CN202829838U - 石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置 - Google Patents
石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202829838U CN202829838U CN 201220580348 CN201220580348U CN202829838U CN 202829838 U CN202829838 U CN 202829838U CN 201220580348 CN201220580348 CN 201220580348 CN 201220580348 U CN201220580348 U CN 201220580348U CN 202829838 U CN202829838 U CN 202829838U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- tube
- pipe
- breather pipe
- silica tube
- lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置，它涉及一种镀裂解碳装置，本实用新型为解决生长含锂的半导体在温度高于800℃时，锂挥发导致生长单晶体用石英管内壁发生严重腐蚀、甚至石英管破裂以及现有的石墨坩埚含有大量的孔隙导致表面粗糙、不利于生长单晶体的问题。石英管沉淀管平放在加热炉内且管口设置在加热炉外，石英管沉淀管内的侧壁设置有石英支架；将待镀石墨坩埚设置在石英管沉淀管内并通过石英支架支撑，沉淀管盖紧密套装在石英管沉淀管管口处的外壁上，第一进气管的一端穿过沉淀管盖的第一盖孔设置在待镀石墨坩埚的底部。本实用新型用于在石英管或石墨坩埚上镀裂解碳。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种镀裂解碳装置。
背景技术
目前，含锂的半导体在温度高于800℃时都有锂的挥发，致使生长单晶体用石英管内壁发生严重腐蚀，甚至石英管破裂；另外，现有石墨坩埚含有大量的孔隙导致表面粗糙不利于生长单晶体。采用在石英管内壁和石墨坩埚表面镀裂解碳的方法可以解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型为解决生长含锂的半导体在温度高于800℃时，锂挥发导致生长单晶体用石英管内壁发生严重腐蚀、甚至石英管破裂以及现有的石墨坩埚含有大量的孔隙导致表面粗糙、不利于生长单晶体的问题，进而提供一种石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置。
本实用新型为解决上述技术问题采取的技术方案是：
石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置包括加热炉、石英管沉淀管、沉淀管盖、石英支架、第一进气管、第一排气管、玻璃通气管道、第二进气管、第二排气管、第一二通阀、第二二通阀、气体流量计、装高纯丙酮的容器、带有小孔的石英管和两个开关阀门，沉淀管盖端面的中心处沿其厚度方向加工有第一盖孔，沉淀管盖上位于第一盖孔的下方的端面沿其厚度方向加工有第二盖孔，带有小孔的石英管的底端管壁中心处加工有第一通孔，所述底端管壁上环绕第一通孔均匀加工有多个第二通孔，石英管沉淀管平放在加热炉内且管口设置在加热炉外，石英管沉淀管内的侧壁设置有石英支架；将待镀石墨坩埚设置在石英管沉淀管内并通过石英支架支撑，沉淀管盖紧密套装在石英管沉淀管管口处的外壁上，第一进气管的一端穿过沉淀管盖的第一盖孔设置在待镀石墨坩埚的底部，或者将待镀石英管设置在石英管沉淀管内并通过石英支架支撑，带有小孔的石英管紧密贴合设置在待镀石英管内的管口一端，沉淀管盖紧密套装在石英管沉淀管管口处的外壁上，第一进气管的一端依次穿过沉淀管盖的第一盖孔和带有小孔的石英管的第一通孔设置在待镀石英管的底部，带有小孔的石英管、待镀石墨坩埚和待镀石英管的开口方向与石英管沉淀管的开口方向相同；第一排气管的一端穿过第二盖孔设置在石英管沉淀管内的管口端，第一排气管的另一端设置在石英管沉淀管外，玻璃通气管道包括第一玻璃通气管、第二玻璃通气管、第三玻璃通气管、第四玻璃通气管和第五玻璃通气管，第一玻璃通气管、第二玻璃通气管、第三玻璃通气管、第四玻璃通气管和第五玻璃通气管依次连通设置为一体，第二玻璃通气管的侧壁上连通设置有第二进气管，第二进气管的侧壁上连通设置有气体流量计，第二进气管和第二玻璃通气管连接处的内部设置有第一二通阀，第四玻璃通气管的侧壁上连通设置有第二排气管，第四玻璃通气管和第二排气管连接处的内部设置有第二二通阀，第一玻璃通气管和第五玻璃通气管的内部各设置有一个开关阀门，第一玻璃通气管和第五玻璃通气管的下端设置在装高纯丙酮的容器内，第一玻璃通气管的下端位于丙酮溶液内，第五玻璃通气管的下端位于丙酮溶液的液面上方，第一进气管的另一端与第二排气管连通固接。
本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果：
