CN203026492U - 一种晶圆取芯片的工装 - Google Patents
一种晶圆取芯片的工装 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203026492U CN203026492U CN 201220646559 CN201220646559U CN203026492U CN 203026492 U CN203026492 U CN 203026492U CN 201220646559 CN201220646559 CN 201220646559 CN 201220646559 U CN201220646559 U CN 201220646559U CN 203026492 U CN203026492 U CN 203026492U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wafer
- chip
- circular supporting
- cover plate
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种晶圆取芯片的工装，包括支撑圆板（2）、顶柱（6）和固定连接在支撑圆板（2）上的支撑圆环（4），在所述的支撑圆环（4）上套装盖板（5），所述的支撑圆板（2）和盖板（5）卡接在支撑架（1）上。采用上述技术方案，结构简单，将晶圆盘放在支撑圆环上，用盖板压住晶圆支架，支撑圆板和盖板卡接在支撑架上，调节螺栓上的调节螺母，用顶柱顶起晶圆盘的背面，使得芯片脱离晶圆盘，然后用真空吸笔吸住芯片就可以取走芯片，提高了工作效率，也降低了成本，同时针对不同大小的晶圆盘只需要更换不同规格的支撑圆板和支撑圆环就可以取走芯片，通用性很强。
Description
技术领域
本实用新型属于一种工装，更为具体的说，本实用新型涉及一种晶圆取芯片的工装。
背景技术
目前，国内涉及到裸芯片使用的电子公司或专业的芯片绑定公司，采购晶圆后一般安排工人手工取芯片，工人用夹具将晶圆支架固定，用手指或者工具从晶圆薄膜背面将芯片顶起，用自动吸笔吸走芯片，或用缠着双面胶的牙签粘走芯片，这是目前国内大多数电子厂和绑定企业的作法。大的专业绑定企业或者外企，一般使用专用的取芯片机器，但是这种设备较为昂贵，而且芯片大小的不同，芯片和薄膜的粘着力不同，晶圆盘大小的不同需要使用不同型号的设备或夹具，通用性行较差。
国内目前的问题是：①手工操作取芯片的效率低；②手工操作芯片之间可能会相互碰撞损坏芯片，导致损耗较高；③专用设备价格昂贵，难以在小企业推广，而且专用设备或夹具对不同型号的芯片通用性较差。
实用新型内容
本实用新型所要解决的问题是，针对现有技术的不足，提供一种结构简单、成本较低且提高工作效率的晶圆取芯片的工装。
为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
本实用新型所提供的这种晶圆取芯片的工装，包括支撑圆板、顶柱和固定连接在支撑圆板上的支撑圆环，在所述的支撑圆环上套装盖板，所述的支撑圆板和盖板卡接在支撑架上。
在所述的支撑架上设有螺栓，在所述的螺栓上设有调节螺母。
所述的支撑架为三个，两两之间的夹角为120度 。
采用上述技术方案，结构简单，将晶圆盘放在支撑圆环上，用盖板压住晶圆支架，支撑圆板和盖板卡接在支撑架上，调节螺栓上的调节螺母，用顶柱顶起晶圆薄膜的背面，使得芯片脱离晶圆薄膜，然后用真空吸笔吸住芯片就可以取走芯片，提高了工作效率，也降低了成本，同时针对不同大小的晶圆盘只需要更换不同规格的支撑圆板和支撑圆环就可以取走芯片，通用性很强。
附图说明
下面对本说明书各幅附图所表达的内容及图中的标记作简要说明：
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为晶圆盘的结构示意图。
图中标记为：
1、支撑架，2、支撑圆板，3、晶圆盘，4、支撑圆环，5、盖板，6、顶柱，7、晶圆支架，8、晶圆薄膜，9、芯片，10、螺栓，11、调节螺母。
具体实施方式
如图1至图2所示，本实用新型所提供的这种晶圆取芯片的工装，包括支撑圆板2、顶柱6和固定连接在支撑圆板2上的支撑圆环4，在支撑圆环4上套装盖板5，支撑圆板2和盖板5卡接在支撑架1上。
采用上述技术方案，这种晶圆取芯片的工装，结构简单，使用过程中，将晶圆盘3正中放置在支撑圆板2上，确保支撑圆环4在晶圆盘3的空白薄膜环的中间以外，这样可以避免薄膜扩张时，芯片9过于靠近支撑圆板2而不便于操作，然后用盖板5压住晶圆支架7，用支撑架1卡住支撑圆板2和盖板5，调节支撑架1上调节螺母11，调节盖板5和支撑圆板2之间的松紧，确定最佳的 晶圆薄膜8的扩张度，用顶柱6顶起晶圆薄膜8的背面，使得芯片9脱离晶圆薄膜8，用真空吸笔吸住芯片9中心位置，就可以方便的取走芯片9，操作简单，相比用手工取走芯片9来说提高了工作效率，这种工装制造方便，取材容易，因此也降低了成本，针对不同规格的晶圆盘3，只需要更换不同规格的支撑圆板2和支撑圆环4就可以取走芯片9，通用性很强。
如图1至图2所示，在支撑架1上设有螺栓10，在螺栓10上设有调节螺母11。
采用上述技术方案，在支撑架1上设有螺栓10，在螺栓10上设有调节螺母11，根据芯片9的间距要求，可以方便调节盖板5和支撑圆板2之间的松紧，确定最佳的晶圆薄膜8的扩张度。
如图1至图2所示，支撑架1为三个，两两之间的夹角为120度 。
采用上述技术方案，支撑架1为三个，两两之间的夹角为120度，这样可以保证晶圆盘3上的薄膜受力均匀，薄膜扩张一致。
上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种晶圆取芯片的工装，其特征在于：包括支撑圆板（2）、顶柱（6）和固定连接在支撑圆板（2）上的支撑圆环（4），在所述的支撑圆环（4）上套装盖板（5），所述的支撑圆板（2）和盖板（5）卡接在支撑架（1）上。
