CN203013776U - 晶体硅太阳能电池rie制绒装置 - Google Patents
晶体硅太阳能电池rie制绒装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203013776U CN203013776U CN2012205408969U CN201220540896U CN203013776U CN 203013776 U CN203013776 U CN 203013776U CN 2012205408969 U CN2012205408969 U CN 2012205408969U CN 201220540896 U CN201220540896 U CN 201220540896U CN 203013776 U CN203013776 U CN 203013776U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- baffle plate
- reactive ion
- silicon solar
- solar energy
- rie
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
本实用新型属于晶体硅太阳能电池制绒设备技术领域,具体涉及一种晶体硅太阳能电池RIE制绒装置。该装置包括反应室、气体管道、喷淋装置和反应离子挡板,其中,喷淋装置位于反应室的顶部,气体管道上设置有流量控制器;硅片正面上方添加反应离子挡板。本实用新型可以改善电池片在后续组件的焊接性能,有利于提高组件的稳定性和转化效率;另外,本实用新型可控性好,灵活性高,适用于晶体硅太阳能电池的工业化生产。
Description
技术领域
本实用新型属于晶体硅太阳能电池制绒设备技术领域,具体涉及一种晶体硅太阳能电池RIE制绒装置。
背景技术
太阳能作为一种绿色能源,以其取之不竭、无污染、不受地域资源限制等优点越来越受到人们的重视。在太阳电池的研制历程中曾使用过各种半导体,硅是其中最重要的一种。按丰度排列.硅是地球上第二大元素。硅是单元素半导体,无毒,废弃硅对环境没有污染。因此硅至今仍是太阳电池的最佳选用材料。
在太阳能电池的制造工艺流程中,RIE制绒逐渐成为降低晶体硅表面反射率,提高陷光效果的重要方法,尤其是在多晶硅方面,大大的减少了硅的表面反射率,提高了电池的转化效率。但是,在后续电池可靠性方面,电池主栅的焊接拉力也随着降低。这样,在一定程度上增加组件的串联电阻,降低组件效率和功率,在后期的组件稳定性留下了隐患。
发明内容
本实用新型的目的是针对上述存在的问题而提供的一种晶体硅太阳能电池RIE制绒装置,该装置可控性好,灵活性高,适用于晶体硅太阳能电池的工业化生产。
本实用新型的一种晶体硅太阳能电池RIE制绒装置采用的技术方案为:包括反应室、气体管道、喷淋装置和反应离子挡板,其中,喷淋装置位于反应室的顶部,反应气体通过气体管道由喷淋装置进入反应室,气体管道上设置有流量控制器,反应室中还设有反应离子挡板,置于需制绒硅片的正面上方;在硅片的制绒过程中,在硅片正面上方添加反应离子挡板,通过控制反应离子档板的位置,实现电池主栅区域未制绒的效果。
所述的反应离子挡板位于电池正面上方0-100cm。
所述的反应离子挡板位于电池正面上方0.01-10cm。
反应离子挡板位于硅片正面电池主栅区域正上方,形状与电池主栅区域的形状一致。反应离子挡板的宽度为0-30cm;所述的反应离子挡板的宽度优选为0.01-5cm。
应离子挡板为至少一个,反应离子挡板之间相互平行。
反应离子挡板由耐腐蚀材料制成。反应离子挡板优选由石墨制成;或者是由耐腐蚀的陶瓷材料、金属材料或高分子材料的其中一种或几种制成。
本实用新型的有益效果是:本实用新型的一种晶体硅太阳能电池RIE制绒装置包括反应室、气体管道、喷淋装置,喷淋装置位于反应室的顶部,反应气体通过气体管道由喷淋装置进入反应室,气体管道上设置有流量控制器,反应室中还设有反应离子挡板,置于需制绒硅片的正面上方。该装置可控性好,灵活性高,能够准确地在硅片电池主栅区域以外的区域制绒,实现电池主栅区域未制绒的效果,适用于晶体硅太阳能电池的工业化生产。另外,多个反应离子挡板的设计可以更好的适应产线工艺的变更。采用该装置制备的晶体硅太阳能电池可以改善其焊接拉力,提高组件性能的稳定性以及转化效率。
附图说明:
图1所示为本实用新型的结构示意图;
图2所示为本实用新型实施效果图。
图中,1.反应室,2. 气体管道,3.喷淋装置, 4.反应离子挡板,5. 流量控制器,6.硅片, 7. 电池主栅区域。
具体实施方式:
为了更好地理解本实用新型,下面结合附图和实例来说明本实用新型的技术方案,但是本实用新型并不局限于此。
一种晶体硅太阳能电池RIE制绒装置,包括反应室1、气体管道2、喷淋装置3和反应离子挡板4,其中,喷淋装置3位于反应室1的顶部,反应气体通过气体管道2由喷淋装置3进入反应室1,气体管道2上设置有流量控制器5;在硅片6的制绒过程中,在硅片6正面上方添加反应离子挡板4,通过控制反应离子档板4的位置,实现电池主栅区域7未制绒的效果。
所述的反应离子挡板4位于硅片6正面上方0-100cm。
所述的反应离子挡板4位于硅片6正面上方0.01-10cm。
反应离子挡板4位于硅片正面电池主栅区域7正上方,形状与电池主栅区域7的形状一致。反应离子挡板4的宽度为0-30cm;所述的反应离子挡板4的宽度优选为0.01-5cm。
所述的反应离子挡板4为至少一个,而且多个反应离子挡板4之间相互平行。
反应离子挡板4由耐腐蚀材料制成。反应离子挡板4优选由石墨制成,或者是由耐腐蚀的陶瓷材料、金属材料或高分子材料的其中一种或几种制成。
采用该装置制备的晶体硅太阳能电池可以改善其焊接拉力,提高组件性能的稳定性以及转化效率。
Claims (10)
1.一种晶体硅太阳能电池RIE制绒装置,包括反应室、气体管道、喷淋装置,其特征在于,喷淋装置位于反应室的顶部,反应气体通过气体管道由喷淋装置进入反应室,气体管道上设置有流量控制器,反应室中还设有反应离子挡板,置于需制绒硅片的正面上方。
2.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池RIE制绒装置,其特征在于:反应离子挡板位于硅片正面上方0-100cm。
