CN202934713U - 一种实验室用硅片切割简易装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种实验室用硅片切割简易装置,所述底板顶面四周分别设有夹具和插槽,所述插槽位于夹具的外侧;所述插槽内活动连接有两块相互平行的侧板,两侧板之间由螺钉固定连接有顶杆;所述标尺的两端与两侧板上的导向槽滑动配合连接;所述游标与手柄为一体,活动安装在标尺上,并通过紧固螺栓固定;所述弹簧穿过销轴安装在游标与刀柄之间;所述玻璃刀头与刀柄螺纹连接,该装置在切割过程中切割力大小均匀,不会出现硅片划痕过浅或者压碎的现象,切割边缘规整,尺寸精确,可达到毫米级,提高了切割质量;本装置结构简单、操作便捷,可以实现连续多次切割,提高了切割效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种切割装置,特别是涉及一种实验室用硅片切割简易装置。
背景技术
硅片是实验室常用的半导体材料,直接购买的硅片尺寸一般很大,不能直接使用。实验室一般采用手工切割的方法将尺寸较大的硅片分割成小块,即使用玻璃刀、钢尺等辅助工具,先在硅片背面划一条线,然后用力在划痕处按压使硅片断裂。手工切割方法难以对切割力进行控制,切割力过小达不到切割效果,切割力过大则会将硅片压碎,且硅片切割起始位置和结束位置容易受到集中应力而产生破坏。因此这种方法对操作人员技术要求高,且成功率低,浪费较严重,难以得到边缘规整、尺寸精准的硅片。
实用新型内容
为了解决上述问题,本实用新型提出了一种实验室用硅片切割简易装置,该装置结构简单、操作方便、切割质量高,不仅降低了对操作人员技术经验的要求,而且避免了对硅片的浪费。
本实用新型为了解决上述技术问题所采取的技术方案是:一种实验室用硅片切割简易装置,包括底板、侧板、夹具、玻璃刀头、刀柄、标尺、游标、销轴、弹簧、紧固螺栓、手柄、顶杆、螺钉、导向槽和插槽,所述底板顶面四周分别设有夹具和插槽,所述插槽位于夹具的外侧;所述插槽内活动连接有两块相互平行的侧板,两侧板之间由螺钉固定连接有顶杆;所述标尺的两端与两侧板上的导向槽滑动配合连接;所述游标与手柄为一体,活动安装在标尺上,并通过紧固螺栓固定;所述弹簧穿过销轴安装在游标与刀柄之间,在切割过程中弹簧发生扭转变形,使玻璃刀头在硅片表面作用一定大小的切割力;所述玻璃刀头与刀柄螺纹连接。
本实用新型的有益效果是:该一种实验室用硅片切割简易装置在切割过程中切割力大小均匀,不会出现硅片划痕过浅或者压碎的现象,切割边缘规整,尺寸精确,可达到毫米级,提高了切割质量;本装置结构简单、操作便捷,可以实现连续多次切割,提高了切割效率。
附图说明
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。
图1是一种实验室用硅片切割简易装置的主视图;。
图2是一种实验室用硅片切割简易装置的左视图;。
图3是一种实验室用硅片切割简易装置的俯视图。
图中,1.底板,2.侧板,3.夹具,4.硅片,5.玻璃刀头,6.刀柄,7.标尺,8.游标,9.销轴,10.弹簧,11.紧固螺栓,12.手柄,13.顶杆,14.螺钉,15.导向槽,16.插槽。
具体实施方式
在附图中,该一种实验室用硅片切割简易装置,包括底板1、侧板2、夹具3、玻璃刀头5、刀柄6、标尺7、游标8、销轴9、弹簧10、紧固螺栓11、手柄12、顶杆13、螺钉14、导向槽15和插槽16,所述底板1顶面四周分别设有夹具3和插槽16,所述插槽16位于夹具3的外侧;所述插槽 16内活动连接有两块相互平行的侧板2,两侧板2之间由螺钉14固定连接有顶杆13,用于防止侧板2的倾斜;所述标尺7的两端与两侧板2上的导向槽15滑动配合连接;所述游标8与手柄12为一体,活动安装在标尺7上,并通过紧固螺栓11固定;所述弹簧10穿过销轴9安装在游标8与刀柄6之间,在切割过程中弹簧10发生扭转变形,使玻璃刀头5在硅片4表面作用一定大小的切割力,更换不同刚度的弹簧可以得到不同大小的切割力;所述玻璃刀头5与刀柄6螺纹连接,更换刀头时非常方便。
切割硅片4时可以通过转换侧板2的连接方向来改变切割的方向。
利用本实用新型切割硅片4时的步骤如下:将该装置组装好,标尺7移动到导向槽15一端;用夹具3将硅片4固定在底板1上,调节游标8到指定位置,拧紧紧固螺栓11;拉动手柄12使标尺7沿导向槽15移动,直到玻璃刀头5到达切割结束位置;将玻璃刀头5抬离硅片4表面,同时将标尺7复位,按照切割尺寸调节游标8位置,进行下一次切割。
Claims (1)
1. 一种实验室用硅片切割简易装置,包括底板(1)、侧板(2)、夹具(3)、玻璃刀头(5)、刀柄(6)、标尺(7)、游标(8)、销轴(9)、弹簧(10)、紧固螺栓(11)、手柄(12)、顶杆(13)、螺钉(14)、导向槽(15)和插槽(16),其特征在于:所述底板(1)顶面四周分别设有夹具(3)和插槽(16),所述插槽(16)位于夹具(3)的外侧;所述插槽 (16)内活动连接有两块相互平行的侧板(2),两侧板(2)之间由螺钉(14)固定连接有顶杆(13);所述标尺(7)的两端与两侧板(2)上的导向槽(15)滑动配合连接;所述游标(8)与手柄(12)为一体,活动安装在标尺(7)上,并通过紧固螺栓(11)固定;所述弹簧(10)穿过销轴(9)安装在游标(8)与刀柄(6)之间,在切割过程中弹簧(10)发生扭转变形,使玻璃刀头(5)在硅片(4)表面作用一定大小的切割力;所述玻璃刀头(5)与刀柄(6)螺纹连接。
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CN106409725A (zh) * | 2016-10-08 | 2017-02-15 | 北京无线电测量研究所 | 一种用于芯片切割实验的工装及方法 |
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Legal Events
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C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130515 Termination date: 20131207 |