CN202685122U - 一种蓝宝石工件粘胶台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于蓝宝石加工技术领域，具体涉及一种蓝宝石工件粘胶台。包含操作台面，包含一个垂直台柱；定位装置，用于调整工件装置位置的装置；定向装置，用于晶棒晶向角度测向的装置；工件装置，用于固定蓝宝石晶棒的装置；所述定向装置包括固定在三维笛卡尔坐标系主轴上的三个千分表。本实用新型同样能实现蓝宝石晶棒的定向，同时结构简单方便，成本低廉，可以同时进行多个方向的晶棒定向，省时省力。
Description
技术领域
本实用新型属于蓝宝石加工技术领域，具体涉及一种蓝宝石工件粘胶台。
背景技术
蓝宝石硬度高、熔点高、透光性好，化学性能稳定，广泛应用于机械、光学、信息等高技术领域。人工生长的蓝宝石具有很好的耐磨性，硬度仅次于金刚石达到莫氏9级。由于蓝宝石硬度高而且脆性大，故对其进行机械加工非常困难，尤其是GaN生长的蓝宝石衬底片，其精密加工技术更是复杂，是当今重点研究的课题之一。
蓝宝石衬底晶片是LED产业链的核心环节，以往这种产品的制造技术都被国外公司垄断，其关键技术和专利多掌握在美、日大厂手中，为迅速切入该领域，国内企业大多只能以“加工模式”与外资合作，购买外资提供的技术和设备后组织生产。
在蓝宝石上切割设备切割之前，需要将蓝宝石晶棒固定在工件板上形成切割工件才能进行单线或多线切割。蓝宝石晶棒粘胶和硅棒粘胶不同处在于，蓝宝石切割时有晶向角度要求，它的偏差需要控制在0.1度以内，所以在粘胶时蓝宝石晶棒与工件板的平行度和晶棒端面垂直度要求比较高。
现有的蓝宝石粘胶台是通过安装X光定向的方法来调整晶棒位置，需要多个方向进行多次定向，费时费工，同时价格非常昂贵，阻碍其推广应用。
发明内容
为解决上述现有技术存在的技术问题，本实用新型提供了一种蓝宝石工件粘胶台，同样能实现蓝宝石晶棒的定向，同时结构简单方便，成本低廉，可以同时进行多个方向的晶棒定向，省时省力。
本实用新型的具体技术方案是：
一种蓝宝石工件粘胶台，其特征在于所述粘胶台包含
操作台面，包含一个垂直台柱；
定位装置，用于调整工件装置位置的装置；
定向装置，用于晶棒晶向角度测向的装置；
工件装置，用于固定蓝宝石晶棒的装置；
所述定向装置包括固定在三维笛卡尔坐标系主轴上的三个千分表。
所述定位装置包括
水平位置调整装置，包含一侧边缘抵靠操作台面垂直台柱上的粘胶平台，粘胶平台两侧边缘设有用于调整晶棒与工件板平行度的位移调整部件；
垂直位置调整装置，包含设于操作台面垂直台柱上的垂直调整横梁，垂直调整横梁两端设有用于调整晶棒垂直度的调整螺丝。
所述工件装置，从上至下为蓝宝石晶棒、树脂板、工件板，工件板卡接于粘胶平台。
所述垂直位置调整装置还包括三个水平位置可调的固定旋钮。
所述水平位置调整装置包括沿台柱侧的水平调整横梁及另一侧边角的限位块，限位块设有用于调整限位块与粘胶平台相对位置的微调螺丝。
所述操作台面含有三条相互两两垂直导轨，千分表固定于导轨的滑块上。
一种蓝宝石工件粘胶固定方法，其特征在于该方法包括以下步骤：
A、将蓝宝石工件放置在工件板上，根据千分表数据，用水平位置调整装置调整调整晶棒与工件板平行度，然后用锁紧螺丝固定；
B、 根据千分表数据，用垂直位置调整装置调整晶棒垂直度并固定位置；
C、在树脂板和工件底部涂胶，用固定旋钮紧固。
附图说明
图1为本实用新型蓝宝石工件粘胶台结构示意图。
其中，晶棒1，树脂板2，工件板3，粘胶平台4，限位块5，水平调整横梁6，固定旋钮7A，固定旋钮7B，固定旋钮7C，滑块8，滑块9，滑块10，导轨11A，导轨11B，导轨11C，垂直调整横梁12，锁紧螺丝13A，锁紧螺丝13B，微调螺丝51，操作台面100，台柱101，调整螺丝121。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步的描述。
