CN202558646U - 一种氢化炉用组合式绝缘密封装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种氢化炉用组合式绝缘密封装置，包括：大瓷环、小瓷环、绝缘套、绝缘瓷、绝缘垫、环形绝缘瓷及O形圈，小瓷环外套有大瓷环，绝缘套为T型套，绝缘套外部套有绝缘瓷及绝缘垫，绝缘套边沿下表面与绝缘瓷的上表面贴合，绝缘垫上表面与绝缘瓷下表面贴合，环形绝缘瓷和O形圈均为两个，O形圈与环形绝缘瓷间隔排列于绝缘套下方，环形绝缘瓷与所述绝缘套下表面贴合。本实用新型所述氢化炉用组合式绝缘密封装置，可以克服现有技术中不耐高温、绝缘等级低且易损坏等缺陷，以实现耐高温、延长使用周期、避免电极和底盘间造成短路停炉事故的优点。

Description

一种氢化炉用组合式绝缘密封装置

技术领域

本实用新型涉及绝缘密封装置，具体地，涉及一种氢化炉用组合式绝缘密封装置。

背景技术

目前，在多晶硅生产中，每生产1吨“多晶硅”约生成20吨的副产物四氯化硅。因此，对四氯化硅进行有效的回收利用，是降低环境污染，降低生产成本的关键。热氢化处理工艺是将四氯化硅通入氢化炉中，与氢气在一定的温度、配比下反应转化成三氯氢硅的方法。处理后不仅有效地减少了四氯化硅量，且生成了杂质很少、纯度较高的精制三氯氢硅，简单提纯后就可作为生产多晶硅的原料，且整个处理过程中污染较小，对环境危害小，因此，热氢化工艺在行业里得到了较为广泛的应用。但是，氢化炉内高达1250-1400℃的反应温度，以及氢化炉长周期的运行，对于底盘与电极之间的密封和绝缘材料是个严峻的考验。通常，良好的密封材料如聚四氟乙烯、橡胶等，都不具备耐高温的性能，而良好的绝缘材料通常硬度较低，因此，选择合适的绝缘、密封材料进行组合搭配，才能实现氢化炉长周期稳定运行的生产要求。

综上所述，现有技术中至少存在以下缺陷：不耐高温、绝缘等级低且易损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，针对上述问题，提出一种氢化炉用组合式绝缘密封装置，以实现，耐高温、延长使用周期、避免电极和底盘间造成短路停炉事故的优点。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是一种氢化炉用组合式绝缘密封装置，用于隔绝电极与氢化炉底盘，其特征在于，包括：大瓷环、小瓷环、绝缘套、绝缘瓷、绝缘垫、环形绝缘瓷及O形圈，所述电极为“T”形圆柱，所述绝缘套为“T”形套，绝缘套套在电极下圆柱外部，绝缘套台阶顶部与电极台阶底部贴合，所述环形绝缘瓷套于绝缘套外部，绝缘瓷顶部与绝缘套台阶底部贴合，所述绝缘垫套于绝缘套外部，并位于绝缘瓷与氢化炉底盘之间，所述绝缘垫上表面与绝缘瓷下表面贴合，绝缘垫下表面与氢化炉底盘上表面贴合，所述环形绝缘瓷和所述O形圈均为两个，所述环形绝缘瓷和所述O形圈间隔套于电极柱体外部的下半部，按O形圈、环形绝缘瓷的顺序排列于绝缘套下方，所述小瓷环及大瓷环依次套于电极台阶外部，小瓷环及大瓷环下表面与氢化炉底盘相贴合。

进一步地，所述绝缘套为聚四氟乙烯材质，所述绝缘套上表面有两条密封水线。

进一步地，所述绝缘垫为聚四氟乙烯垫，所述绝缘垫的下表面有两条密封水线。

进一步地，所述绝缘瓷为环形，所述绝缘瓷上下表面的外缘处有凸台。

进一步地，所述绝缘套与所述绝缘垫的外径均小于所述绝缘瓷上下表面的“凸台”内径，所述绝缘套及所述绝缘垫分别嵌于绝缘瓷上下表面凸台形成的圈内。

进一步地，所述小瓷环的内圈与电极凸起之间的距离为1mm-3mm，所述小瓷环的厚度为8mm-10mm，所述小瓷环的高度不高于电极的上端面，所述大瓷环的内圈与小瓷环的外圈之间的距离为0.5mm-1.5mm，所述大瓷环的高度高于小瓷环15mm-20mm，所述O形圈的截面直径为5mm，所述O形圈内圈与电极柱体之间的距离为0-0.5mm, 所述绝缘套及所述绝缘垫厚度为3mm。

