CN202626293U - 一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型目的一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，包括依次设置的承载室、三个缓冲室、两个以上沉积室以及卸载室；其中，所述承载室和所述卸载室分别用于装载和卸载承载盘，所述缓冲室具隔离两种镀膜机制，且至少有一个具有承载盘加热机构；每个沉积室分别执行不同的膜层沉积；不同功能的腔室皆使用隔离门进行隔离，以实现不同的功能，本实用新型将缓冲室设置于不同薄膜沉积系中，使两种系统合而为一，降低设备设置成本，且因一次性完成两种薄膜的沉积，无需破除真空后再将承载盘载入另一套系统，大大节省生产时间，有效降低承载盘受环境的污染。
Description
所属技术领域
本实用新型涉及一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，此类设备可广泛应用于任何需要于真空下进行加工的制程且加工需要一定时间的制程，例如太阳能硅片镀膜加工。
背景技术
用宽带隙的非晶硅作为窗口层或发射极，单晶硅或多晶硅片作衬底，形成了非晶硅／晶体硅异质结太阳电池。它可以同时实现PN结和优异的表面钝化，并且所有工艺可在低温(<200℃)下完成，既减少了能耗，又能避免硅片在高温处理过程中可能产生的性能退化。由于这种电池既利用了薄膜制造工艺优势同时又发挥了晶体硅和非晶硅的材料性能特点，具有实现高效低成本硅太阳电池的发展前景。然而由于制程的原因,异质结太阳能电池在制作时需要两种镀膜设备：分别是等离子化学气相沉积系统沉积非晶硅薄膜及物理气相沉积系统溅射导电层。传统上是设置两套沉积系统来完成上述的薄膜沉积，通常是完成非晶硅薄膜沉积后，移载出系统，再进入溅射系统沉积导电层，此举不仅增加设备设置成本，且对晶体硅而言容易造成表面污染的问题。
发明内容
本实用新型主要目的系提供一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，来解决晶体硅表面污染及设备投入成本高的问题。
为了达成上述实用新型目的，本实用新型的技术方案是提供一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，包括依次设置的承载室、三个缓冲室、两个以上沉积室以及卸载室；其中，所述承载室和所述卸载室分别用于装载和卸载承载盘，所述缓冲室具隔离两种镀膜机制，且至少有一个具有承载盘加热机构；每个沉积室分别执行不同的膜层沉积；不同功能的腔室皆使用隔离门进行隔离，以实现不同的功能。
与现有技术相比，本实用新型具有如下优点：
本实用新型将缓冲室设置于不同薄膜沉积系中，使两种系统合而为一，降低设备设置成本。
进一步的，本实用新型在缓冲室设置涡轮分子帮浦进行气体隔绝，使两种沉积系统不会相互产生污染。
更进一步的，通过本实用新型的设置可以一次性完成两种薄膜的沉积，无需破除真空后再将承载盘载入另一套系统，大大节省生产时间。
附图说明
图1系为本实用新型示意图。
主要组件符号说明
101．．．承载室
102．．．第一反应室
103．．．第二反应室
104．．．第一缓冲室
105．．．第二缓冲室
106．．．第三反应室
107．．．第四反应室
108．．．第三缓冲室
109．．．卸载室
110．．．第一隔离门
111．．．第二隔离门
112．．．第三隔离门
113．．．第四隔离门
114．．．第五隔离门
115．．．第六隔离门
116．．．第七隔离门
117．．．回传机构
118... 维修区
具体实施方式
为使方便简捷了解本发明之其他特征内容与优点及其所达成之功效能够更为显现，兹将本实用新型配合附图，详细說明如下：请參阅图1，本实用新型之主要目的系一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，该太阳能电池薄膜沉积系统包括依序连接的第一隔离门110、承载室101、第二隔离门111、第一反应室102、第三隔离门112、第二反应室103、第四隔离门113、第一缓冲区104、第五隔离门114、第二缓冲室105、第三反应室106、第四反应室107、第三缓冲室108、第六隔离门115、卸载室109、第七隔离门116、回传机构118及维修区117所组成。
在异质结太阳能电池薄膜沉积系统沉积过程中，承载盘首先透过第一隔离门110传送到承载室101进行预真空处理，所述之真空处理也就是利用真空帮浦使承载室压强下降至一定范围，完成后，承载盘再透过第二隔离阀门111进入第一反应室102进行真空反应，所述之真空反应也就是在真空一定压腔下，由高频电源解离由喷头进入的反应气体而产生等离子体进行薄膜沉积，完成后，承载盘再透过第三隔离阀门112进入第二反应室103进行第二次真空反应，完成后，再透过第四隔离阀门113进入第一缓冲室104进行真空处理，再透过第五隔离阀门114进入第二缓冲室105进行加热处理，使承载盘达到设定的温度后传送到第三反应室106及第四反应室107进行真空反应，完成后，传送至第三缓冲室108进行承载盘冷却，完成后，再透过第六隔离门115传送至卸载室109进行真空卸载，所述之真空卸载是利用氮气冲入卸载室109内，使卸载室109与大气压强一致，完成后，承载盘传送至回传机构118，反复执行上述步骤，达到量产的目的。
在上述异质结太阳能电池沉积系统中，由于回传机构118内侧会保留一定空间，所以将内侧空间设置维修区117，无需再另行设置区域，有效降低设备设置成本，同时，也有效的降低占地面积。
在上述异质结太阳能电池沉积系统中，一次性完成两种薄膜的沉积，中途无需破除真空移载承载盘到另一套系统，有效隔绝晶体硅表面污染的问题。
综上所述，本实用新型在突破先前之技术结构下，确实已达到所欲增进之功效，且也非熟悉该项技艺者所易于思及，其所具之进步性、实用性，显已符合实用新型之申请要件，惟上列详细說明系针对本实用新型之一可行实施例之具体說明，该实施例并非用以限制本实用新型之专利范围，而凡未脱離本实用新型技艺精神所为之等效实施或变更，均应包含于本案之专利范围中。
Claims (2)
1.一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，包括依次设置的承载室、三个缓冲室、两个以上沉积室以及卸载室；其中，所述承载室和所述卸载室分别用于装载和卸载承载盘，所述缓冲室具隔离两种镀膜机制，且至少有一个具有承载盘加热机构；每个沉积室分别执行不同的膜层沉积，以实现不同的功能。
2.根据权利要求1所述之一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，其中该腔室分别透过隔离门进行隔离。
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