CN202788238U

CN202788238U - 晶圆盒开锁工具

Info

Publication number: CN202788238U
Application number: CN 201220521051
Authority: CN
Inventors: 吴良辉
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Corp; Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2012-10-11
Filing date: 2012-10-11
Publication date: 2013-03-13
Anticipated expiration: 2022-10-11

Abstract

本实用新型提供一种晶圆盒开锁工具，包括钥匙、钥匙支撑件以及钥匙驱动机构，所述钥匙安装于钥匙支撑件上并露出所述钥匙的头部，所述钥匙驱动机构与所述钥匙连接并驱动所述钥匙转动。所述晶圆盒开锁工具，结构简单，使用方便，使用时，只需要一个操作人员目测对准晶圆盒的锁孔，将钥匙的头部插入对应的锁孔内，并通过驱动所述钥匙驱动机构带动所述钥匙转动，可以方便、快捷的实现晶圆盒的开锁工作，不但节省了人力，而且有效提高的工作效率。

Description

晶圆盒开锁工具

技术领域

本实用新型涉及一种开锁工具，特别涉及一种晶圆盒开锁工具。

背景技术

目前，在半导体生产工艺车间内，一般采用晶圆盒传送晶圆。通常，现有的晶圆盒包括一面开口的盒体和门盖，所述门盖与盒体的开口处相配合，用于封闭所述盒体，所述盒体的内壁设有用于放置晶圆的若干凹槽。所述门盖上设有用于所述门盖的锁孔，一般有两个锁孔间隔设置。

开锁时，由于晶圆盒较重，并且内部装有容易碰伤的晶圆，因此，需要一个操作人员托住晶圆盒，另一个操作人员依次将两把钥匙插入锁孔内，分别转动钥匙，以打开锁。并且，经常发生钥匙遗失和两把钥匙不匹配的现象。可见，现有的开锁方法，不但钥匙不容易管理，而且需要两个操作人员手动打开，费事费力。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆盒开锁工具，可以方便操作人员开启晶圆盒上的锁，提高工作效率。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种晶圆盒开锁工具，包括钥匙、钥匙支撑件以及钥匙驱动机构，所述钥匙安装于钥匙支撑件上并露出所述钥匙的头部，所述钥匙驱动机构与所述钥匙连接并驱动所述钥匙转动。

优选的，在上述的晶圆盒开锁工具中，所述钥匙驱动机构包括驱动单元和传动单元，所述传动单元分别与所述钥匙和所述驱动单元连接，所述驱动单元经所述传动单元驱动所述钥匙转动。

优选的，在上述的晶圆盒开锁工具中，所述驱动单元包括手柄、按钮以及第一弹簧，所述手柄间隔设置于所述钥匙支撑件的一侧，所述手柄内设有一具有开口的内腔，所述按钮设置于所述内腔内与所述开口向对应的位置，所述开口小于所述按钮，所述第一弹簧设置于所述按钮上远离所述钥匙支撑件的表面和与所述表面相对的所述手柄的内壁之间。

优选的，在上述的晶圆盒开锁工具中，所述驱动单元还包括一导销，所述导销的一端与所述手柄的内壁固定连接，所述按钮的中部设有与所述导销相匹配的销孔，所述导销的另一端伸入所述销孔内。所述按钮能够相对所述导销移动。

优选的，在上述的晶圆盒开锁工具中，还包括用于对按钮起到缓冲作用的缓冲块，所述缓冲块设置于所述手柄的内壁上并与所述按钮的两端位置相对应。

优选的，在上述的晶圆盒开锁工具中，所述传动单元包括牵拉绳和定滑轮，所述牵拉绳的一端与所述按钮固定连接，所述牵拉绳的另一端与所述钥匙的尾部固定连接，所述牵拉绳经所述定滑轮张紧并转向，所述钥匙支撑件内设有空腔，所述钥匙的尾部安装于所述空腔内，所述钥匙的头部位于所述钥匙支撑件的外部，所述牵拉绳在所述按钮的作用下带动所述钥匙转动。

优选的，在上述的晶圆盒开锁工具中，所述传动单元还包括一圆筒，所述圆筒位于所述空腔内，所述圆筒套固定设于所述钥匙的尾部外侧，所述牵拉绳的另一端经所述圆筒与所述钥匙的尾部固定连接。