本实用新型一种氢化炉用组合式绝缘密封装置，由于包括大瓷环、小瓷环、绝缘套、绝缘瓷、绝缘垫、环形绝缘瓷及O形圈，可以产生良好的绝缘密封性能且可以耐高温；从而可以克服现有技术中不耐高温、绝缘等级低且易损坏的缺陷，以实现耐高温、延长使用周期、避免电极和底盘间造成短路停炉事故的优点。

本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1为根据本实用新型一种氢化炉用组合式绝缘密封装置剖视图。

结合附图，本实用新型实施例中附图标记如下：

1-电极；2-氢化炉底盘；3-大瓷环；4-小瓷环；5-绝缘套；6-绝缘瓷；7-绝缘垫；8-环形绝缘瓷；9-O形圈。

具体实施方式

根据本实用新型实施例，提供了一种氢化炉用组合式绝缘密封装置。如图1所示，本实施例包括：

一种氢化炉用组合式绝缘密封装置，用于隔绝电极1与氢化炉底盘2，其特征在于，包括：大瓷环3、小瓷环4、绝缘套5、绝缘瓷6、绝缘垫7、环形绝缘瓷8及O形圈9，电极1为“T”形圆柱，绝缘套5为“T”形套，绝缘套5套在电极1下圆柱外部，绝缘套5台阶顶部与电极1台阶底部贴合，环形绝缘瓷6套于绝缘套5外部，绝缘瓷6顶部与绝缘套5台阶底部贴合，绝缘垫7套于绝缘套5外部，并位于绝缘瓷6与氢化炉底盘2之间，绝缘垫7上表面与绝缘瓷6下表面贴合，绝缘垫7下表面与氢化炉底盘2上表面贴合，环形绝缘瓷8和所述O形圈9均为两个，环形绝缘瓷8和所述O形圈9间隔套于电极1柱体外部的下半部，按O形圈9、环形绝缘瓷8的顺序排列于绝缘套5下方，O形圈9的截面直径为5mm，O形圈9内圈与电极1柱体之间的距离为0.3mm，小瓷环4及大瓷环3依次套于电极1台阶外部，小瓷环4及大瓷环3下表面与氢化炉底盘2相贴合，小瓷环4的内圈与电极1凸起之间的距离为2mm，小瓷环4的厚度为9mm，小瓷环4的高度不高于电极1的上端面。

氢化炉用组合式绝缘密封装置安装于电极1与氢化炉底盘2之间，电极1为圆柱体，且电极顶部边沿设有凸起，小瓷环4套于电极1顶部凸起外侧，小瓷环4的内圈与电极1凸起之间的距离为2mm，小瓷环4的厚度为9mm，小瓷环4的高度不高于电极1的上端面，绝缘套5、绝缘瓷6及绝缘垫7套于电极1柱体外侧，绝缘套5上表面与电极1的底面贴合，小瓷环4下表面、大瓷环3下表面及绝缘垫7下表面与底盘2上表面贴合，O形圈9与环形绝缘瓷8套于电极1柱体外侧，O形圈9的截面直径为5mm，O形圈9内圈与电极1柱体之间的距离为0.3mm。

