CN109969593A - 一种foup盒自动解锁装置及foup盒 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种foup盒自动解锁装置和一种foup盒。所述foup盒自动解锁装置包括至少两组foup盒自动解锁机构，所述foup盒自动解锁机构安装在foup盒的一支撑板上；每一组foup盒自动解锁机构包括：气缸组件、解锁连接件、钥匙安装座、钥匙、轴承安装座、钥匙支撑基轴、转动轴承。本发明提供的foup盒自动解锁装置的结构合理，解锁出错率低，可靠性好、成本低。可实现foup盒自动解锁，而且降低了出错率低，可靠性好，保证硅片传输效率。

Description

一种foup盒自动解锁装置及foup盒
技术领域
本发明涉及应用于工业领域的自动机械装置技术领域，尤其涉及一种foup盒自动解锁装置及一种foup盒。
背景技术
半导体晶圆在制造过程中会有许多的程序或步骤，而晶圆则会因这些程序或步骤，需要置放于不同的位置以及不同的机器中，因此在工艺中晶圆必须从一处运送至另一处，甚至必须储存一段时间，以配合必要的工艺。其中，晶圆承载装置(Cassette)同时具备储存及运送功能，并且需要适用于各种形式的运输及传送装置，因此在半导体晶圆在制造过程中扮演了极为重要的角色。
半导体制造工厂中，晶圆通常需要在生产线上不同的工艺模块之间进行高效的传输和定位，设备前端装置(Equipment Front End Module，简称EFEM)正是完成这一任务的关键装备，是连接物料搬运系统与晶圆处理系统的桥梁，能够使晶圆在不受污染的条件下被准确的传输。
设备前端装置至少包括用于存储晶圆的晶圆盒(Front Opening UnifiedPod，简称Foup)、用于承载晶圆盒的装载端口(Load Port)以及用于将晶圆从晶圆盒内取出和收纳至晶圆盒内的操作机械手，该装载端口包括开门器和设置在开门器上的承载机构，当半导体生产线上的运输小车移至装载端口前，通过人工或机械将晶圆盒放置到装载端口的承载机构上，然后由开门器执行晶圆盒的开盒动作，进而由操作机械手取出晶圆盒内的晶圆并输送至机台进行相应的制程，待晶圆加工处理后，再由操作机械手将晶圆收纳至晶圆盒内。
随着工业自动化的快速发展，硅片加工行业中，硅片的加工，硅片盒及硅片搬运、取放的自动化程度很高。foup盒的后盖自动解锁是硅片传输重要环节和关节问题，原有的解锁装置采用气缸推动连杆转动两个钥匙转动，从而解锁，此种解锁方法由于一个杆控制两个钥匙，造成出错率高、可靠性差等问题，降低了硅片传输的效率。
现有技术中公开有一种晶圆盒输送装载系统，包括晶圆盒、输送装置和开盒装置。所述盒盖上设置有两个锁孔，所述开盒板上活动连接两个与所述锁孔相对应的所述开锁组件，该两个所述开锁组件穿过所述开盒板与固定设置在所述开盒板后侧的所述第一驱动件传动连接。其具体实施方式中公开，第五驱动件的输出轴直接连接活动件，通过气缸的输出轴伸缩，带动活动件上下移动，进而实现活动件对开盒板的解锁和锁定。这种结构在应用中，无法保证左右两个锁能同步转动，很容易导致机构卡死，无法解锁，可靠性差。
发明内容
有鉴于此，本发明实施例提供了一种foup盒自动解锁装置及一种foup盒。
第一方面，本发明实施例中提供了一种foup盒自动解锁装置，所述foup盒自动解锁装置包括至少两组foup盒自动解锁机构，所述foup盒自动解锁机构安装在foup盒的一支撑板上；每一组foup盒自动解锁机构包括：气缸组件、解锁连接件、钥匙安装座、钥匙、轴承安装座、钥匙支撑基轴、转动轴承，所述轴承安装座固定或可转动地安装在所述支撑板上，所述气缸组件的尾部与所述支撑板连接，所述气缸组件的头部与所述解锁连接件的一端连接，所述解锁连接件的另一端与所述钥匙安装座连接，所述钥匙于所述钥匙安装座连接，所述钥匙安装座安装在所述轴承安装座上。
可选地，在一些实施例中，所述气缸组件的尾部通过销轴与所述支撑板铰接，所述气缸组件的头部与所述解锁连接件的一端固定连接。
可选地，在一些实施例中，所述解锁连接件的另一端与所述钥匙安装座通过销轴铰接。
可选地，在一些实施例中，所述轴承安装座固定在所述支撑板上。
可选地，在一些实施例中，所述钥匙支撑基轴与支撑板通过螺钉固定。
可选地，在一些实施例中，所述钥匙安装座通过所述转动轴承与所述钥匙支撑基轴可转动地连接。