优选的，在上述的晶圆盒开锁工具中，所述传动单元还包括一用于顶住所述钥匙的第二弹簧，所述第二弹簧设置所述钥匙的尾部与所述空腔的内壁之间。

优选的，在上述的晶圆盒开锁工具中，所述定滑轮设置于所述空腔靠近所述手柄的内壁上。

优选的，在上述的晶圆盒开锁工具中，所述钥匙的纵向与所述按钮的运动方向平行。

优选的，在上述的晶圆盒开锁工具中，所述钥匙的数量是两把，两个所述钥匙间隔安装于钥匙支撑件上，所述传动单元的数量是两套，分别在所述驱动单元的作用下驱动对应的钥匙转动。

本实用新型提供一种的晶圆盒开锁工具，结构简单，使用方便，其包括钥匙、钥匙支撑件以及钥匙驱动机构，所述钥匙安装于钥匙支撑件上并露出所述钥匙的头部，所述钥匙驱动机构与所述钥匙连接并驱动所述钥匙转动。使用时，只需要一个操作人员目测对准晶圆盒的锁孔，将钥匙的头部插入对应的锁孔内，并通过驱动所述钥匙驱动机构带动所述钥匙转动，可以方便、快捷的实现晶圆盒的开锁工作，不但节省了人力，而且有效提高的工作效率。

附图说明

本实用新型的晶圆盒开锁工具由以下的实施例及附图给出。

图1为本实用新型一实施例的晶圆盒开锁工具的结构示意图。

图2为本实用新型一实施例钥匙支撑件、传动单元一级按钮的俯视示意图。

图3为本实用新型一实施例的晶圆盒开锁工具的按压按钮时的使用状态图。

图中，1-钥匙，11-头部，2-钥匙支撑件，21-空腔，3-驱动单元，31-手柄，310-内腔，311-开口，32-按钮，33-第一弹簧，34-导销，41-牵拉绳，42-定滑轮，43-圆筒，44-第二弹簧，5-缓冲块。

具体实施方式

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参阅图1、图2和图3，这种晶圆盒开锁工具，包括钥匙1、钥匙支撑件2以及钥匙驱动机构，所述钥匙1安装于钥匙支撑件2上并露出所述钥匙1的头部11，所述钥匙驱动机构与所述钥匙1连接并驱动所述钥匙1转动。使用时，只需要一个操作人员目测对准晶圆盒的锁孔，将钥匙1的头部11插入对应的锁孔内，并通过驱动所述钥匙驱动机构带动所述钥匙1转动，可以方便、快捷的实现晶圆盒的开锁工作，不但节省了人力，而且有效提高的工作效率。

较佳的，所述钥匙驱动机构包括驱动单元和传动单元，所述传动单元分别与所述钥匙1和所述驱动单元连接，所述驱动单元经所述传动单元驱动所述钥匙1转动。

较佳的，所述驱动单元包括手柄31、按钮32以及第一弹簧33，所述手柄31间隔设置于所述钥匙支撑件2的一侧，所述手柄31内设有一具有开口311的内腔310，所述按钮32设置于所述内腔310内与所述开口311相对应的位置，所述开口311小于所述按钮32，所述第一弹簧33设置于所述按钮32上远离所述钥匙支撑件2的表面和与所述表面相对的所述手柄31的内壁之间。

较佳的，所述驱动单元还包括一导销34，所述导销34的一端与所述手柄31的内壁固定连接，所述按钮32的中部设有与所述导销34相匹配的销孔，所述导销34的另一端伸入所述销孔内。所述按钮32能够相对所述导销34移动。通过设置导销34，可以使得按钮32沿着指定的方向移动，防止按钮32偏离指定的方向，提高了工具操作的稳定性。

较佳的，在上述的晶圆盒开锁工具中，还包括用于对按钮32起到缓冲作用的缓冲块5，所述缓冲块5设置于所述手柄31的内壁上并与所述按钮32的两端位置相对应。本实施例中，所述缓冲块5一共有四块，分别设置于手柄31内壁上与所述按钮32的上、下表面的两端相对应的位置。通过设置缓冲块，可以起到保护按钮32的作用，以提高工具的使用寿命。

较佳的，所述传动单元包括牵拉绳44和定滑轮42，所述牵拉绳44的一端与所述按钮32固定连接，所述牵拉绳44的另一端与所述钥匙1的尾部固定连接，所述牵拉绳44经所述定滑轮42张紧并转向，所述钥匙支撑件2内设有空腔21，所述钥匙1的尾部安装于所述空腔21内，所述钥匙1的头部11位于所述钥匙支撑件2的外部，所述牵拉绳44在所述按钮32的作用下带动所述钥匙1转动。通过设置牵拉绳44和定滑轮42可以将牵拉绳44的方向改变，在一定程度上能够起到节约空间的作用

