CN203259551U - 高速晶粒检测设备的摆动式探针座 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种高速晶粒检测设备的摆动式探针座，所述摆动式探针座包括固定基座、摆动台、探针和固定导电片，其中，所述摆动台的下表面的中段枢接在所述固定基座上，所述探针贯穿经过所述摆动台的前端面和后端面，并露出头端和尾端。其中，当所述摆动台的前端面向上抬起，使所述探针的头端电性接触待测晶片，所示摆动台的后端面则相对应地下降，使所述探针的尾端电性接触所示固定基座上的所示固定导电片。因此，本实用新型既可以大幅减少测试时间，又可以避免晶粒撞击吸取头或其他机构。此外，本实用新型的线路连接采用固定接点式，接线不会随着摆动台上升下降，因此可以大幅提高使用寿命和测试准确度。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种高速晶粒检测设备的摆动式探针座，具体地说，涉及一种适用于晶粒检测设备的探针座。
背景技术
随着晶粒测试设备不断地朝向高速化的发展，目前每小时1万4千颗晶粒的测试规格已经无法满足市场的测试需求，必须朝向每小时2万颗的测试规模发展。然而，在这样高速的测试环境下，在进行晶粒测试过程中的每一个环节，包括运载输送、接触测试和讯号传输等各方面，都必须在高速化方面取得巨大的进步。而与高速测试相配合的探针座在整个测试设备高速化的过程中，更是扮演着相当重要的角色。
熟知的晶粒测试探针座可参阅公告编号为439570号的中国台湾专利“晶粒分选机的回转分选装置”，其中该专利前案中所采用的测试座为固定式。具体地说，使用晶粒取放装置将待测晶粒移载至探针座的上方，并且将晶粒下压使其接触探针座上的探针以便进行测试；待测试完毕后，将晶粒取放装置移除真空吸取力并上升，此时再搭配一吹气装置将晶粒吹出探针座外后，晶粒取放装置才会去取下一个待测晶粒。
然而，这种固定式的探针座和晶粒取放装置的测试方式和取放方式必须耗费晶粒取放装置的等待时间，而且晶粒在测试完后被吹气装置吹送的过程中也容易四处乱飞，也容易撞击晶粒取放装置的吸头等装置，导致晶粒毁损从而降低产品合格率和测试的准确率。
由此可知，设计一种构造简单、安全可靠、成本低廉、无需晶粒移载输送的等待时间，从而可以大幅降低测试时间，并且可以提高测试准确度，从而完全避免晶粒在吹离的过程中撞击吸取头或其他机构的高速晶粒检测设备的探针座，实在是产业上的一种迫切需要。
实用新型内容
为了解决现有技术的不足，本实用新型的主要目的在于提供一种高速晶粒检测设备的摆动式探针座，以能够大幅度减少测试时间，从而有效提高产量，并且又可以避免晶粒在吹离的过程中撞击吸取头或其他机构，更重要的是，本实用新型的构造简单、安全可靠。
为了实现上述目的，本实用新型提供了一种高速晶粒检测设备的摆动式探针座，所述摆动式探针座包括：一固定基座、一摆动台、至少一探针和至少一固定导电片。其中，所述摆动台包括一前端面、一后端面和一下表面，所述下表面介于所述前端面和所述后端面之间，所述下表面的中段枢接在所述固定基座上；所述探针贯穿经过所述摆动台的所述前端面和所述后端面，并在所述前端面露出一头端，在所述后端面露出一尾端；所述固定导电片固定在所述固定基座上；其中，当所述摆动台进行枢转时，所述前端面向上抬起，使得所述至少一探针的所述头端电性接触一待测晶片，同时所述摆动台的所述后端面相对应地下降，使得所述至少一探针的所述尾端电性接触所述至少一固定导电片。
由此，本实用新型通过将摆动台枢接在固定基座上，可以使得摆动台如同翘翘板一般，在晶片测试时摆动台的前端面抬升，维持水平高度，使得探针的头端顶住一待测晶片，从而进行测试；此时，摆动台的后端面下降，同样维持水平高度，使得探针的尾端电性接触固定导电片，从而使得电讯号得以进行传导。另一方面，当测试完毕时，晶粒取放装置的吸取头上升，并随即去吸取下一颗待测晶粒，而摆动台的前端面下降，顺势将晶粒向下带，并搭配吹气装置将其吹离；此时，摆动台的后端面相对应地向上抬升，从而探针的尾端离开固定导电片构成断路。因此，本实用新型无需晶粒移载输送的等待时间，从而可以大幅降低测试时间，并且可以提高测试准确度，完全避免晶粒在吹离的过程中撞击吸取头或其他机构。更重要的是，本实用新型的线路连接采用固定接点式，接线不会随着摆动台上升下降，因此可以大幅提高使用寿命和测试精准度，安全可靠。
