CN202705453U - 蒸发舟及立式蒸发设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种蒸发舟，适于设置在呈真空环境的密封腔体内并用于对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀，其中，基板呈竖直的设置，而蒸发舟包括沿竖直方向设置并呈中空结构的蒸发舟本体，中空结构形成一端贯穿蒸发舟本体一侧的密封空腔，密封空腔的开口与基板相对应，且密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料盛放用的盛放部，盛放部具有供蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口，侧蒸发出口与基板相对应。本实用新型蒸发舟能确保大面积的基板的对位精度及提高该基板镀膜的均匀性。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种蒸发舟，尤其涉及一种对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀的蒸发舟及立式蒸发设备。
背景技术
OLED（英文全称为：Organic Light-Emitting Diode，中文名称为：有机发光二极管）由于具备轻薄（面板厚度一般小于2毫米）、省电（操作电压一般为3伏至10伏之间）等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，且是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度。因此，OLED的显示技术是将来的显示技术的发展方向。
众所周知，在OLED的制造过程中，会涉及到成千上万道工序，而OLED的基板镀膜工序就是成千上万道工序中的一种。其中，在OLED的基板镀膜过程中，会借助到蒸发舟对置于蒸发舟上的蒸发材料进行加热蒸发，使蒸发材料受热产生蒸镀物质并镀于基板上。
但是，请见图1，现有的蒸发舟300是水平地置于密封腔体的真空腔内的，而基板200也是水平地置于密封腔体的真空腔内并位于蒸发舟300的正上方，且基板200通过固定装置500对置于蒸发舟300正上方的基板200之四周进行固定，这使得基板200因四周被固定而导致该基板200的重心远离基板200的边缘处，且在地球重力作用下使基板200产生变形，该变形在基板200的中心处更明显，尤其对大面积的基板200来说，此种情形更为突出；一方面影响到基板200的对位精度，另一方面使得基板200的膜厚因基板200的变形而导致不均匀，从而影响到基板200的镀膜质量。
同样，在太阳能电池板的基板镀膜过程中，也存在上述的缺陷。
因此，急需要一种蒸发舟及立式蒸发设备来克服上述的缺陷。
实用新型内容
本实用新型之一目的在于提供一种能确保大面积基板的对位精度并能提高该基板镀膜均匀性的蒸发舟。
本实用新型之另一目的在于提供一种能确保大积面基板的对位精度并能提高该基板镀膜均匀性的立式蒸发设备。
为实现上述的目的，本实用新型提供了一种蒸发舟，适于设置在呈真空环境的密封腔体内并对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀，其中，该基板呈竖直的设置，而所述蒸发舟包括沿竖直方向设置并呈中空结构的蒸发舟本体。所述中空结构形成一端贯穿所述蒸发舟本体一侧的密封空腔，所述密封空腔的开口与所述基板相对应，且所述密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口，所述侧蒸发出口与所述基板相对应。
较佳地，本实用新型蒸发舟还包括沿竖直方向设置并与所述蒸发舟本体相配合的蒸发舟盖体，所述蒸发舟盖体位于所述基板与所述蒸发舟本体之间，且所述蒸发舟盖体沿竖直方向开设有若干间隔开并与所述基板相对应的蒸发孔，所述盛放部内的蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质穿过所述蒸发孔进而蒸镀于所述基板上。其中，借助蒸发舟盖体能屏蔽蒸发舟本体处的部分温度对基板镀膜的影响，从而能进一步地提高基板镀膜的均匀性；同时，借助蒸发舟本体上的蒸发孔，便于盛放部内的蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质先穿过蒸发舟盖体后才均匀地沉积于基板上，并可以通过控制蒸发孔的位置密度达到调整蒸镀物质沉积在基板上的膜厚。