绝缘套5为聚四氟乙烯材质，绝缘套5上表面有两条密封水线，绝缘套5厚度为3mm。

绝缘垫7为聚四氟乙烯垫，绝缘垫7的下表面有两条密封水线，绝缘垫7厚度为3mm

绝缘瓷6为环形，绝缘瓷6上下表面的外缘处有凸台。

绝缘套5与所述绝缘垫7的外径小于绝缘瓷6上下表面的凸台内径，绝缘套5及所述绝缘垫7分别嵌于绝缘瓷6上下表面凸台形成的圈内。

综上所述，本实用新型本发明的氢化炉用组合式绝缘密封装置，在电极1与绝缘瓷6外部套有大瓷环3和小瓷环4，构成了双层隔热结构，用于隔绝氢化炉内热量对绝缘瓷6的直接热辐射，有效降低了绝缘瓷6的表面温度，从而防止了绝缘套5等材料的损坏，大瓷环3比小瓷环4高至少15mm，延长了电极1至氢化炉底盘2间的短路距离，从而避免碳纤维搭接在电极1和氢化炉底盘2间，造成短路停炉事故，大瓷环3及小瓷环4的机构简单，加工方便，通过它们的组合使用，有效保证了氢化炉长期稳定运行。小瓷环4与电极1之间间隙小于3mm，能防止加热器表面掉落的较小的碳粉、碳纤维等沉积在绝缘瓷周围，造成瞬间的短路停车故障，同时留给小瓷环4和电极1一定的膨胀间隙，防止小瓷环4破损，且小瓷环4的厚度不大于10mm，能有效减少小瓷环4的受热裂开，导致绝缘套5受损，小瓷环4的高度不高于电极的上表面，以防影响发热体的安装。大瓷环3与小瓷环4之间均有膨胀余量，有效防止了瓷环的破损。绝缘瓷6主要起绝缘作用，绝缘套5、绝缘垫7、环形绝缘瓷8和O形圈9主要起密封作用，将它们组合形成绝缘、密封组件，使得绝缘效果和密封效果良好，且绝缘性能维持时间长，两个O形圈9为双重保障，且O形圈9收缩性能较强，能抵抗微小的形变量，在约500N·m的力矩下，能挤压成较规则的四方型，填满电极1与氢化炉底盘2侧壁之间的空隙，从而保证了满意的密封效果，从而保证了氢化炉长期稳定运行。绝缘套5和绝缘垫7为良好的绝缘和密封材料，且紧贴电极1和氢化炉底盘2，能够迅速将热量转移，从而长期保持有效的密封和绝缘效果，绝缘套5穿过绝缘瓷6和绝缘垫7结构使绝缘瓷6与电极1之间增加了绝缘层，防止由于四氟套融化导致的电流在绝缘瓷6内侧沿电极1体表面的短路，绝缘套5同时起到支撑和骨架的作用，防止绝缘套5受热形变较大后影响密封性能。尽可能用电极1和绝缘瓷6包覆绝缘套5和绝缘垫7，避免热辐射从任意角度辐射到绝缘套5和绝缘垫7上，且绝缘套5和绝缘垫7本身厚度小，便于及时导走热量，防止自身受热损坏。绝缘套5和绝缘垫7均有受热膨胀的空间，且避免绝缘垫7紧贴绝缘套5，防止绝缘垫7损坏后进一步损坏绝缘套5，密封水线的设计进一步保证了密封效果。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种氢化炉用组合式绝缘密封装置，用于隔绝电极（1）与氢化炉底盘（2），其特征在于，包括：大瓷环（3）、小瓷环（4）、绝缘套（5）、绝缘瓷（6）、绝缘垫（7）、环形绝缘瓷（8）及O形圈（9），所述电极（1）为“T”形圆柱，所述绝缘套（5）为“T”形套，绝缘套（5）套在电极（1）下圆柱外部，绝缘套（5）台阶顶部与电极（1）台阶底部贴合，所述绝缘瓷（6）套于绝缘套（5）外部，绝缘瓷（6）顶部与绝缘套（5）台阶底部贴合，所述绝缘垫（7）套于绝缘套（5）外部，并位于绝缘瓷（6）与氢化炉底盘（2）之间，所述绝缘垫（7）上表面与绝缘瓷（6）下表面贴合，绝缘垫（7）下表面与氢化炉底盘（2）上表面贴合，所述环形绝缘瓷（8）和所述O形圈（9）均为两个，所述环形绝缘瓷（8）和所述O形圈（9）间隔套于电极（1）柱体外部的下半部，按O形圈（9）、环形绝缘瓷（8）的顺序排列于绝缘套（5）下方，所述小瓷环（4）及大瓷环（3）依次套于电极（1）台阶外部，小瓷环（4）及大瓷环（3）下表面与氢化炉底盘（2）相贴合。

2.根据权利要求1所述的氢化炉用组合式绝缘密封装置，其特征在于，所述绝缘套（5）为聚四氟乙烯材质，所述绝缘套（5）上表面有两条密封水线。

3.根据权利要求1所述的氢化炉用组合式绝缘密封装置，其特征在于，所述绝缘垫（7）为聚四氟乙烯垫，所述绝缘垫（7）的下表面有两条密封水线。

4.根据权利要求1所述的氢化炉用组合式绝缘密封装置，其特征在于，所述绝缘瓷（6）为环形，所述绝缘瓷（6）上下表面的外缘处有凸台。

5.根据权利要求1所述的氢化炉用组合式绝缘密封装置，其特征在于，所述绝缘套（5）与所述绝缘垫（7）的外径均小于所述绝缘瓷（6）上下表面的凸台内径，所述绝缘套（5）及所述绝缘垫（7）分别嵌于绝缘瓷（6）上下表面凸台形成的圈内。

6.根据权利要求1所述的氢化炉用组合式绝缘密封装置，其特征在于，所述小瓷环（4）的内圈与电极（1）凸起之间的距离为1mm-3mm；所述小瓷环（4）的厚度为8mm-10mm，所述小瓷环（4）的高度不高于电极（1）的上端面；所述大瓷环（3）的内圈与小瓷环（4）的外圈之间的距离为0.5mm-1.5mm，所述大瓷环（3）的高度高于小瓷环（4）15mm-20mm；所述O形圈（9）的截面直径为5mm；所述O形圈（9）内圈与电极（1）柱体之间的距离为0-0.5mm；所述绝缘套（5）及所述绝缘垫（7）厚度为3mm。

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