本实用新型可在石墨坩埚或石英管表面镀裂解碳，阻碍了单晶生长原料与石墨的接触，避免了石墨坩埚内部杂质对单晶体的污染，同时保持了单晶体完整光滑的外形。带有小孔的石英管，保护了待镀石英管管口处不需要镀裂解碳的部位。控制开关阀门的启闭和调节二通阀可以改变气体流通方向，调节气体流量计控制气体流量和镀裂解碳速率，同时，通过调节气体流量计和开关阀门的启闭调节反应速率，可操作性强、清洗方便。
附图说明
图1是本实用新型用于石墨坩埚镀裂解碳时的主视图，图2是本实用新型用于石英管镀裂解碳时的主视图，图3是图1和图2中沉淀管盖的左视图，图4是图3中A-A面的剖面图，图5是图2中带有小孔的石英管的左视图。
具体实施方式
具体实施方式一：结合图1～图5说明，本实用新型的石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置包括加热炉1、石英管沉淀管2、沉淀管盖3、石英支架4、第一进气管5、第一排气管6、玻璃通气管道7、第二进气管8、第二排气管9、第一二通阀10、第二二通阀11、气体流量计12、装高纯丙酮的容器13、带有小孔的石英管14和两个开关阀门15，沉淀管盖3端面的中心处沿其厚度方向加工有第一盖孔3-1，沉淀管盖3上位于第一盖孔3-1的下方的端面沿其厚度方向加工有第二盖孔3-2，带有小孔的石英管14的底端管壁中心处加工有第一通孔14-1，所述底端管壁上环绕第一通孔14-1均匀加工有多个第二通孔14-2，石英管沉淀管2平放在加热炉1内且管口设置在加热炉1外，石英管沉淀管2内的侧壁设置有石英支架4；将待镀石墨坩埚16设置在石英管沉淀管2内并通过石英支架4支撑，沉淀管盖3紧密套装在石英管沉淀管2管口处的外壁上，第一进气管5的一端穿过沉淀管盖3的第一盖孔3-1设置在待镀石墨坩埚16的底部，或者将待镀石英管17设置在石英管沉淀管2内并通过石英支架4支撑，带有小孔的石英管14紧密贴合设置在待镀石英管17内的管口一端，沉淀管盖3紧密套装在石英管沉淀管2管口处的外壁上，第一进气管5的一端依次穿过沉淀管盖3的第一盖孔3-1和带有小孔的石英管14的第一通孔14-1设置在待镀石英管17的底部，带有小孔的石英管14、待镀石墨坩埚16和待镀石英管17的开口方向与石英管沉淀管2的开口方向相同；第一排气管6的一端穿过第二盖孔3-2设置在石英管沉淀管2内的管口端，第一排气管6的另一端设置在石英管沉淀管2外，玻璃通气管道7包括第一玻璃通气管7-1、第二玻璃通气管7-2、第三玻璃通气管7-3、第四玻璃通气管7-4和第五玻璃通气管7-5，第一玻璃通气管7-1、第二玻璃通气管7-2、第三玻璃通气管7-3、第四玻璃通气管7-4和第五玻璃通气管7-5依次连通设置为一体，第二玻璃通气管7-2的侧壁上连通设置有第二进气管8，第二进气管8的侧壁上连通设置有气体流量计12，第二进气管8和第二玻璃通气管7-2连接处的内部设置有第一二通阀10，第四玻璃通气管7-4的侧壁上连通设置有第二排气管9，第四玻璃通气管7-4和第二排气管9连接处的内部设置有第二二通阀11，第一玻璃通气管7-1和第五玻璃通气管7-5的内部各设置有一个开关阀门15，第一玻璃通气管7-1和第五玻璃通气管7-5的下端设置在装高纯丙酮的容器13内，第一玻璃通气管7-1的下端位于丙酮溶液内，第五玻璃通气管7-5的下端位于丙酮溶液的液面上方，第一进气管5的另一端与第二排气管9连通固接。
晶体生长用石英管在装完原料之后，管口处需要进行熔封，而在需要熔封的部位不应有裂解碳，否则会导致熔封不严密。本实施方式设置有带有小孔的石英管14，用于保护其外部的待镀石英管17不被镀上裂解碳。
具体实施方式二：结合图3～图4说明，本实施方式的沉淀管盖3的内壁上加工有多个环形凹槽3-3，每个环形凹槽3-3内设置有一个橡胶圈3-4。如此设计，保证了石英管沉淀管2的密封良好。其他组成和连接关系与具体实施方式一相同。
具体实施方式三：结合图3～图4说明，本实施方式的沉淀管盖3的沉淀管盖3为铝制盖或铜制盖。其他组成和连接关系与具体实施方式一或二相同。
具体实施方式四：结合图5说明，本实施方式的第二通孔14-2的数量为三个。其他组成和连接关系与具体实施方式三相同。
工作原理：步骤一：从烘干设备中取出待镀石墨坩埚16或待镀石英管17放入石英管沉淀管2中，并用沉淀管盖3密封，炉体温度升高至1060℃，从第二进气管8通入高纯氩气，调节气体流量计12的读数为30-40ml/min，打开第一二通阀10使第二进气管8和第三玻璃通气管7-3相通，同时关闭两个开关阀门15，打开第二二通阀11使第三玻璃通气管7-3和第二排气管9相通，通入高纯氩气的时间为40-60min，目的是排除石英管沉淀管2中的空气。
步骤二：改变第一二通阀10的方向使第二进气管8和第一玻璃通气管7-1相通，同时打开两个开关阀门15，改变第二二通阀11使第五玻璃通气管7-5和第二排气管9相通，调节气体流量计12，使插入丙酮溶液内部的第一玻璃通气管7-1冒出气泡速率为1个/秒，通高纯氩气的时间为30min(石英管镀裂解碳膜)或7-9h(石墨坩埚镀裂解碳膜)。氩气把丙酮蒸汽带入石英管沉淀管2中，并发生裂解反应，得到的裂解碳沉积到待镀器件上。
