CN203034085U - 一种改善的蒸镀镀膜机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种改善的蒸镀镀膜机，包括真空室、惰性气体存储器、阴极靶材、高压电流发生器和溅射离子控制器，所述惰性气体存储器的出气口与真空室连通，所述阴极靶材置于真空室内，所述高压电流发生器用于在产品和阴极靶材之间施加高压电流，所述溅射离子控制器对高压电流发生器的工作时长进行控制。本实用新型提供的改善的蒸镀镀膜机，在现有蒸镀镀膜机的基础上通过惰性气体存储器、阴极靶材、高压电流发生器和溅射离子控制器配备，使其兼具了溅镀功能，改善成本低，但提高了设备的使用范围、提高了产品的镀膜质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及蒸镀镀膜机，尤其涉及一种改善的蒸镀镀膜机。
背景技术
蒸镀是通过蒸镀机对镀膜材料加热使其气化沉积在基体或工件表面上以形成薄膜或涂层的工艺。理论上蒸镀机能够在金属、半导体、绝缘体甚至塑料、纸张、织物表面上沉积金属、半导体、绝缘体、不同成分比的合金、化合物及部分有机聚合物等的薄膜，但是其价格相当昂贵；对于国内一些低价位的蒸镀机，其生产能力有限，并且不适用于非导电材料的基体或工件，而且要求基体或工件具有一定的硬度，因此其适用范围有限。
溅镀是以高动能的荷电粒子轰击镀膜材料表面，使其溅射出进入气相，以沉积在基体或工件表面上以形成薄膜或涂层的工艺，具体工作过程为：在真空状态充入惰性气体，并在塑胶基体或工件(阳极)和金属靶材(阴极)之间加上高压直流电，由于辉光放点产生的电子激发惰性气体，产生等离子体，等离子体将金属靶材的原子轰出，沉积在塑胶基材或工件上。
溅镀相比较蒸镀具有如下优势：1、溅镀厚度可以用时间来控制；2、溅镀形成的膜层附着强度是一般蒸镀形成的膜层的附着强度的10倍以上；3、金属靶材的寿命长，可以长时间连续生产；4、溅镀形成的膜层颜色更加均匀、稳定；5、溅镀可以形成多膜层；6、金属、合金或绝缘材料均可以作为膜层材料；7、溅镀膜层的金属感更强。
因此，若能够在现有的蒸镀机的基础上，将其改善为具有溅镀功能的设备，将能够有助于提高企业的生产效率，同时不会增加企业的生产成本投入。
实用新型内容
发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种改善的蒸镀镀膜机，对现有的蒸镀镀膜机进行改善，使其具备一定的溅镀功能，以提高镀膜机的使用范围和产品的镀膜效果。
技术方案：为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：
一种改善的蒸镀镀膜机，包括真空室、惰性气体存储器、阴极靶材、高压电流发生器和溅射离子控制器，所述惰性气体存储器的出气口与真空室连通，所述阴极靶材置于真空室内，所述高压电流发生器用于在产品和阴极靶材之间施加高压电流，所述溅射离子控制器对高压电流发生器的工作时长进行控制。
上述蒸镀镀膜机，在现有蒸镀镀膜机的基础上通过惰性气体存储器、阴极靶材、高压电流发生器和溅射离子控制器配备，使其兼具了溅镀功能，改善成本低，但提高了设备的使用范围、提高了产品的镀膜质量。
优选的，所述惰性气体存储器的出气口设置有流量阀，所述溅射离子控制器对流量阀进行控制。
优选的，所述惰性气体存储器为氩气存储器。
优选的，所述高压电流发生器为直流电流发生器或RF交流电流发生器；对应一般金属产品，则可以采用直流溅镀，对于不导电的陶瓷材料则可以使用RF交流溅镀。
有益效果：本实用新型提供的改善的蒸镀镀膜机，在现有蒸镀镀膜机的基础上通过惰性气体存储器、阴极靶材、高压电流发生器和溅射离子控制器配备，使其兼具了溅镀功能，改善成本低，但提高了设备的使用范围、提高了产品的镀膜质量。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明。
如图1为一种改善的蒸镀镀膜机，包括真空室1、惰性气体存储器2、阴极靶材3、高压电流发生器和溅射离子控制器，所述惰性气体存储器2的出气口与真空室1连通，所述阴极靶材3置于真空室内，所述高压电流发生器用于在产品4和阴极靶材3之间施加高压电流，在惰性气体存储器2的出气口设置有流量阀；所述溅射离子控制器对高压电流发生器的工作时长进行控制、对流量阀进行控制。
其中，所述惰性气体存储器2为氩气存储器，所述高压电流发生器为直流电流发生器或RF交流电流发生器。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (4)
1.一种改善的蒸镀镀膜机，包括真空室(1)，其特征在于：还包括惰性气体存储器(2)、阴极靶材(3)、高压电流发生器和溅射离子控制器，所述惰性气体存储器(2)的出气口与真空室(1)连通，所述阴极靶材(3)置于真空室内，所述高压电流发生器用于在产品(4)和阴极靶材(3)之间施加高压电流，所述溅射离子控制器对高压电流发生器的工作时长进行控制。
2.根据权利要求1所述的改善的蒸镀镀膜机，其特征在于：所述惰性气体存储器(2)的出气口设置有流量阀，所述溅射离子控制器对流量阀进行控制。
3.根据权利要求1所述的改善的蒸镀镀膜机，其特征在于：所述惰性气体存储器(2)为氩气存储器。
4.根据权利要求1所述的改善的蒸镀镀膜机，其特征在于：所述高压电流发生器为直流电流发生器或RF交流电流发生器。
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| CN 201220726383 CN203034085U (zh) | 2012-12-24 | 2012-12-24 | 一种改善的蒸镀镀膜机 |
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN104313538A (zh) * | 2014-11-18 | 2015-01-28 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀设备及蒸镀方法 |
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2012
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| CN104313538A (zh) * | 2014-11-18 | 2015-01-28 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀设备及蒸镀方法 |
| CN104313538B (zh) * | 2014-11-18 | 2018-09-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀设备及蒸镀方法 |
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