较佳地，所述密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开的分隔片，所述分隔片与所述密封空腔的内壁共同形成所述盛放部，相邻两所述分隔片之间以及所述分隔片中最高的分隔片与所述密封空腔对应的内壁之间共同形成所有所述侧蒸发出口，以使得盛放部的形成简单并节省材料。
较佳地，所述立式蒸发舟还配置有为蒸发材料提供蒸发能量的加热组件，所述加热组件包括加热丝及第一绝缘套排，所述第一绝缘套排与所述蒸发舟本体的远离所述密封空腔之开口的一侧邻设，且所述第一绝缘套排围绕所述蒸发舟本体，所述加热丝的一端依次缠绕于所述第一绝缘套排中的第一绝缘套上并与外界电源的正极电性连接，所述加热丝的另一端与外界电源的负极电性连接，使得加热丝能为蒸发舟本体各处的盛放部提供均匀的加热温度，从而确保每个盛放部内的蒸发材料的蒸发速度一致性。具体地，所述加热组件还包括第二绝缘套排，所述第二绝缘套排围绕所述第一绝缘套排并使该第一绝缘套排位于所述蒸发舟本体与所述第二绝缘套排之间，所述加热丝呈轮流的缠绕于所述第一绝缘套排中的第一绝缘套和第二绝缘套排中的第二绝缘套上，能进一步地确保每一盛放部内的蒸发材料的蒸发速度一致性。
本实用新型立式蒸发设备，适用于对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀，其中，本实用新型立式蒸发设备包括密封腔体、立式蒸发舟及加热组件。所述密封腔体具有一密封的真空腔，所述基板竖直的设置并位于所述真空腔的一侧内。所述立式蒸发舟位于所述真空腔的另一侧内，且所述立式蒸发舟包括沿竖直方向设置并呈中空结构的蒸发舟本体，所述中空结构形成一端贯穿所述蒸发舟本体一侧的密封空腔，所述密封空腔的开口与所述基板相对应，且所述密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口，所述侧蒸发出口与所述基板相对应。所述加热组件为所述盛放部内的蒸发材料提供蒸发能量，且所述加热组件与所述蒸发舟本体邻设。
较佳地，所述立式蒸发舟还包括沿竖直方向设置并与所述蒸发舟本体相配合的蒸发舟盖体，所述蒸发舟盖体位于所述基板与所述蒸发舟本体之间，且所述蒸发舟盖体沿竖直方向开设有若干间隔开并与所述基板相对应的蒸发孔，所述盛放部内的蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质穿过所述蒸发孔进而蒸镀于所述基板上。其中，借助蒸发舟盖体能屏蔽蒸发舟本体处的部分温度对基板镀膜的影响，从而能进一步地提高基板镀膜的均匀性；同时，借助蒸发舟本体上的蒸发孔，便于盛放部内的蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质先穿过蒸发舟盖体后才均匀地沉积于基板上，并可以通过控制蒸发孔的位置密度达到调整蒸镀物质沉积在基板上的膜厚。
较佳地，所述密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开的分隔片，所述分隔片与所述密封空腔的内壁共同形成所述盛放部，相邻两所述分隔片之间以及所述分隔片中最高的分隔片与所述密封空腔对应的内壁之间共同形成所有所述侧蒸发出口，以使得盛放部的形成简单并节省材料。
较佳地，所述加热组件包括加热丝及第一绝缘套排，所述第一绝缘套排与所述蒸发舟本体的远离所述密封空腔之开口的一侧邻设，且所述第一绝缘套排围绕所述蒸发舟本体，所述加热丝的一端依次缠绕于所述第一绝缘套排中的第一绝缘套上并与外界电源的正极电性连接，所述加热丝的另一端与外界电源的负极电性连接，使得加热丝能为蒸发舟本体各处的盛放部提供均匀的加热温度，从而确保每个盛放部内的蒸发材料的蒸发速度一致性。具体地，所述加热组件还包括第二绝缘套排，所述第二绝缘套排围绕所述第一绝缘套排并使该第一绝缘套排位于所述蒸发舟本体与所述第二绝缘套排之间，所述加热丝呈轮流的缠绕于所述第一绝缘套排中的第一绝缘套和第二绝缘套排中的第二绝缘套上，能进一步地确保每一盛放部内的蒸发材料的蒸发速度一致性。
较佳地，所述密封腔体内具有与外界液冷系统相连通的液冷通道，该液冷通道一方面能降低热辐射对密封腔体外部的影响，另一方面在停止立式蒸发舟工作时能够加速立式蒸发舟的降温速度，相应地缩短对本实用新型立式蒸发设备的维护时间。
较佳地，本实用新型立式蒸发设备还包括隔热机构，所述隔热机构具有屏蔽板，所述屏蔽板设置于所述真空腔内并围绕所述加热组件，一方面提高加热组件对蒸发舟本体的热利用率，另一方面避免热辐射对不需要加热的部位进行加热。
