CN203013669U - 一种热铟封封接装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种热铟封封接装置，包括铟封室，铟封室内的上方设置有上封接件放置装置，下方设置有载物平台，上封接件放置装置用于放置上封接件，载物平台用于放置下封接件，还包括下封接件的升降调节组件及磁力转动部件，通过升降调节组件和磁力转动部件使上封接件的封接面与下封接件的铟封槽完全接触，在一定程度上破坏了铟锡合金表面的氧化层，克服了铟表面氧化、不平整及气泡引起的封接漏气，提高了成品率。
Description
技术领域
本实用新型涉及像增强器、光电探测器、大面积光电倍增管、摄像管、变相管等真空型光电器件制作领域，尤其涉及一种热铟封封接装置。
背景技术
从转移光电阴极方法出现以来，光电阴极的封接都是采用冷压铟封技术来实现的。这种方法结构复杂，设备造价高，对被封接的组件配合尺寸公差要求精度高。近年来，发展了一种新的封接方法-热铟封技术，它可实现各种材料的匹配与非匹配封接。热铟封技术可以成功地应用于像增强器外，也可用于各种光电探测器、摄像管，变相管等光电器件的阴极封接。现有的热铟封技术，组件封接时只要焊料保持在熔化状态，就可依靠上封接件自身的重量，将焊料填满焊缝，从而使焊料与封接面形成良好的润湿来达到密封的目的。封接件的高度主要靠波纹管的伸缩调节，无旋转装置，采用普通热铟封技术的制作方法成品率为6O～80％。
发明内容
为解决现有热铟封装置在封接时由于铟表面氧化、不平整及气泡引起封接漏气导致的制管成品率低的技术问题，本实用新型提供一种热铟封封接装置。
本实用新型的技术解决方案是：
一种热铟封封接装置，包括铟封室，所述铟封室内为真空状态，所述铟封室内的上方设置有上封接件放置装置，下方设置有载物平台，所述上封接件放置装置用于放置上封接件，所述载物平台用于放置下封接件，
其特殊之处在于：还包括载物平台的升降调节组件，所述升降调节组件包括安装法兰、升降法兰盘、从动升降机构及至少两个对称设置在从动升降机构周围的主动升降机构，
所述安装法兰与铟封室底部的铟封室法兰固定连接，所述升降法兰盘位于安装法兰下方且与安装法兰平行，
所述主动升降机构包括轴承定位块、升降螺杆、螺杆导向套、手轮、轴承，所述轴承定位块与安装法兰下底面固定连接，所述螺杆导向套与升降法兰盘连接，所述升降螺杆的下端与升降手轮固定连接，所述升降螺杆的上端穿过螺杆导向套伸入升降轴承定位块，所述升降螺杆与螺杆导向套螺纹连接，所述轴承设置在升降螺杆的上端部与轴承定位块之间，
所述从动升降机构包括波纹管、磁力转动杆、限位管、磁力转动部件，所述波纹管密封连接在安装法兰和升降法兰盘之间，所述限位管的上端与升降法兰盘固定连接，所述限位管的下端设置有密封堵头，所述磁力转动杆的下端抵在密封堵头上，其上部依次穿过限位管、升降法兰盘、波纹管、安装法兰后与载物平台固定连接；所述磁力转动部件包括套装在限位管外的磁力转动手柄、位于限位管内且均匀设置在磁力转动杆上与磁力转动杆连为一体的多个转动块，所述相邻两个转动块之间放置有磁铁，所述磁力转动手柄由磁铁块和金属块间隔组成。
还包括至少一个导向机构，所述导向机构包括导向套及导向杆，所述导向套与升降法兰盘固定连接，所述导向杆的上端与安装法兰固定连接，其下端放置于导向套内且与导向套滑动配合。
还包括安装于磁力转动杆上的上轴承、下轴承及轴承定位环，所述上轴承及下轴承分别位于磁力转动块上下两侧，所述轴承定位环位于上轴承和限位管上端面之间。
上述主动升降机构和导向机构间隔设置。
本实用新型的有益效果：
1、本实用新型在热铟封封接装置上设置了升降调节组件，通过升降调节组件使上封接件的封接面与下封接件的铟封槽完全接触，在一定程度上破坏了铟锡合金表面的氧化层，克服了铟表面氧化、不平整及气泡引起的封接漏气，提高了成品率。
2、本实用新型在热铟封封接装置从动升降机构的基础上，巧妙的加入了磁力转动部件，通过调整磁力转动手柄，使下封接件旋转，由于上封接件固定不动而下封接件相对于上封接件做相对运动，进一步破坏了铟锡合金表面的氧化层,上封接件的封接面与氧化层下面新鲜的铟锡层进行充分接触和浸润，可以使成品率提高到95％以上。