优选地，本实用新型的所述固定基座的前端面凹设一凹槽，所述摆动台的所述下表面的中段包括一枢接凸部，所述枢接凸部容纳设置在所述凹槽内并通过一枢轴彼此枢接。由此，本实用新型的所述摆动台形成一如同翘翘板一样的机构，同时因为凹槽和枢接凸部的设计，使得机构不会有干涉的问题产生。
优选地，本实用新型的所述至少一固定导电片包括一接垫；所述至少一探针的所述尾端电性接触所述至少一固定导电片的所述接垫。由此，本实用新型可以提高电性接触的可靠度，并且探针的尾端不会直接撞击固定导电片，可以大幅提高使用寿命。
优选地，本实用新型的所述至少一固定导电片包括一接线端和一段差部，所述接线端和所述接垫遥遥相对，所述段差部介于所述接线端和所述接垫之间，所述至少一固定导电片通过所述段差部使得所述接线端高于所述接垫。由此，本实用新型的固定导电片可以通过段差部形成阶梯状，从而使得连接电源讯号线的接线端高于接垫，其不仅能够提高接线的便利性，更可以提高可靠度和使用寿命。
优选地，本实用新型还包括一三轴向载台，所述固定基座组装设置在所述三轴向载台上。由此，本实用新型的三轴向载台可提供X轴、Y轴和Z轴位移的调整，从而方便探针对位。
优选地，本实用新型还包括一弹簧，所述弹簧设置在所述固定基座上，并与所述摆动台的所述下表面相对应。由此，本实用新型的弹簧可以提供弹力，当摆动台的后端面下降时压缩弹簧，而当测试完毕时，晶粒取放装置的吸取头上升，弹簧的弹力推抵摆动台的下表面，使得摆动台的后端面向上抬起。
优选地，本实用新型的所述摆动台的所述后端面包括一平整段和一凸起段，所述至少一探针的所述尾端穿出所述平整段，所述弹簧与所述凸起段的下表面相对应。由此，本实用新型通过摆动台的平整段和凸起段的设计，可以使得整体机构紧凑化，从而有效地缩小整体体积。
因此，本实用新型既可以大幅减少测试时间，又可以避免晶粒撞击吸取头或其他机构。此外，本实用新型的线路连接采用固定接点式，接线不会随着摆动台上升下降，因此可以大幅提高使用寿命和测试准确度。
附图说明
图1为本实用新型的一优选实施例的立体图；
图2为本实用新型的一优选实施例的分解图；
图3A为本实用新型的一优选实施例的探针抬升时的侧视图；
图3B为本实用新型的一优选实施例的探针下降时的侧视图。
附图标记说明如下：
晶粒取放装置1、吸取头11、固定基座2、前端面20、凹槽21、摆动台3、下表面31、前端面32、后端面33、平整段331、凸起段332、枢接凸部34、探针4、头端41、尾端42、固定导电片5、接垫51、接线端52、段差部53、枢轴6、弹簧7、三轴向载台8、连杆机构9、待测晶片C。
具体实施方式
为使审查员能进一步了解本实用新型的结构、特征及其他目的，现结合所附优选实施例附以附图详细说明如下，使用本附图所说明的实施例仅用于说明本实用新型的技术方案，并非限定本实用新型。
请同时参阅图1和图2，图1为本实用新型的高速晶粒检测设备的摆动式探针座的一优选实施例的立体图，图2为本实用新型的高速晶粒检测设备的摆动式探针座的一优选实施例的分解图。如图中所示，本实施例主要包括一固定基座2、一摆动台3、两探针4、两固定导电片5、一枢轴6、一弹簧7和一三轴向载台8。
其中，固定基座2组装设置在三轴向载台8上，三轴向载台8可提供X轴、Y轴和Z轴位移的微调，从而方便对位，固定基座2的前端面20凹设一凹槽21。另外，摆动台3包括一前端面32、一后端面33和一下表面31，下表面31介于前端面32和后端面33之间，并且下表面31与前端面32和后端面33邻接，下表面31的中段凸设有一枢接凸部34。枢接凸部34容纳设置在凹槽21内，枢接凸部34与凹槽21通过一枢轴6彼此枢接。由此，摆动台3形成一如同翘翘板一样的机构，同时因为凹槽21和枢接凸部34的设计，使得该机构不会有干涉的问题产生。
此外，摆动台3的后端面33包括两平整段331和一凸起段332，凸起段332介于两平整段331之间。另外如图中所示，弹簧7设置在固定基座2上，并且与摆动台3的凸起段332的下表面31相对应。由此，本实用新型的弹簧7可以提供复位的弹力。此外，如图中所示，两探针4分别贯穿经过摆动台3的前端面32和后端面33，探针4在前端面32露出一头端41，并在后端面33露出一尾端42，其中头端41用来接触待测晶片C，而两个探针4的尾端42则分别穿出位于两侧的平整段331。