步骤三：再次改变第一二通阀10方向使第二进气管8和第三玻璃通气管7-3相通，改变第二二通阀11的方向使使第三玻璃通气管7-3和第二排气管9相通，同时关闭两个开关阀门15，调节气体流量计12读数为30-40ml/min，通高纯氩气时间为30min，目的是使碳膜稳定，并将加热炉1的温度降至室温。
Claims (4)
1.石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置，所述镀裂解碳装置包括加热炉(1)、石英管沉淀管(2)、沉淀管盖(3)、石英支架(4)、第一进气管(5)、第一排气管(6)、玻璃通气管道(7)、第二进气管(8)、第二排气管(9)、第一二通阀(10)、第二二通阀(11)、气体流量计(12)、装高纯丙酮的容器(13)、带有小孔的石英管(14)和两个开关阀门(15)，其特征在于：沉淀管盖(3)端面的中心处沿其厚度方向加工有第一盖孔(3-1)，沉淀管盖(3)上位于第一盖孔(3-1)的下方的端面沿其厚度方向加工有第二盖孔(3-2)，带有小孔的石英管(14)的底端管壁中心处加工有第一通孔(14-1)，所述底端管壁上环绕第一通孔(14-1)均匀加工有多个第二通孔(14-2)，石英管沉淀管(2)平放在加热炉(1)内且管口设置在加热炉(1)外，石英管沉淀管(2)内的侧壁设置有石英支架(4)；将待镀石墨坩埚(16)设置在石英管沉淀管(2)内并通过石英支架(4)支撑，沉淀管盖(3)紧密套装在石英管沉淀管(2)管口处的外壁上，第一进气管(5)的一端穿过沉淀管盖(3)的第一盖孔(3-1)设置在待镀石墨坩埚(16)的底部，或者将待镀石英管(17)设置在石英管沉淀管(2)内并通过石英支架(4)支撑，带有小孔的石英管(14)紧密贴合设置在待镀石英管(17)内的管口一端，沉淀管盖(3)紧密套装在石英管沉淀管(2)管口处的外壁上，第一进气管(5)的一端依次穿过沉淀管盖(3)的第一盖孔(3-1)和带有小孔的石英管(14)的第一通孔(14-1)设置在待镀石英管(17)的底部，带有小孔的石英管(14)、待镀石墨坩埚(16)和待镀石英管(17)的开口方向与石英管沉淀管(2)的开口方向相同；第一排气管(6)的一端穿过第二盖孔(3-2)设置在石英管沉淀管(2)内的管口端，第一排气管(6)的另一端设置在石英管沉淀管(2)外，玻璃通气管道(7)包括第一玻璃通气管(7-1)、第二玻璃通气管(7-2)、第三玻璃通气管(7-3)、第四玻璃通气管(7-4)和第五玻璃通气管(7-5)，第一玻璃通气管(7-1)、第二玻璃通气管(7-2)、第三玻璃通气管(7-3)、第四玻璃通气管(7-4)和第五玻璃通气管(7-5)依次连通设置为一体，第二玻璃通气管(7-2)的侧壁上连通设置有第二进气管(8)，第二进气管(8)的侧壁上连通设置有气体流量计(12)，第二进气管(8)和第二玻璃通气管(7-2)连接处的内部设置有第一二通阀(10)，第四玻璃通气管(7-4)的侧壁上连通设置有第二排气管(9)，第四玻璃通气管(7-4)和第二排气管(9)连接处的内部设置有第二二通阀(11)，第一玻璃通气管(7-1)和第五玻璃通气管(7-5)的内部各设置有一个开关阀门(15)，第一玻璃通气管(7-1)和第五玻璃通气管(7-5)的下端设置在装高纯丙酮的容器(13)内，第一玻璃通气管(7-1)的下端位于丙酮溶液内，第五玻璃通气管(7-5)的下端位于丙酮溶液的液面上方，第一进气管(5)的另一端与第二排气管(9)连通固接。
2.根据权利要求1所述的石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置，其特征在于：所述沉淀管盖(3)的内壁上加工有多个环形凹槽(3-3)，每个环形凹槽(3-3)内设置有一个橡胶圈(3-4)。
3.根据权利要求1或2所述的石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置，其特征在于：沉淀管盖(3)为铝制盖或铜制盖。
4.根据权利要求3所述的石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置，其特征在于：第二通孔(14-2)的数量为三个。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220580348 CN202829838U (zh) | 2012-11-06 | 2012-11-06 | 石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220580348 CN202829838U (zh) | 2012-11-06 | 2012-11-06 | 石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202829838U true CN202829838U (zh) | 2013-03-27 |
Family