较佳的，所述定滑轮42设置于所述空腔21靠近所述手柄31的内壁上，可以使得工具的内部结构经凑。

较佳的，所述传动单元还包括一圆筒43，所述圆筒43位于所述空腔21内，所述圆筒43套固定设于所述钥匙1的尾部外侧，所述牵拉绳44的另一端经所述圆筒43与所述钥匙1的尾部固定连接。由于钥匙1的尾部的外径相对比较小，圆筒43的外径较大，通过在所述钥匙1的尾部外侧套设圆筒43，可以便于牵拉绳44拉动所述圆筒43转动，从而带动所述钥匙1转动。

较佳的，所述传动单元还包括一用于顶住所述钥匙1的第二弹簧44，所述第二弹簧44设置所述钥匙1的尾部与所述空腔21的内壁之间。通过设置第二弹簧44，可以使得钥匙1的头部11始终露在所述钥匙支撑件2的外面，保证其正常开锁。

较佳的，所述钥匙1的纵向与所述按钮32的运动方向平行，可以在一定程度上简化工具的结构和减小其体积。

较佳的，所述钥匙1的数量是两个，两个所述钥匙1间隔安装于钥匙支撑件2上，所述传动单元的数量是两套，分别在所述驱动单元的作用下驱动对应的钥匙1转动。由于晶圆盒上一般有两个锁孔，因此，需要在工具上配置两把钥匙1和两套传动单元。使用时，只需要一个操作人员目测对准晶圆盒的锁孔，将两把钥匙1的头部11插入对应的锁孔内，按动按钮32就可以实现将两把钥匙1的通部转动，可以方便、快捷的实现晶圆盒的开锁工作，不但节省了人力，而且有效提高的工作效率。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种晶圆盒开锁工具，其特征在于，包括钥匙、钥匙支撑件以及钥匙驱动机构，所述钥匙安装于钥匙支撑件上并露出所述钥匙的头部，所述钥匙驱动机构与所述钥匙连接并驱动所述钥匙转动。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒开锁工具，其特征在于，所述钥匙驱动机构包括驱动单元和传动单元，所述传动单元分别与所述钥匙和所述驱动单元连接，所述驱动单元经所述传动单元驱动所述钥匙转动。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒开锁工具，其特征在于，所述驱动单元包括手柄、按钮以及第一弹簧，所述手柄间隔设置于所述钥匙支撑件的一侧，所述手柄内设有一具有开口的内腔，所述按钮设置于所述内腔内与所述开口向对应的位置，所述开口小于所述按钮，所述第一弹簧设置于所述按钮上远离所述钥匙支撑件的表面和与所述表面相对的所述手柄的内壁之间。

4.根据权利要求2所述的晶圆盒开锁工具，其特征在于，所述驱动单元还包括一导销，所述导销的一端与所述手柄的内壁固定连接，所述按钮的中部设有与所述导销相匹配的销孔，所述导销的另一端伸入所述销孔内，所述按钮能够相对所述导销移动。

5.根据权利要求2所述的晶圆盒开锁工具，其特征在于，还包括用于对按钮起到缓冲作用的缓冲块，所述缓冲块设置于所述手柄的内壁上并与所述按钮的两端位置相对应。

6.根据权利要求2所述的晶圆盒开锁工具，其特征在于，所述传动单元包括牵拉绳和定滑轮，所述牵拉绳的一端与所述按钮固定连接，所述牵拉绳的另一端与所述钥匙的尾部固定连接，所述牵拉绳经所述定滑轮张紧并转向，所述钥匙支撑件内设有空腔，所述钥匙的尾部安装于所述空腔内，所述钥匙的头部位于所述钥匙支撑件的外部，所述牵拉绳在所述按钮的作用下带动所述钥匙转动。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒开锁工具，其特征在于，所述传动单元还包括一圆筒，所述圆筒位于所述空腔内，所述圆筒套固定设于所述钥匙的尾部外侧，所述牵拉绳的另一端经所述圆筒与所述钥匙的尾部固定连接。

8.根据权利要求6所述的晶圆盒开锁工具，其特征在于，所述传动单元还包括一用于顶住所述钥匙的第二弹簧，所述第二弹簧设置所述钥匙的尾部与所述空腔的内壁之间。

9.根据权利要求1所述的晶圆盒开锁工具，其特征在于，所述钥匙的纵向与所述按钮的运动方向平行。

10.根据权利要求2~9中任意一项所述的晶圆盒开锁工具，其特征在于，所述钥匙的数量是两个，两个所述钥匙间隔安装于钥匙支撑件上；所述传动单元的数量是两套，分别在所述驱动单元的作用下驱动对应的钥匙转动。