CN203187775U - 一种可拆分式石墨坩埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及单晶硅炉技术领域，特别涉及一种可拆分式石墨坩埚。其中由石墨坩埚筒A（1）、石墨坩埚筒B（3）、连接件（2）、石墨坩埚底（4）四部分组成，其中，石墨坩埚底（4）的上端面开有凹槽，石墨坩埚筒B（3）安装在石墨坩埚底（4）上端面的凹槽内，石墨坩埚筒B（3）与石墨坩埚筒A（1）通过连接件（2）连接；石墨坩埚筒A（1）、石墨坩埚筒B（3）分别在筒壁上设置有工艺排气孔（5）。本实用新型的优点在于将石墨坩埚按纵向轴线分为四部分，增加了相同部件的更换率，节省了石墨坩埚在加工环节的料耗，并有效地减轻了操作者单次的搬运质量，减轻了操作难度和强度，且结构简单易于实现，能够保证操作过程中的安全，消除了安全隐患，提高了工作效率，降低了生产成本。
Description
一、技术领域
本实用新型涉及单晶硅炉技术领域，特别涉及一种可拆分式石墨坩埚。
二、技术背景
随着单晶硅的规模化生产，追求最大的经济效益，需要从各方面入手降低成本，而单晶直拉最显著的方法就是加大投料量，从而提高单炉成品率及产量，降低拉晶成本。但投料量的增加，造成单晶炉及石墨加热系统的不断加大，目前主流单晶炉内径已经达到1米，而且还有继续提高的趋势。这种大直径的单晶炉所使用的石墨加热系统规格，也随着单晶炉内径的增加而增大，造成生产上所面临的问题也越来越多，尤其是处于高温区的三瓣石墨坩埚：
⑴ 在拆装炉过程中，质量大、尺寸大的石墨件的拆装，对操作者存在较大的安全隐患；
⑵ 石墨件的规格增大，使得加工所用毛坯料随之增大，从而增加了石墨材质的浪费，且不利于石墨件在单晶硅直拉过程中的更换，造成单晶硅生产成本的增加；
如何在单晶直拉生产过程中，安全有效地拆装炉，保证人员安全，并提高同规格零部件的更换率，从而有效降低生产成本，已经成为一个亟待解决的问题。
三、发明内容
针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种可拆分式石墨坩埚，本实用新型拟采取的技术方案为：一种可拆分式石墨坩埚，包括：石墨坩埚底（4），其特征在于可拆分式石墨坩埚由石墨坩埚筒A（1）、石墨坩埚筒B（3）、连接件（2）、墨坩埚底（4）四部分组成，其中，石墨坩埚底（4）的上端面开有凹槽，石墨坩埚筒B（3）安装在石墨坩埚底（4）上端面的凹槽内，石墨坩埚筒B（3）与石墨坩埚筒A（1）通过连接件（2）连接；其中连接件（2）为一横断面为T型的环或一横断面为H型的环。
本实用新型的优点在于将石墨坩埚按纵向轴线分为四部分，增加了相同部件的更换率，节省了石墨坩埚在加工环节的料耗，并有效地减轻了操作者单次的搬运质量，减轻了操作难度和强度，且结构简单易于实现，能够保证操作过程中的安全，消除了安全隐患，提高了工作效率，降低了生产成本。
四、附图说明：
图1为本实用新型结构示意图
图中：1、石墨坩埚筒A 2、连接件 3、石墨坩埚筒B 4、石墨坩埚底 5、工艺排气孔
具体实施方式 ：
实施例1：一种可拆分式石墨坩埚，其由石墨坩埚筒A（1）、石墨坩埚筒B（3）、连接件（2）、石墨坩埚底（4）四部分组成，其中，石墨坩埚底（4）的上端面开有凹槽，石墨坩埚筒B（3）安装在石墨坩埚底（4）上端面的凹槽内，石墨坩埚筒B（3）与石墨坩埚筒A（1）通过横断面为T型的环（2）连接。
实施例2：一种可拆分式石墨坩埚，其由石墨坩埚筒A（1）、石墨坩埚筒B（3）、连接件（2）、墨坩埚底（4）四部分组成，其中，石墨坩埚底（4）的上端面开有凹槽，石墨坩埚筒B（3）安装在石墨坩埚底（4）上端面的凹槽内，石墨坩埚筒B（3）与石墨坩埚筒A（1）通过横断面为H型的环（2）连接。
Claims (3)
1.一种可拆分式石墨坩埚，包括：石墨坩埚底（4），其特征在于可拆分式石墨坩埚由石墨坩埚筒A（1）、石墨坩埚筒B（3）、连接件（2）、石墨坩埚底（4）四部分组成，其中，石墨坩埚底（4）的上端面开有凹槽，石墨坩埚筒B（3）安装在石墨坩埚底（4）上端面的凹槽内，石墨坩埚筒B（3）与石墨坩埚筒A（1）通过连接件（2）连接。
2.根据权利要求1所述的一种可拆分式石墨坩埚，其特征在于连接件（2）为一横断面为T型的环。
3.根据权利要求1所述的一种可拆分式石墨坩埚，其特征在于连接件（2）为一横断面为H型的环。
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| CN104676605B (zh) * | 2015-02-28 | 2017-05-24 | 中广核研究院有限公司 | 一种固液废物综合处理等离子炉 |
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