CN203019207U - 研磨机用工件厚度检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种操作简便,测量精度高的研磨机用工件厚度检测装置,它包括机架、上研磨盘中心轴(1),其特征是上研磨盘中心轴(1)上设有耐磨触头(3),机架上设有传感器安装底座(11),传感器安装底座(11)上设有支架(9),支架(9)上设有与耐磨触头(3)位置对应的直线位移传感器(5),直线位移传感器(5)的输出信号送入PLC控制装置(10)处理,本实用新型结构简单,提高了研磨机加工效率,保证了被加工件在加工后的厚度一致,提高了产品的质量,同时,测量精度高,无浪费且可用于测量厚度较大的工件。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种研磨机,具体地说是一种研磨机用工件厚度检测装置,特别是涉及一种硬脆材料研磨机用工件厚度检测装置。
背景技术
研磨机广泛运用于硅片、蓝宝石、石英晶体等其他硬脆材料的研磨加工,加工中,对加工工件的厚度需要严格控制。
专利号为201120440469.9、公告号为CN202317962U、发明名称为用于研磨机运行过程中的全自动硅片测厚仪的实用新型专利公开了一种通过检测该石英片的频率的方法检测被加工件的厚度。该实用新型的优点:可以提高加工精度。存在的缺点是:每次加工时必须放入和工件等高的石英样片,在加工完成后,石英样片报废,造成不小的浪费。且在工件厚度较大的情况下,测量不准,无法使用。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种操作简便,测量精度高的研磨机用工件厚度检测装置。
本实用新型是采用如下技术方案实现其发明目的的,一种研磨机用工件厚度检测装置,它包括机架、上研磨盘中心轴,上研磨盘中心轴上设有耐磨触头,机架上设有传感器安装底座,传感器安装底座上设有支架,支架上设有与耐磨触头位置对应的直线位移传感器,直线位移传感器的输出信号送入PLC控制装置处理。
为防止砂浆污染传感器,本实用新型所述的支架上设有传感器防水罩。
由于采用上述技术方案,本实用新型较好的实现了发明目的,其结构简单,提高了研磨机加工效率,保证了被加工件在加工后的厚度一致,提高了产品的质量,同时,测量精度高,无浪费且可用于测量厚度较大的工件。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。
由图1可知,它包括机架、上研磨盘中心轴1,上研磨盘中心轴1上设有耐磨触头3,机架上设有传感器安装底座11,传感器安装底座11上设有支架9,支架9上设有与耐磨触头3位置对应的直线位移传感器5,直线位移传感器5的输出信号送入PLC控制装置10处理。
为防止砂浆污染传感器,本实用新型所述的支架9上设有传感器防水罩4。
本实用新型的上研磨盘中心轴1通过轴承2和上研磨盘6联接在一起,当上研磨盘6和下研磨盘8中间有工件7时,在研磨启动以前,直线位移传感器5测量出工件7的厚度并送入PLC控制装置10保存;随着研磨的运行,工件7在上研磨盘6和下研磨盘8的研磨下,其厚度发生变化,上研磨盘中心轴1会带动耐磨触头3向下移动,而直线位移传感器5和下研磨盘8是相对不动的,故直线位移传感器5检测到的位移变化就是工件7的厚度变化,PLC控制装置10可以实时检测出工件7的厚度。当被研磨工件7达到设定的目标厚度时,PLC控制装置10控制研磨机自动停止,以保证被加工工件7的厚度一致。
Claims (2)
1.一种研磨机用工件厚度检测装置,它包括机架、上研磨盘中心轴(1),其特征是上研磨盘中心轴(1)上设有耐磨触头(3),机架上设有传感器安装底座(11),传感器安装底座(11)上设有支架(9),支架(9)上设有与耐磨触头(3)位置对应的直线位移传感器(5),直线位移传感器(5)的输出信号送入PLC控制装置(10)处理。
2.根据权利要求1所述的研磨机用工件厚度检测装置,其特征是所述的支架(9)上设有传感器防水罩(4)。
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