣锅片的底部设有箍圈，箍圈为托盘式结构，箍圈从四瓣锅片的底部将四瓣锅片进行箍住并进行托住。
采用上述技术方案的单晶炉石墨坩埚，首先，在装炉时可以一瓣瓣进行安装，所以装炉方便；其次，石墨坩埚在使用一段时间后容易产生开裂，这时可以将开裂的一瓣锅片进行更换，另外的三瓣还可以继续使用，所以更换成本低。
为实现锅片的互换性，作为优选技术方案，四瓣锅片具有相同的外形结构。
【附图说明】
本实用新型有如下附图：
图1为单晶炉石墨坩埚的结构图，
图2为图1的俯视图。
【具体实施方式】
如图所示，本实用新型的单晶炉石墨坩埚，包括锅体和箍圈2，所述锅体由四瓣锅片1围成，四瓣锅片1具有相同的外形结构，所述箍圈2设在四瓣锅片1的底部，箍圈2为托盘式结构，箍圈具有的外缘21从四瓣锅片1的底部将四瓣锅片1进行箍住，箍圈具有的底盘22从四瓣锅片1的底部将四瓣锅片1进行托住。
Claims (2)
1.单晶炉石墨坩埚，其特征在于：单晶炉石墨坩埚的锅体由四瓣锅片围成，四瓣锅片的底部设有箍圈，箍圈为托盘式结构，箍圈从四瓣锅片的底部将四瓣锅片进行箍住并进行托住。
2.根据权利要求1所述的单晶炉石墨坩埚，其特征在于：四瓣锅片具有相同的外形结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2013203114518U CN203284507U (zh) | 2013-05-17 | 2013-05-17 | 单晶炉石墨坩埚 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN203284507U true CN203284507U (zh) | 2013-11-13 |
Family
ID=49540880
Family Applications (1)
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| CN2013203114518U Expired - Fee Related CN203284507U (zh) | 2013-05-17 | 2013-05-17 | 单晶炉石墨坩埚 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN203284507U (zh) |
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2013
- 2013-05-17 CN CN2013203114518U patent/CN203284507U/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20131113 Termination date: 20140517 |