附图说明
图1为本实用新型的的结构示意图；
图2为本实用新型封接装置的整体内部结构简图；
图3为主动升降机构结构示意图；
图4为导向机构结构示意图；
图5为旋转机构结构示意图；
图6为本实用新型磁力转动杆的结构示意图；
图7为本实用新型磁力转动杆与转动块及磁铁的配合图；
附图标记为：A-铟封室，B-阴极窗放置装置,C-阴极窗，D-铟封槽，E-封接面，F-铟封室法兰；2-探测器管壳组件，3-载物平台，4-安装法兰，5-波纹管，6-主动升降机构，61-轴承定位块，62-轴承，63-升降螺杆，64-螺杆导向套，65-升降手轮，7-导向机构，71-导向杆，72-导向套，8-升降法兰盘，9-从动升降机构，91-磁力转动杆，92-CF35法兰，93-上轴承定位环，94-磁铁，95-上轴承，96-限位管，97-下轴承，98-转动块，99-密封堵头，10-磁力转动手柄。
具体实施方式
下面以上封接件为制备好阴极的阴极窗，下封接件为探测器管壳组件为例对本实用新型进行说明。
如图1、图2所示，一种热铟封封接装置，包括铟封室A，铟封室内为真空，铟封室内的上方设置有上封接件放置装置B，下方设置有载物平台3，上封接件放置装置B上放置有阴极窗C，载物平台3上放置有探测器管壳组件2，热铟封封接装置还包括下封接件的升降调节组件，升降调节组件包括安装法兰4、升降法兰盘8、从动升降机构9及至少两个对称设置在从动升降机构9周围的主动升降机构6，安装法兰4与铟封室底部的铟封室法兰F固定连接，升降法兰盘8位于安装法兰4下方且与安装法兰4平行；主动升降机构6包括轴承定位块61、螺杆63、螺杆导向套64、手轮65、轴承62，轴承定位块61与安装法兰4下底面固定连接，螺杆导向套64与升降法兰盘8连接，升降螺杆63的下端与升降手轮65固定连接，升降螺杆63的上端穿过螺杆导向套64伸入升降轴承定位块61，升降螺杆63与螺杆导向套64螺纹连接，升降螺杆63的上端部与轴承定位块61之间设置有轴承62；从动升降机构9包括波纹管5、磁力转动杆91、限位管96，波纹管5固定在安装法兰4和升降法兰盘8之间，限位管96的上端与升降法兰盘8固定连接，限位管96的下端设置有密封堵头，磁力转动杆91的下端抵在密封堵头上，其上部依次穿过限位管96、升降法兰盘8、波纹管5、安装法兰4与载物平台3固定连接。
为了提高真空密封效果，从动升降机构9还包括磁力转动部件，磁力转动部件包括套装在限位管96外的磁力转动手柄10、位于限位管96内且均匀设置在磁力转动杆91上与磁力转动杆连为一体的多个转动块98，相邻两个转动块98之间放置有磁铁94，磁力转动手柄10由磁铁块和金属块间隔组成。
为了是载物平台3的上升更加平稳，在安装法兰4和升降法兰盘8之间设置两个导向机构，主动升降机构和导向机构间隔设置。
导向机构7包括导向套71及导向杆72，导向套71与升降法兰盘8固定连接，导向杆72的上端与安装法兰4固定连接，其下端放置于导向套71内。
焊接时，首先将封接装置安装法兰4与铟封室法兰F连接，并将探测器管壳组件2安装在阴极转移系统铟封室A的探测器支撑筒上，阴极窗C安放在阴极室中，在完成一系列的探测器制作工艺后，在保持阴极转移系统超高真空和维持合适温度的前提下，将阴极制作室中制作好阴极的阴极窗C通过磁力传递转移到铟封室A中间，升高探测器管壳组件2的高度通过双手同时调节封接装置主动升降机构的调节手轮65，使探测器管壳组件2升高到接近阴极窗C的封接面E，左右移动微调阴极窗C使之对准探测器管壳铟封槽D，固定阴极窗C的位置，然后继续升高探测器管壳组件2的高度使阴极窗C和探测器管壳铟封槽D中的铟锡合金完全接触，此时通过调整封接装置上磁力旋转组件的磁力手柄10，使探测器管壳组件2在±30°的角度范围内旋转，由于阴极窗C固定不动而探测器管壳组件2相对于阴极窗C做相对运动，阴极窗封接面E破坏了铟锡合金表面的氧化层，与下面新鲜的铟锡层进行充分接触和浸润，完成了探测器的良好封接与密封。
调节过程中，升降调节组件及磁力旋转部件的运动过程如下：