可选地，在一些实施例中，所述foup盒自动解锁装置由两组foup盒自动解锁机构组成，这两组foup盒自动解锁机构呈中心对称分布。
可选地，在一些实施例中，所述气缸组件包括气缸伸缩杆，所述解锁连接件与所述气缸伸缩杆的连接可调节，从而可调节所述气缸伸缩杆的长短。
第二方面，本发明还提供了一种foup盒，所述foup盒的内部设置有本发明所提供的foup盒自动解锁装置。
从以上技术方案可以看出，本发明实施例具有以下优点：
本发明提供的foup盒自动解锁装置的结构合理，解锁出错率低，可靠性好、成本低。可实现foup盒自动解锁，而且降低了出错率低，可靠性好，保证硅片传输效率。
附图说明
图1为根据本发明一实施例的foup盒的结构示意图；
图2为根据本发明一实施例的foup盒自动解锁装置的俯视图示意图；
图3为根据本发明一实施例的钥匙中心结构的剖视图示意图。
附图标记：
200、foup盒，210、foup盒后盖紧固锁，100、foup盒自动解锁装置，10、foup盒自动解锁机构，1、支撑板，2、气缸组件，3、解锁连接件，4、钥匙安装座，5、钥匙，6、轴承安装座，7、钥匙支撑基轴，8、转动轴承。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的实施例能够以除了在这里图示或描述的内容以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
本发明实施例中提供的foup盒解锁装置，结合图2所示，给出了本发明一实施例的foup盒自动解锁装置100的俯视图。结合图3所示，给出了本发明一实施例的钥匙中心结构的剖视图示意图。所述foup盒自动解锁装置100包括至少两组foup盒自动解锁机构10，所述foup盒自动解锁机构10安装在foup盒200的一支撑板1上；每一组foup盒自动解锁机构10包括：气缸组件2、解锁连接件3、钥匙安装座4、钥匙5、轴承安装座6、钥匙支撑基轴7、转动轴承8，所述轴承安装座6固定或可转动地安装在所述支撑板1上，所述气缸组件2的尾部与所述支撑板连接，所述气缸组件2的头部与所述解锁连接件3的一端连接，所述解锁连接件3的另一端与所述钥匙安装座7连接，所述钥匙5于所述钥匙安装座7连接，所述钥匙安装座7安装在所述轴承安装座6上。进一步优选地，本发明所提供的foup盒自动解锁装置100的工作过程可具体描述为：在工作过程中，当foup盒200固定，钥匙5进入foup盒200盖的锁孔，控制气缸组件2的气缸连接杆201的伸长，然后通过解锁连接件3驱动钥匙4安装座转动，使钥匙安装座4上固连的钥匙5转动90°，两组foup盒自动解锁机构10同时旋转，将foup盒200的盖锁打开，实现自动解锁功能。
本发明的至少两组foup盒自动解锁机构10的每组foup盒自动解锁机构10是各自独立的foup盒自动解锁机构10，其各个foup盒自动解锁机构10之间是呈中心对称排布的，所占空间非常小。优选地，在本发明中，钥匙5和气缸连接杆201是铰接的，可直接通过气缸连接杆201驱动钥匙转动。而现有技术存在有通过槽口和销配合，这种技术适应性能差，存在死点，容易卡；现有技术中还有通过气缸驱动一个活动件上下移动来开锁，这种结构在应用中无法保证左右两个锁能同步转动，一旦不同步，很容易导致机构卡死，无法解锁，并且在现实应用中也证明了现有的这种解锁结构可靠性差。
在具体的实施例中，所述气缸组件2的尾部通过销轴与所述支撑板1铰接，所述气缸组件2的头部与所述解锁连接件3的一端固定连接。
在具体的实施例中，所述解锁连接件3的另一端与所述钥匙安装座7通过销轴铰接。
在具体的实施例中，所述轴承安装座6固定在所述支撑板1上。
在具体的实施例中，所述钥匙支撑基轴7与支撑板1通过螺钉固定。
在具体的实施例中，所述钥匙安装座7通过所述转动轴承与所述钥匙支撑基轴可转动地连接。
在具体的实施例中，所述foup盒自动解锁装置100由两组foup盒自动解锁机构10组成，这两组foup盒自动解锁机构10相互之间呈中心对称分布。本发明利用两个气缸控制两个锁的开启，解决了原有解锁装置出错率高、可靠性差的问题，提高foup盒的自动解锁的成功率，可靠性强，适应性更高。
在具体的实施例中，所述气缸组件2包括气缸伸缩杆，可根据实际情况进行调节，所述解锁连接件3与所述气缸伸缩杆的连接可调节，从而可调节所述气缸伸缩杆的长短。