3. 根据权利要求2所述的晶体硅太阳能电池RIE制绒装置,其特征在于:反应离子挡板位于硅片正面上方0.01-10cm。
4. 根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池RIE制绒装置,其特征在于:反应离子挡板位于硅片正面电池主栅区域正上方,形状与电池主栅区域的形状一致。
5. 根据权利要求4所述的晶体硅太阳能电池RIE制绒装置,其特征在于:遮挡在硅片电池主栅区域上方的反应离子挡板的宽度为0-30cm。
6. 根据权利要求5所述的晶体硅太阳能电池RIE制绒装置,其特征在于:遮挡在硅片电池主栅区域上方的反应离子挡板的宽度为0.01-5cm。
7. 根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池RIE制绒装置,其特征在于:反应离子挡板为至少一个,反应离子挡板之间相互平行。
8. 根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池RIE制绒装置,其特征在于:反应离子挡板由耐腐蚀材料制成。
9. 根据权利要求8所述的晶体硅太阳能电池RIE制绒装置,其特征在于:反应离子挡板由石墨制成。
10. 根据权利要求8所述的晶体硅太阳能电池RIE制绒装置,其特征在于:反应离子挡板由耐腐蚀的陶瓷材料、金属材料或高分子材料的其中一种或几种制成。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2012205408969U CN203013776U (zh) | 2012-10-22 | 2012-10-22 | 晶体硅太阳能电池rie制绒装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2012205408969U CN203013776U (zh) | 2012-10-22 | 2012-10-22 | 晶体硅太阳能电池rie制绒装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN203013776U true CN203013776U (zh) | 2013-06-19 |
Family
ID=48605341
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2012205408969U Expired - Fee Related CN203013776U (zh) | 2012-10-22 | 2012-10-22 | 晶体硅太阳能电池rie制绒装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN203013776U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102903796A (zh) * | 2012-10-22 | 2013-01-30 | 山东力诺太阳能电力股份有限公司 | 一种晶体硅太阳能电池rie制绒装置 |
-
2012
- 2012-10-22 CN CN2012205408969U patent/CN203013776U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102903796A (zh) * | 2012-10-22 | 2013-01-30 | 山东力诺太阳能电力股份有限公司 | 一种晶体硅太阳能电池rie制绒装置 |
CN102903796B (zh) * | 2012-10-22 | 2015-05-20 | 山东力诺太阳能电力股份有限公司 | 一种晶体硅太阳能电池rie制绒装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN201699033U (zh) | 双面受光型晶体硅太阳能电池 | |
CN101794843A (zh) | 一种降低多晶制绒反射率的方法 | |
CN102185033A (zh) | 选择性发射极高效晶体硅太阳能电池的制备工艺 | |
CN102339902A (zh) | 掩膜扩散法制备p型太阳能电池的方法及其结构 | |
CN106784152A (zh) | 一种ibc电池的制备方法 | |
CN103413759B (zh) | 一种多晶硅片的制绒方法 | |
CN203013776U (zh) | 晶体硅太阳能电池rie制绒装置 | |
CN101593790A (zh) | 硅电池片的制绒方法 | |
CN202855747U (zh) | 高效多晶电池片 | |
CN102903796B (zh) | 一种晶体硅太阳能电池rie制绒装置 | |
CN101339964A (zh) | 晶体硅太阳能电池的选择性扩散方法 | |
CN103248270B (zh) | 可实现余热利用的砷化镓太阳能三级发电装置 | |
CN205160410U (zh) | 一种水冷式半导体温差发电模块 | |
CN201412262Y (zh) | 管道梯级发电系统 | |
CN204332975U (zh) | 一种多栅线电池片和太阳能电池组件 | |
CN202616272U (zh) | 一种小花篮放置结构 | |
CN202519366U (zh) | 多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路 | |
CN202346408U (zh) | 带加热的振动输送机 | |
CN102544226A (zh) | 多晶硅电池片快速变温磷吸杂工艺 | |
CN202889256U (zh) | 一种砷化镓及温差发电装置 | |
CN202630455U (zh) | 太阳能供热水与发电系统 | |
CN104269468A (zh) | 一种选择性发射极太阳能电池的制备方法 | |
CN204497203U (zh) | 一种新型石墨舟 | |
CN202601699U (zh) | 抽真空槽盖装置 | |
CN102509749B (zh) | 一种多晶硅太阳电池绒面的制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130619 Termination date: 20171022 |