ID=47941593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201220580348 Expired - Fee Related CN202829838U (zh) | 2012-11-06 | 2012-11-06 | 石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202829838U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104445986A (zh) * | 2014-11-20 | 2015-03-25 | 中国工程物理研究院化工材料研究所 | 一种用于晶体生长的石英安瓿的镀碳方法 |
| CN115259684A (zh) * | 2022-08-02 | 2022-11-01 | 安徽光智科技有限公司 | 石英器件的镀碳方法 |
-
2012
- 2012-11-06 CN CN 201220580348 patent/CN202829838U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104445986A (zh) * | 2014-11-20 | 2015-03-25 | 中国工程物理研究院化工材料研究所 | 一种用于晶体生长的石英安瓿的镀碳方法 |
| CN104445986B (zh) * | 2014-11-20 | 2016-06-08 | 中国工程物理研究院化工材料研究所 | 一种用于晶体生长的石英安瓿的镀碳方法 |
| CN115259684A (zh) * | 2022-08-02 | 2022-11-01 | 安徽光智科技有限公司 | 石英器件的镀碳方法 |
| CN115259684B (zh) * | 2022-08-02 | 2024-03-08 | 安徽光智科技有限公司 | 石英器件的镀碳方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN202829838U (zh) | 石英管或石墨坩埚镀裂解碳装置 | |
| CN204714943U (zh) | 一种多晶铸锭炉氩气吹扫导流装置 | |
| WO2020118999A1 (zh) | 一种vb/vgf法晶体生长用石英管及装置 | |
| CN201793375U (zh) | 一种用于生产多晶硅的还原炉 | |
| CN204416022U (zh) | 防止反复开封液体食品腐败变质的瓶盖及保鲜瓶 | |
| CN207294886U (zh) | 管式炉及化学气相沉积装置 | |
| CN200988773Y (zh) | 制备高光学均匀性CVDZnS球罩的设备 | |
| CN207685403U (zh) | 一种单晶炉高温除氧装置 | |
| CN203741454U (zh) | 一种多晶硅铸锭过程中二次加料装置 | |
| CN202595329U (zh) | 一种泡生法单晶炉的全角度视窗 | |
| CN109023508A (zh) | 单晶炉用新型连续加料装置 | |
| CN206616024U (zh) | 一种熔融碱分配器 | |
| CN102363899A (zh) | 一种连续加料用石英坩埚 | |
| CN203307477U (zh) | 一体型气相掺杂装置 | |
| CN203938719U (zh) | 核级海绵铪双罐还原装置 | |
| CN102605420A (zh) | 一种泡生法单晶炉的全角度视窗 | |
| CN102134753B (zh) | 太阳能电池生产中扩散炉的自动补液装置 | |
| CN101713095A (zh) | 双向气流的硅晶体生长装置 | |
| CN101748481A (zh) | 一种多晶硅料的提纯方法 | |
| CN102320603B (zh) | 多晶硅硅烷分解炉之导热油硅芯夹套式小钟罩 | |
| CN200998667Y (zh) | 滴嘴式试剂瓶 | |
| CN103193233B (zh) | 通过钠还原四氟化硅制备太阳能级多晶硅的装置和方法 | |
| CN102184840A (zh) | 一种双层石英筒的制作方法 | |
| CN207845476U (zh) | 一种稳定性好的玻璃制造用增压容器 | |
| CN207727190U (zh) | 具有交变温场的水热结晶装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20151202 Address after: 150050 Heilongjiang province Harbin Daowai District, Hongqi Street, No. 999 Patentee after: Heilongjiang Institute of Technology Address before: 150006 chief engineer room, Harbin Railway Bureau, No. 51 West straight street, Nangang District, Heilongjiang, Harbin Patentee before: Ma Tianhui |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130327 Termination date: 20171106 |