2.按照权利要求1所述的晶圆取芯片的工装，其特征在于：在所述的支撑架（1）上设有螺栓（10），在所述的螺栓（10）上设有调节螺母（11）。
3.按照权利要求1或2所述的晶圆取芯片的工装，其特征在于：所述的支撑架（1）为三个，两两之间的夹角为120度 。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220646559 CN203026492U (zh) | 2012-11-30 | 2012-11-30 | 一种晶圆取芯片的工装 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220646559 CN203026492U (zh) | 2012-11-30 | 2012-11-30 | 一种晶圆取芯片的工装 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203026492U true CN203026492U (zh) | 2013-06-26 |
Family
ID=48650453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201220646559 Expired - Fee Related CN203026492U (zh) | 2012-11-30 | 2012-11-30 | 一种晶圆取芯片的工装 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203026492U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102983095A (zh) * | 2012-11-30 | 2013-03-20 | 芜湖通和汽车管路系统有限公司 | 一种晶圆取芯片的工装及其使用方法 |
| CN112002671A (zh) * | 2020-08-24 | 2020-11-27 | 台州市老林装饰有限公司 | 一种适用于不同尺寸的晶圆托盘装置 |
| CN112002671B (zh) * | 2020-08-24 | 2024-06-11 | 武汉驿天诺科技有限公司 | 一种适用于不同尺寸的晶圆托盘装置 |
-
2012
- 2012-11-30 CN CN 201220646559 patent/CN203026492U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102983095A (zh) * | 2012-11-30 | 2013-03-20 | 芜湖通和汽车管路系统有限公司 | 一种晶圆取芯片的工装及其使用方法 |
| CN102983095B (zh) * | 2012-11-30 | 2015-12-02 | 芜湖致通汽车电子有限公司 | 一种晶圆取芯片的工装及其使用方法 |
| CN112002671A (zh) * | 2020-08-24 | 2020-11-27 | 台州市老林装饰有限公司 | 一种适用于不同尺寸的晶圆托盘装置 |
| CN112002671B (zh) * | 2020-08-24 | 2024-06-11 | 武汉驿天诺科技有限公司 | 一种适用于不同尺寸的晶圆托盘装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN205043505U (zh) | 一种平面玻璃多片加工定位治具 | |
| CN202943455U (zh) | 薄板零件铣削专用夹具 | |
| CN206855045U (zh) | 航空叶片精确定位固定夹具 | |
| CN203680107U (zh) | 一种便捷夹紧工作台 | |
| CN204565883U (zh) | 一种用于cnc加工小型玻璃的夹具 | |
| CN105694741B (zh) | 一种透明面板的胶带及保护膜自动粘贴设备 | |
| CN203026492U (zh) | 一种晶圆取芯片的工装 | |
| CN203401417U (zh) | 一种硬脆性小薄片类产品加工用的装夹装置 | |
| CN103659592A (zh) | 对平板工件定位的负压定位系统 | |
| CN206493141U (zh) | 一种用于多面加工的快速装夹工作台 | |
| CN203031282U (zh) | 一种可调心工作台 | |
| CN203566498U (zh) | 专用于平板工件定位的负压定位系统 | |
| CN102983095A (zh) | 一种晶圆取芯片的工装及其使用方法 | |
| CN202985200U (zh) | 一种非磁力片材夹具 | |
| CN110901998A (zh) | 一种笔记本触摸板贴膜定位治具 | |
| CN206484422U (zh) | 一种平板产品抛光设备用吸附底座组合治具 | |
| CN202318001U (zh) | 一种打磨台吸尘装置 | |
| CN202399031U (zh) | 转向架组装夹具 | |
| CN201999231U (zh) | 一种硅胶膜 | |
| CN201613472U (zh) | 圆盘类工件法兰孔加工装置 | |
| CN204997571U (zh) | 一种摄像头盖板贴膜装置 | |
| CN202825287U (zh) | 一种合成器背板用真空气动工装 | |
| CN203622189U (zh) | 一种用于对平面工件的定位装置 | |
| CN202684421U (zh) | 条状物件的翻转定位装置 | |
| CN202307843U (zh) | 一种磁性真空吸附板 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130626 Termination date: 20131130 |