与现有技术相比，由于本实用新型大面积的基板呈竖直的设置，使基板的重心与基板的边缘相重合，防止大面积基板的变形，从而提高了基板的对位精度，为基板镀膜的均匀性创造良好的条件；同时，由于本实用新型的中空结构形成一端贯穿蒸发舟本体一侧的密封空腔，该密封空腔的开口与基板相对应，且密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料盛放用的盛放部，盛放部具有供蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口，该侧蒸发出口为本实用新型蒸发舟进行侧向蒸镀创造条件，从而使得本实用新型蒸发舟因具有多个与基板相对应的侧蒸发出口而使盛放部内的蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质能均匀沉积于基板上，从而提高了大面积基板膜厚的均匀性。同时，由于本实用新型立式蒸发设备具有本实用新型的立式蒸发舟，故使得本实用新型立式蒸发设备能确保大积面基板的对位精度并能提高该基板镀膜均匀性。
附图说明
图1是现有的蒸发舟对大面积基板进行镀膜的结构示意图。
图2是本实用新型立式蒸发设备的结构示意图。
图3是本实用新型蒸发舟对大面积基板进行蒸镀的结构示意图。
图4是本实用新型蒸发舟之蒸发舟本体的立体结构图。
具体实施方式
为了详细说明本实用新型的技术内容、构造特征，以下结合实施方式并配合附图作进一步说明。
请参阅图2至图4，本实用新型立式蒸发设备100用于对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板200进行侧向蒸镀，其中，本实用新型立式蒸发设备100包括密封腔体10、立式蒸发舟20及加热组件30。所述密封腔体10具有一密封的真空腔11，该真空腔11为基板200镀膜提供真空环境；所述基板200竖直的设置并位于所述真空腔11的左侧内，且所述基板200通过固定装置50固定于真空腔11内。所述立式蒸发舟20位于所述真空腔11的右侧内，且所述立式蒸发舟20包括沿竖直方向设置并呈中空结构的蒸发舟本体21，所述中空结构形成左端贯穿所述蒸发舟本体21左侧的密封空腔22，该密封空腔22的开口与所述基板200相对应，且该密封空腔22内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料60盛放用的盛放部22b，具体地，该盛放部22b的个数是由所要镀膜基板200的面积所决定的，也是本领域普通技术人员根据需要所熟知的，故在此不再对盛放部22b的数量进行限定，且盛放部22b具有供蒸发材料60在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口22c，该侧蒸发出口22c与所述基板200相对应。而所述加热组件30为所述盛放部22b内的蒸发材料60提供蒸发能量，且所述加热组件30与所述蒸发舟本体21邻设。
其中，为了能降低热辐射对密封腔体10外部的影响，并能在停止本实用新型的立式蒸发舟20工作时能够加速立式蒸发舟20的降温速度，相应地缩短对本实用新型立式蒸发设备100的维护时间，故所述密封腔体10内具有与外界液冷系统相连通的液冷通道12，该液冷通道12是围绕下面提到的加热组件30中的第二绝缘套排33设置的，且该液冷通道12可以是由开设于密封腔体10内的通槽所形成的，也可以是由埋设于密封腔体10内的管道所形成的，而在本实施例中，液冷通道12就是由埋设于密封腔体10内的管道所形成，以便于液冷通道12与外界液冷系统相连通；为了能屏蔽蒸发舟本体21处的部分温度对基板200镀膜的影响，从而能进一步地提高基板200镀膜的均匀性，并便于盛放部22b内的蒸发材料60在蒸发时产生的蒸镀物质能均匀地沉积于基板200上，故所述立式蒸发舟20还包括沿竖直方向设置并与所述蒸发舟本体21相配合的蒸发舟盖体23，该蒸发舟盖体23位于所述基板200与所述蒸发舟本体21之间，且所述蒸发舟盖体23沿竖直方向开设有若干间隔开并与所述基板200相对应的蒸发孔23a，所述盛放部22b内的蒸发材料60在蒸发时产生的蒸镀物质穿过所述蒸发孔23a进而蒸镀于所述基板200上，使操作人员能通过控制蒸发孔23a的位置密度达到调整蒸镀物质沉积在基板200上的膜厚；为了能提高加热组件30对蒸发舟本体21的热利用率，并能避免热辐射对不需要加热的部位进行加热，故本实用新型立式蒸发设备100还设置有隔热机构，该隔热机构具有屏蔽板40，该屏蔽板40设置于所述真空腔11内，且该屏蔽板40围绕所述加热组件30；具体地，在本实施例中，屏蔽板40是围绕下面提到的加热组件30中的第二绝缘套排33的，且该屏蔽板40包围于第二绝缘套排33的右侧、上侧、下侧、前侧及后侧的，以提高屏蔽板40的隔热效果。更具体地，如下：
较优者，所述密封空腔22内沿竖直方向设置有若干间隔开的分隔片221b，该分隔片221b与所述密封空腔22的内壁222b共同形成所述盛放部22b，相邻两所述分隔片221b之间以及所述分隔片221b中最高的分隔片221b与所述密封空腔22对应的内壁（即是顶壁）之间共同形成所有所述侧蒸发出口22c，以使得盛放部22b的形成简单并节省材料。