如图1所示，蓝宝石工件粘胶台含有操作台面100，操作台面100上设有一个垂直台柱101，操作台面100上还含有三条相互两两垂直导轨11A、11B和11C，千分表固定于导轨的滑块8、9和10上。
工件装置从上至下为蓝宝石晶棒1、树脂板2、工件板3，工件板3卡接于粘胶平台4中部。
水平位置调整装置包含一侧边缘抵靠操作台面100垂直台柱101上的粘胶平台4，水平位置调整装置包括沿台柱侧的水平调整横梁6及另一侧边角的限位块5，限位块5设有用于调整限位块5与粘胶平台4相对位置的微调螺丝51。
垂直位置调整装置，包含设于操作台面100垂直台柱101上的垂直调整横梁12，垂直调整横梁12两端设有用于调整晶棒垂直度的调整螺丝121；垂直位置调整装置还包括三个水平位置可调的固定旋钮7A、7B和7C，一般水平固定位置为两端及中部，起到均匀受力的作用。
Claims (6)
1.一种蓝宝石工件粘胶台，其特征在于所述粘胶台包含
操作台面，包含一个垂直台柱；
定位装置，用于调整工件装置位置的装置；
定向装置，用于晶棒晶向角度测向的装置；
工件装置，用于固定蓝宝石晶棒的装置；
所述定向装置包括固定在三维笛卡尔坐标系主轴上的三个千分表。
2.根据权利要求1所述蓝宝石工件粘胶台，其特征在于所述定位装置包括
水平位置调整装置，包含一侧边缘抵靠操作台面垂直台柱上的粘胶平台，粘胶平台两侧边缘设有用于调整晶棒与工件板平行度的位移调整部件；
垂直位置调整装置，包含设于操作台面垂直台柱上的垂直调整横梁，垂直调整横梁两端设有用于调整晶棒垂直度的调整螺丝。
3.根据权利要求1所述蓝宝石工件粘胶台，其特征在于所述工件装置，从上至下为蓝宝石晶棒、树脂板、工件板，工件板卡接于粘胶平台。
4.根据权利要求2所述蓝宝石工件粘胶台，其特征在于所述垂直位置调整装置还包括三个水平位置可调的固定旋钮。
5.根据权利要求1所述蓝宝石工件粘胶台，其特征在于所述操作台面含有三条相互两两垂直导轨，千分表固定于导轨的滑块上。
6.根据权利要求2所述蓝宝石工件粘胶台，其特征在于所述水平位置调整装置包括沿台柱侧的水平调整横梁及另一侧边角的限位块，限位块设有用于调整限位块与粘胶平台相对位置的微调螺丝。
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| CN 201220328176 CN202685122U (zh) | 2012-07-09 | 2012-07-09 | 一种蓝宝石工件粘胶台 |
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Cited By (3)
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| CN102785298A (zh) * | 2012-07-09 | 2012-11-21 | 浙江上城科技有限公司 | 一种蓝宝石工件粘胶台 |
| CN105171938A (zh) * | 2015-09-19 | 2015-12-23 | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 | c向蓝宝石晶棒a向平边的快速确定与加工方法 |
| CN107030911A (zh) * | 2017-05-15 | 2017-08-11 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 | 一种用多线切割机二次切割硅片的水平测量方法及工装 |
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