又如图所示，两个固定导电片5固定在固定基座2上，每一个固定导电片5的前段设置一接垫51，中段设置一段差部53，尾段设置一接线端52。换句话说，接线端52与接垫51遥遥相对，并且段差部53介于接线端52与接垫51之间。另外，固定导电片5通过段差部53形成阶梯状，从而使得连接电源讯号线的接线端52高于接垫51，其不仅提高了接线的便利性，更可以提高可靠度和使用寿命。
另外，请同时参阅图3A和图3B，图3A为本实用新型的一优选实施例的探针抬升时的侧视图，图3B为本实用新型的一优选实施例的探针下降时的侧视图。本实施例的实际运行过程如下，晶粒取放装置1的吸取头11从供料轨道(图中未示)吸取待测晶片C后，移载至探针4的上方并下降，此时晶粒取放装置1的连杆机构9同步下降从而抵压摆动台3的后端面33。此时，摆动台3的前端面32受到连杆机构9的抵压，抬升到水平高度，使得探针4的头端41顶住一待测晶片C，从而进行测试。
另一方面，当测试完毕时，晶粒取放装置1的吸取头11上升，此时晶粒取放装置1的连杆机构9同步上升，从而释放摆动台3的后端面33，并且弹簧7的弹力推抵摆动台3的下表面31，使得摆动台3的后端面33向上抬起，而探针4的尾端离开固定导电片5从而构成断路，并且摆动台3的前端面32下降，顺势将晶粒C向下带，并搭配吹气装置(图中未示)将其吹离。
因此，本实用新型无需晶粒移载输送的等待时间，从而可以大幅降低测试时间，并且可以提高测试准确度，完全避免晶粒在吹离的过程中撞击吸取头11或其他机构。更重要的是，本实用新型的线路连接采用固定接点式，接线不会随着摆动台3上升下降，因此可以大幅提高使用寿命和测试精准度，安全可靠。
需要声明的是，上述实用新型内容及具体实施方式意在证明本实用新型所提供技术方案的实际应用，不应解释为对本实用新型保护范围的限定。本领域技术人员在本实用新型的精神和原理内，当可作各种修改、等同替换、或改进。本实用新型的保护范围以所附权利要求书为准。
Claims (7)
1.一种高速晶粒检测设备的摆动式探针座，其特征在于，所述摆动式探针座包括：
一固定基座；
一摆动台，所述摆动台包括一前端面、一后端面和一下表面，所述下表面介于所述前端面和所述后端面之间，所述下表面的中段枢接在所述固定基座上；
至少一探针，所述探针贯穿经过所述摆动台的所述前端面和所述后端面，并在所述前端面露出一头端，在所述后端面露出一尾端；以及
至少一固定导电片，所述固定导电片固定在所述固定基座上；
其中，当所述摆动台进行枢转时，所述前端面向上抬起，使所述至少一探针的所述头端电性接触一待测晶片，同时所述摆动台的所述后端面则相对应地下降，使得所述至少一探针的所述尾端电性接触所述至少一固定导电片。
2.根据权利要求1所述的高速晶粒检测设备的摆动式探针座，其特征在于，所述固定基座的前端面凹设一凹槽，所述摆动台的所述下表面的中段包括一枢接凸部，所述枢接凸部通过一枢轴容设在所述凹槽内进行枢转。
3.根据权利要求1所述的高速晶粒检测设备的摆动式探针座，其特征在于，所述至少一固定导电片包括一接垫；所述至少一探针的所述尾端电性接触所述至少一固定导电片的所述接垫。
4.根据权利要求3所述的高速晶粒检测设备的摆动式探针座，其特征在于，所述至少一固定导电片包括一接线端和一段差部，所述接线端和所述接垫遥遥相对，所述段差部介于所述接线端与所述接垫之间，所述至少一固定导电片通过所述段差部使所述接线端高于所述接垫。
5.根据权利要求1所述的高速晶粒检测设备的摆动式探针座，其特征在于，所述摆动式探针座还包括一三轴向载台，所述固定基座组装设置在所述三轴向载台上。
6.根据权利要求1所述的高速晶粒检测设备的摆动式探针座，其特征在于，所述摆动式探针座还包括一弹簧，所述弹簧设置在所述固定基座上，并且与所述摆动台的所述下表面相对应。
7.根据权利要求6所述的高速晶粒检测设备的摆动式探针座，其特征在于，所述摆动台的所述后端面包括一平整段和一凸起段，所述至少一探针的所述尾端穿出所述平整段，所述弹簧与所述凸起段的下表面相对应。
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