同时，所述加热组件30包括加热丝31及第一绝缘套排32，该第一绝缘套排32与所述蒸发舟本体21的远离所述密封空腔22之开口的一侧邻设（即是密封空腔22的右侧），且该第一绝缘套排32围绕所述蒸发舟本体21；具体地，在本实施例中，第一绝缘套排32是围绕蒸发舟本体21的右侧、上则及下侧的，当然，第一绝缘套排32还可以只围绕蒸发舟本体21的右侧。而所述加热丝31的上端依次缠绕于所述第一绝缘套排32中的第一绝缘套32a上并与外界电源的正极电性连接，所述加热丝31的下端与外界电源的负极电性连接，以使得加热丝31能为蒸发舟本体21各处的盛放部22b提供均匀的加热温度，从而确保每个盛放部22b内的蒸发材料60的蒸发速度一致性。较优是，所述加热组件30还包括第二绝缘套排33，该第二绝缘套排33围绕所述第一绝缘套排32并使该第一绝缘套排32位于所述蒸发舟本体21与所述第二绝缘套排33之间；具体地，在本实施例中，该第二绝缘套排33是围绕所述第一绝缘套排32的右则、上侧及下侧的，当然，该第二绝缘套排33还可以只围绕所述第一绝缘套排32的右侧，且所述加热丝31呈轮流的缠绕于所述第一绝缘套排32中的第一绝缘套32a和第二绝缘套排33中的第二绝缘套33a上，以进一步地确保每一盛放部22b内的蒸发材料60的蒸发速度一致性。
结合图2至图4，对本实用新型立式蒸发设备的工作原理做详细的说明：当基板200置于密封腔体10的真空腔11内，且基板200与立式蒸发舟20相对应时，此时为加热组件30中的加热丝31通电，使加热丝31为盛放部22b内的蒸发材料60提供蒸发时所需要的热量，并使盛放部22b内的蒸发材料60被加热蒸发形成蒸镀物质，该蒸镀物质依次地通过侧蒸发出口22c和蒸发舟盖体23上的蒸发孔23a后便沉积于基板200上，该蒸镀物质的流向如图2中波浪曲线所示，从而完成本实用新型立式蒸发设备100对基板200进行均匀镀膜的目的。其中，在基板200镀膜过程中，操作人员根据实际需要而往液冷通道12内输送冷却液以对密封腔体10提供冷却作用，从而能进一步地确保基板200镀膜的均匀性；同时，在基板200镀膜过程中，操作人员还可以根据实际需要而将蒸发舟本体21取出来，使盛放部22b内的蒸发材料60被加热蒸发后产生的蒸镀物质只需通过侧蒸发出口22c便可沉积于基板200上，一样能达到基板200镀膜的均匀性目的，而此时的蒸镀物质的流向如图3中波浪曲线所示。
值得注意者，上述提到的左端、上端、下端、左侧、右侧、上侧、下侧、前侧及后侧均是以图2为基准而建立的，同时，由于本实用新型蒸发舟20的结构已在本实用新型立式蒸发设备100中得到详细的描述，故在此不再对本实用新型蒸发舟20的结构做重复的描述。
与现有技术相比，由于本实用新型大面积的基板200呈竖直的设置，使基板200的重心与基板200的边缘相重合，防止大面积基板200的变形，从而提高了基板200的对位精度，为基板200镀膜的均匀性创造良好的条件；同时，由于本实用新型的中空结构形成一端贯穿蒸发舟本体21一侧的密封空腔22，该密封空腔22的开口与基板200相对应，且密封空腔22内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料60盛放用的盛放部22b，盛放部22b具有供蒸发材料60在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口22c，该侧蒸发出口22c为本实用新型蒸发舟20进行侧向蒸镀创造条件，从而使得本实用新型蒸发舟20因具有多个与基板200相对应的侧蒸发出口22c而使盛放部22b内的蒸发材料60在蒸发时产生的蒸镀物质能均匀沉积于基板200上，从而提高了大面积基板200膜厚的均匀性。同时，由于本实用新型立式蒸发设备100具有本实用新型的立式蒸发舟20，故使得本实用新型立式蒸发设备100能确保大积面基板200的对位精度并能提高该基板200镀膜均匀性。
以上所揭露的仅为本实用新型的较佳实例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属于本实用新型所涵盖的范围。
Claims (12)
1.一种蒸发舟，适于设置在呈真空环境的密封腔体内并对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀，其特征在于，该基板呈竖直的设置，而所述蒸发舟包括沿竖直方向设置并呈中空结构的蒸发舟本体，所述中空结构形成一端贯穿所述蒸发舟本体一侧的密封空腔，所述密封空腔的开口与所述基板相对应，且所述密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口，所述侧蒸发出口与所述基板相对应。