旋转升降手轮65，升降法兰盘8随之螺旋式上升，升降法兰盘8的上升带动从动升降机构整体上升，从动升降机构9的磁力转动杆91与载物平台3固定连接，从而使得探测器管壳组件2随之上升。与此同时，固定于安装法兰4下方的导向杆72沿导向套71移动。继续升高探测器管壳组件2的高度使阴极窗C和探测器管壳铟封槽D中的铟锡合金完全接触，此时通过旋转磁力转动手柄10，磁力转动手柄中的磁铁与夹在转动块98之间的磁铁相互作用带动磁力转动杆91转动，由于磁力转动杆91的上端与载物平台3固定连接，因而带动载物平台3旋转。位于安装法兰4和升降法兰盘8之间的波纹管在上升过程中可以被压缩，其作用是对安装法兰4和升降法兰盘8进行软连接，同时又能起到密封的作用。
Claims (4)
1.一种热铟封封接装置，包括铟封室(A)，所述铟封室内为真空状态，所述铟封室内的上方设置有上封接件放置装置(B)，下方设置有载物平台(3)，所述上封接件放置装置(B)用于放置上封接件，所述载物平台(3)用于放置下封接件，
其特征在于：还包括载物平台的升降调节组件，所述升降调节组件包括安装法兰(4)、升降法兰盘(8)、从动升降机构(9)及至少两个对称设置在从动升降机构(9)周围的主动升降机构(6)，
所述安装法兰(4)与铟封室底部的铟封室法兰(F)固定连接，所述升降法兰盘(8)位于安装法兰(4)下方且与安装法兰(4)平行，
所述主动升降机构(6)包括轴承定位块(61)、升降螺杆(63)、螺杆导向套(64)、手轮(65)、轴承(62)，所述轴承定位块(61)与安装法兰(4)下底面固定连接，所述螺杆导向套(64)与升降法兰盘(8)连接，所述升降螺杆(63)的下端与升降手轮(65)固定连接，所述升降螺杆(63)的上端穿过螺杆导向套(64)伸入升降轴承定位块(61)，所述升降螺杆(63)与螺杆导向套(64)螺纹连接，所述轴承(62)设置在升降螺杆(63)的上端部与轴承定位块(61)之间，
所述从动升降机构(9)包括波纹管(5)、磁力转动杆(91)、限位管(96)、磁力转动部件，所述波纹管(5)密封连接在安装法兰(4)和升降法兰盘(8)之间，所述限位管(96)的上端与升降法兰盘(8)固定连接，所述限位管(96)的下端设置有密封堵头，所述磁力转动杆(91)的下端抵在密封堵头上，其上部依次穿过限位管(96)、升降法兰盘(8)、波纹管(5)、安装法兰(4)后与载物平台(3)固定连接；所述磁力转动部件包括套装在限位管(96)外的磁力转动手柄(10)、位于限位管(96)内且均匀设置在磁力转动杆(91)上与磁力转动杆连为一体的多个转动块(98)，所述相邻两个转动块(98)之间放置有磁铁(94)，所述磁力转动手柄(10)由磁铁块和金属块间隔组成。
2.根据权利要求1所述的热铟封封接装置，其特征在于：还包括至少一个导向机构(7)，所述导向机构(7)包括导向套(72)及导向杆(71)，所述导向套(72)与升降法兰盘(8)固定连接，所述导向杆(71)的上端与安装法兰(4)固定连接，其下端放置于导向套(72)内且与导向套(72)滑动配合。
3.根据权利要求1或2所述的热铟封封接装置，其特征在于：还包括安装于磁力转动杆(91)上的上轴承(95)、下轴承(97)及轴承定位环(93)，所述上轴承(95)及下轴承(97)分别位于磁力转动块(98)上下两侧，所述轴承定位环(93)位于上轴承(95)和限位管(96)上端面之间。
4.根据权利要求3所述的热铟封封接装置，其特征在于：所述主动升降机构和导向机构间隔设置。
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Cited By (2)
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| CN103123886B (zh) * | 2012-12-21 | 2015-05-27 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种热铟封封接装置 |
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Legal Events
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