CN202601708U - 用于晶体硅太阳能电池刻蚀槽的辊筒结构 - Google Patents
用于晶体硅太阳能电池刻蚀槽的辊筒结构 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了用于晶体硅太阳能电池刻蚀槽的辊筒结构，包括全辊筒（2）、骨头状辊筒（3）以及固定全辊筒（2）、骨头状辊筒（3）的刻蚀槽（1），全辊筒（2）的形状为圆柱形，骨头状辊筒（3）由全辊筒（2）等间距环切得到，全辊筒（2）与骨头状辊筒（3）的中心线相互平行，且全辊筒（2）与骨头状辊筒（3）的中心线位于同一水平面上。本实用新型采用上述结构，能减小工艺过程中酸的耗量，且能使硅片背面获得较好的抛光效果，保证良好的工艺质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶体硅太阳能电池生产加工领域，具体是一种用于晶体硅太阳能电池刻蚀槽的辊筒结构。
背景技术
在晶体硅太阳能电池的生产过程中，刻蚀工序要将硅片背表面和周边的PN结去掉，而现有工艺设计是采用单独全辊筒结构设计或单独骨头状辊筒刻蚀掉整个硅片背面的PN结和硅片周边的PN结。单独全辊筒结构设计的刻蚀工艺导致硅片背面刻蚀量大，引起酸的耗量大，成本上升。而单独骨头状辊筒结构设计的刻蚀工艺导致某一边角的刻蚀效果不佳，同时硅片背面大部分地方的抛光特性不好，骨头状辊筒上有些部分与硅片不接触,影响工艺质量。
实用新型内容
本实用新型提供了一种用于晶体硅太阳能电池刻蚀槽的辊筒结构，解决了以往的辊筒结构要么导致酸的耗量较大、成本较高，要么导致硅片的抛光特性不好，影响工艺质量的问题。
本实用新型为解决技术问题主要通过以下技术方案实现：用于晶体硅太阳能电池刻蚀槽的辊筒结构，包括全辊筒、骨头状辊筒以及固定全辊筒、骨头状辊筒的刻蚀槽，所述全辊筒的形状为圆柱形，所述骨头状辊筒由全辊筒等间距环切得到，所述全辊筒与骨头状辊筒的中心线相互平行，且全辊筒与骨头状辊筒的中心线位于同一水平面上。
骨头状辊筒，顾名思义，即形状类似于骨头，可以看作是两种直径不等的圆柱体连续交替连接而成的，也可以看作是一段圆柱体经过等间距环切而形成的。
所述全辊筒与骨头状辊筒采用一根全辊筒、一根骨头状辊筒连续交替排布的方式固定在刻蚀槽上，即相邻两根全辊筒之间设置一根骨头状辊筒。
所述全辊筒与骨头状辊筒采用两根全辊筒、两根骨头状辊筒连续交替排布的方式固定在刻蚀槽上。
所述全辊筒与骨头状辊筒采用3根全辊筒、5根骨头状辊筒连续交替排布的方式固定在刻蚀槽上。
本实用新型与现有技术相比具有以下优点和有益效果：
（1）本实用新型采用全辊筒与骨头状辊筒交替排布的方式，取代了传统单一全辊筒的排布方式，减小了工艺过程中酸的耗量，进而降低了成本。
（2）本实用新型采用全辊筒与骨头状辊筒交替排布的方式，取代了传统单一骨头状辊筒的排布方式，在保证了刻蚀掉硅片背面和侧面多余的掺杂层的基础上，使硅片背面获得了较好的抛光效果，保证了良好的工艺质量。
附图说明
图1为本实用新型的实施例1的结构示意图；
图2为本实用新型的实施例2的结构示意图；
图3为本实用新型的实施例3的结构示意图。
附图中所对应的附图标记为：1、刻蚀槽，2、全辊筒，3、骨头状辊筒。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
实施例：
如图1所示，本实用新型包括全辊筒2、骨头状辊筒3以及固定全辊筒2、骨头状辊筒3的刻蚀槽1，全辊筒2的形状为圆柱形，骨头状辊筒3由全辊筒2等间距环切得到，全辊筒2与骨头状辊筒3的中心线相互平行，且全辊筒2与骨头状辊筒3的中心线位于同一水平面上。
本实施例的全辊筒2与骨头状辊筒3采用一根全辊筒2、一根骨头状辊筒3连续交替排布的方式固定在刻蚀槽1上，即相邻两根全辊筒2之间设置一根骨头状辊筒3。
实施例2：
如图2所示，本实用新型包括全辊筒2、骨头状辊筒3以及固定全辊筒2、骨头状辊筒3的刻蚀槽1，全辊筒2的形状为圆柱形，骨头状辊筒3由全辊筒2等间距环切得到，全辊筒2与骨头状辊筒3的中心线相互平行，且全辊筒2与骨头状辊筒3的中心线位于同一水平面上。
本实施例的全辊筒2与骨头状辊筒3采用两根全辊筒2、两根骨头状辊筒3连续交替排布的方式固定在刻蚀槽1上。
实施例3：
如图3所示，本实用新型包括全辊筒2、骨头状辊筒3以及固定全辊筒2、骨头状辊筒3的刻蚀槽1，全辊筒2的形状为圆柱形，骨头状辊筒3由全辊筒2等间距环切得到，全辊筒2与骨头状辊筒3的中心线相互平行，且全辊筒2与骨头状辊筒3的中心线位于同一水平面上。
本实施例的全辊筒2与骨头状辊筒3采用3根全辊筒2和5根骨头状辊筒3连续交替排布的方式固定在刻蚀槽1上。
本实用新型的工作原理为：全辊筒2、骨头状辊筒3转动起来，硅片与全辊筒2、骨头状辊筒3接触，进行刻蚀操作，将硅片背面和侧面多余的掺杂层刻蚀掉。
如上所述，则能很好地实现本实用新型。
Claims (4)
1.用于晶体硅太阳能电池刻蚀槽的辊筒结构，其特征在于：包括全辊筒（2）、骨头状辊筒（3）以及固定全辊筒（2）、骨头状辊筒（3）的刻蚀槽（1），所述全辊筒（2）的形状为圆柱形，所述骨头状辊筒（3）由全辊筒（2）等间距环切得到，所述全辊筒（2）与骨头状辊筒（3）的中心线相互平行，且全辊筒（2）与骨头状辊筒（3）的中心线位于同一水平面上。
2.根据权利要求1所述的用于晶体硅太阳能电池刻蚀槽的辊筒结构，其特征在于：所述全辊筒（2）与骨头状辊筒（3）采用一根全辊筒（2）、一根骨头状辊筒（3）连续交替排布的方式固定在刻蚀槽（1）上，即相邻两根全辊筒（2）之间设置一根骨头状辊筒（3）。
3.根据权利要求1所述的用于晶体硅太阳能电池刻蚀槽的辊筒结构，其特征在于：所述全辊筒（2）与骨头状辊筒（3）采用两根全辊筒（2）、两根骨头状辊筒（3）连续交替排布的方式固定在刻蚀槽（1）上。
4.根据权利要求1所述的用于晶体硅太阳能电池刻蚀槽的辊筒结构，其特征在于：所述全辊筒（2）与骨头状辊筒（3）采用3根全辊筒（2）、5根骨头状辊筒（3）连续交替排布的方式固定在刻蚀槽（1）上。
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2012
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