2.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，还包括沿竖直方向设置并与所述蒸发舟本体相配合的蒸发舟盖体，所述蒸发舟盖体位于所述基板与所述蒸发舟本体之间，且所述蒸发舟盖体沿竖直方向开设有若干间隔开并与所述基板相对应的蒸发孔，所述盛放部内的蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质穿过所述蒸发孔进而蒸镀于所述基板上。
3.根据权利要求1或2所述的蒸发舟，其特征在于，所述密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开的分隔片，所述分隔片与所述密封空腔的内壁共同形成所述盛放部，相邻两所述分隔片之间以及所述分隔片中最高的分隔片与所述密封空腔对应的内壁之间共同形成所有所述侧蒸发出口。
4.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，所述蒸发舟还配置有为蒸发材料提供蒸发能量的加热组件，所述加热组件包括加热丝及第一绝缘套排，所述第一绝缘套排与所述蒸发舟本体的远离所述密封空腔之开口的一侧邻设，且所述第一绝缘套排围绕所述蒸发舟本体，所述加热丝的一端依次缠绕于所述第一绝缘套排中的第一绝缘套上并与外界电源的正极电性连接，所述加热丝的另一端与外界电源的负极电性连接。
5.根据权利要求4所述的蒸发舟，其特征在于，所述加热组件还包括第二绝缘套排，所述第二绝缘套排围绕所述第一绝缘套排并使该第一绝缘套排位于所述蒸发舟本体与所述第二绝缘套排之间，所述加热丝呈轮流的缠绕于所述第一绝缘套排中的第一绝缘套和第二绝缘套排中的第二绝缘套上。
6.一种立式蒸发设备，适用于对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀，其特征在于，所述立式蒸发设备包括：
密封腔体，所述密封腔体具有一密封的真空腔，所述基板竖直的设置并位于所述真空腔的一侧内；
立式蒸发舟，所述立式蒸发舟位于所述真空腔的另一侧内，且所述立式蒸发舟包括沿竖直方向设置并呈中空结构的蒸发舟本体，所述中空结构形成一端贯穿所述蒸发舟本体一侧的密封空腔，所述密封空腔的开口与所述基板相对应，且所述密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口，所述侧蒸发出口与所述基板相对应；以及
为所述盛放部内的蒸发材料提供蒸发能量的加热组件，所述加热组件与所述蒸发舟本体邻设。
7.根据权利要求6所述的立式蒸发设备，其特征在于，所述立式蒸发舟还包括沿竖直方向设置并与所述蒸发舟本体相配合的蒸发舟盖体，所述蒸发舟盖体位于所述基板与所述蒸发舟本体之间，且所述蒸发舟盖体沿竖直方向开设有若干间隔开并与所述基板相对应的蒸发孔，所述盛放部内的蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质穿过所述蒸发孔进而蒸镀于所述基板上。
8.根据权利要求6或7所述的立式蒸发设备，其特征在于，所述密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开的分隔片，所述分隔片与所述密封空腔的内壁共同形成所述盛放部，相邻两所述分隔片之间以及所述分隔片中最高的分隔片与所述密封空腔对应的内壁之间共同形成所有所述侧蒸发出口。
9.根据权利要求6所述的立式蒸发设备，其特征在于，所述加热组件包括加热丝及第一绝缘套排，所述第一绝缘套排与所述蒸发舟本体的远离所述密封空腔之开口的一侧邻设，且所述第一绝缘套排围绕所述蒸发舟本体，所述加热丝的一端依次缠绕于所述第一绝缘套排中的第一绝缘套上并与外界电源的正极电性连接，所述加热丝的另一端与外界电源的负极电性连接。
10.根据权利要求9所述的立式蒸发设备，其特征在于，所述加热组件还包括第二绝缘套排，所述第二绝缘套排围绕所述第一绝缘套排并使该第一绝缘套排位于所述蒸发舟本体与所述第二绝缘套排之间，所述加热丝呈轮流的缠绕于所述第一绝缘套排中的第一绝缘套和第二绝缘套排中的第二绝缘套上。
11.根据权利要求6所述的立式蒸发设备，其特征在于，所述密封腔体内具有与外界液冷系统相连通的液冷通道。
12.根据权利要求6所述的立式蒸发设备，其特征在于，还包括隔热机构，所述隔热机构具有屏蔽板，所述屏蔽板设置于所述真空腔内并围绕所述加热组件。
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