CN202975591U - 一种新型的uv灯摆缸快门控制装置 - Google Patents

一种新型的uv灯摆缸快门控制装置 Download PDF

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Abstract

本实用新型公开了一种新型的UV灯摆缸快门控制装置,包括UV灯管,及位于UV灯管上方的快门组,及位于快门组右侧的齿轮组,及位于齿轮组右侧的摆动气缸,所述快门组由第一分快门和第二分快门组成,所述齿轮组由第一齿轮、第二齿轮与第三齿轮组成;通过压缩气体控制摆缸轴偏转,带动齿轮转动,然后经配对齿轮配转,带动快门开合,使曝光时间缩短,提高工作效率。

Description

一种新型的UV灯摆缸快门控制装置
技术领域
本实用新型涉及一种新型的UV灯摆缸快门控制装置。 
背景技术
目前,市场上所使用的快门控制装置通常只是简单的使用电机带动齿轮旋转,通过齿轮传动来控制快门的开与合,而电机启动的过程中是一个加速过程,其初始速度较慢,曝光较慢,且容易导致曝光不完全,影响曝光质量,不适合推广使用。 
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种曝光速度块,曝光质量高的新型的UV灯摆缸快门控制装置。 
本实用新型是通过以下技术方案来实现的: 
一种新型的UV灯摆缸快门控制装置,包括UV灯管,及位于UV灯管上方的快门组,及位于快门组右侧的齿轮组,及位于齿轮组右侧的摆动气缸,所述快门组由第一分快门和第二分快门组成,所述齿轮组由第一齿轮、第二齿轮与第三齿轮组成。 
作为优选,所述第一齿轮与第一分快门相连,所述第二齿轮与第二分快门相连,所述第三齿轮与摆动气缸相连。 
作为优选,所述摆动气缸顶部设有两个压缩空气接口。 
作为优选,所述第三齿轮与第一齿轮相啮合,所述第一齿轮与第二齿轮相啮合。 
本实用新型的有益效果是:通过压缩气体控制摆缸轴偏转,带动齿轮转动,然后经配对齿轮配转,带动快门开合,使曝光时间缩短,提高工作效率。 
附图说明
为了易于说明,本实用新型由下述的具体实施例及附图作以详细描述。 
图1为本实用新型的结构示意图。 
图2为本实用新型的快门组结构示意图。 
图3为本实用新型的齿轮啮合示意图。 
具体实施方式
参阅图1、图2和图3所示的一种新型的UV灯摆缸快门控制装置,包括UV灯管4,及位于UV灯管4上方的快门组1,及位于快门组1右侧的齿轮组2,及位于齿轮组2右侧的摆动气缸3,所述快门组1由第一分快门5和第二分快门6组成,所述齿轮组2由第一齿轮7、第二齿轮8与第三齿轮9组成。 
其中,所述第一齿轮7与第一分快门5相连,所述第二齿轮8与第二分快门6相连,所述第三齿轮9与摆动气缸3相连。 
所述摆动气缸3顶部设有两个压缩空气接口10。 
所述第三齿轮9与第一齿轮7相啮合,所述第一齿轮7与第二齿轮8相啮合。 
本实用新型的具体实施过程:气体由压缩空气接口10进入摆动气缸3,带动第三齿轮9,第三齿轮9带动第一齿轮7和第二齿轮8,快门组1打开,UV灯管4发光,工作完毕 
本实用新型的有益效果是:通过压缩气体控制摆缸轴偏转,带动齿轮转动,然后经配对齿轮配转,带动快门开合,使曝光时间缩短,提高工作效率。 
以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何不经过创造性劳动想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。 

Claims (4)

1.一种新型的UV灯摆缸快门控制装置,其特征在于:包括UV灯管,及位于UV灯管上方的快门组,及位于快门组右侧的齿轮组,及位于齿轮组右侧的摆动气缸,所述快门组由第一分快门和第二分快门组成,所述齿轮组由第一齿轮、第二齿轮与第三齿轮组成。 
2.根据权利要求1所述的新型的UV灯摆缸快门控制装置,其特征在于:所述第一齿轮与第一分快门相连,所述第二齿轮与第二分快门相连,所述第三齿轮与摆动气缸相连。 
3.根据权利要求1所述的新型的UV灯摆缸快门控制装置,其特征在于:所述摆动气缸顶部设有两个压缩空气接口。 
4.根据权利要求1所述的新型的UV灯摆缸快门控制装置,其特征在于:所述第三齿轮与第一齿轮相啮合,所述第一齿轮与第二齿轮相啮合。 
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2019165904A1 (zh) * 2018-02-27 2019-09-06 上海微电子装备(集团)股份有限公司 光刻机安全快门装置

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