具体地,本发明中的自动解锁装置100安装在支撑板1上，轴承安装座6固定在支撑板1上，钥匙支撑基轴7与支撑板1通过螺钉固定，钥匙安装座4通过转动轴承8与钥匙支撑基轴7转动连接，钥匙5与钥匙安装座4通过螺钉固定连接，解锁连接件3与钥匙安装座4通过销轴铰接，解锁连接件3与气缸组件2的头部(前段)固定连接，气缸组件2的尾部与支撑板1通过销轴铰接。
第二方面，如图1所示为根据本发明一实施例的一种foup盒200的结构示意图，所述foup盒200的内部设置有本发明所提供的foup盒自动解锁装置100。
从以上技术方案可以看出，本发明实施例具有以下优点：
本发明提供的foup盒自动解锁装置的结构合理，解锁出错率低，可靠性好、成本低。可实现foup盒自动解锁，而且降低了出错率低，可靠性好，保证硅片传输效率。
所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统，装置和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统，装置和方法，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。
本领域普通技术人员可以理解上述实施例的各种方法中的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件来完成，该程序可以存储于一计算机可读存储介质中，存储介质可以包括：只读存储器(ROM，Read Only Memory)、随机存取存储器(RAM，RandomAccess Memory)、磁盘或光盘等。
以上对本发明所提供的一种foup盒自动解锁装置及foup盒进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本发明实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (9)

1.一种foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述foup盒自动解锁装置包括至少两组foup盒自动解锁机构，所述foup盒自动解锁机构安装在foup盒的一支撑板上；每一组foup盒自动解锁机构包括：气缸组件、解锁连接件、钥匙安装座、钥匙、轴承安装座、钥匙支撑基轴、转动轴承，所述轴承安装座固定或可转动地安装在所述支撑板上，所述气缸组件的尾部与所述支撑板连接，所述气缸组件的头部与所述解锁连接件的一端连接，所述解锁连接件的另一端与所述钥匙安装座连接，所述钥匙于所述钥匙安装座连接，所述钥匙安装座安装在所述轴承安装座上。
2.根据权利要求1所述的foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述气缸组件的尾部通过销轴与所述支撑板铰接，所述气缸组件的头部与所述解锁连接件的一端固定连接。
3.根据权利要求1所述的foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述解锁连接件的另一端与所述钥匙安装座通过销轴铰接。
4.根据权利要求1所述的foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述轴承安装座固定在所述支撑板上。
5.根据权利要求1所述的foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述钥匙支撑基轴与支撑板通过螺钉固定。
6.根据权利要求1所述的foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述钥匙安装座通过所述转动轴承与所述钥匙支撑基轴可转动地连接。
7.根据权利要求1所述的foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述foup盒自动解锁装置由两组foup盒自动解锁机构组成，这两组foup盒自动解锁机构呈中心对称分布。
8.根据权利要求1所述的foup盒自动解锁装置，其特征在于，所述气缸组件包括气缸伸缩杆，所述解锁连接件与所述气缸伸缩杆的连接可调节，从而可调节所述气缸伸缩杆的长短。
9.一种foup盒，其特征在于，所述foup盒的内部设置有如权利要求1-8任一项所述的foup盒自动解锁装置。
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