CN202548061U - 一种基板检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种基板检测装置，涉及显示技术领域，该装置用于检测所述基板上的异常点，包括：数据处理设备、显示设备及至少一个图像采集设备；所述图像采集设备连接所述数据处理设备，用于将采集到的基板的图像发送给所述数据处理设备，所述数据处理设备连接所述显示设备，用于提取所述图像中的异常点的坐标，并将所述坐标和所述图像发送给所述显示设备。本实用新型能够精确地检测出基板表面的针脚云纹、干燥污渍及其它异常点。

Description

一种基板检测装置

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种用于检测异常点的基板检测装置。

背景技术

生产液晶面板的过程中，在基板上涂覆好聚酰亚胺(Polyimide，简称PI)后，需要对涂布的PI液进行预固化形成取向膜，预固化效果的好坏直接决定着成膜特性，进而影响液晶显示面板的画面显示质量。

目前取向膜预固化工艺采用热板式加热，热板式加热会造成基板表面受热不均，为了解决受热不均通常采用接近式针脚(Pin)，但是Pin与周围空气温度存在温度差异，造成Pin端基板表面形成针脚云纹(Pin Mura)、干燥污渍或其它污渍等形成的影响最终产品画面品质的异常点。

目前在取向膜预固化工序尚没有实时检测Pin Mura的方法，通常的确认方法是对预固化后的基板进行抽检，在宏观微观检查机上进行目视检查，在这种目视检查方法下不能实时检测Pin Mura、干燥污渍或其它异常点是否发生，存在产品质量风险。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是：如何实时地检测出基板上出现的Pin Mura、干燥污渍及其它异常点。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种基板检测装置，用于检测所述基板上的异常点，包括：数据处理设备、显示设备及至少一个图像采集设备；所述图像采集设备连接所述数据处理设备，用于将采集到的基板的图像发送给所述数据处理设备，所述数据处理设备连接所述显示设备，用于提取所述图像中的异常点的坐标，并将所述坐标和所述图像发送给所述显示设备。

其中，所述图像采集设备为一个，所述图像采集设备位于待检测基板的中心的上方。

其中，所述图像采集设备为多个，所述多个图像采集设备均匀分布在待检测基板的中心及针脚与基板接触点的上方。

其中，还包括三维驱动伺服设备，所述三维驱动伺服设备分别连接所述数据处理设备和所述图像采集设备，所述数据处理设备将针脚坐标和所述异常点的坐标发送给所述三维驱动伺服设备，所述三维驱动伺服设备根据所述针脚坐标和异常点的坐标调整所述图像采集设备的位置。

其中，所述图像采集设备为红外摄像机，所述红外摄像机将采集到的基板的红外图像发送给所述数据处理设备，所述数据处理设备提取所述红外图像中的色斑坐标，并将所述色斑坐标和所述红外图像发送给所述显示设备。

其中，还包括数据转换器，所述数据转换器连接所述红外摄像机和所述数据处理设备，用于将所述红外图像中不同的色斑转换成不同的温度值，并将所述色斑的位置坐标和对应的温度值发送给所述数据处理设备，所述数据处理设备将所述色斑的位置坐标和对应的温度值绘制成温度曲线图后将所述温度曲线图发送给所述显示设备。

其中，所述数据处理设备包括计算机主机或单片机。

(三)有益效果

本实用新型的基板检测装置通过图像采集设备实时采集基板表面的图像，将采集到的图像在显示设备上呈现，并利用计算机或单片机内的基板图像的异常点坐标和异常点在基板上的坐标的一一对应关系能够精确地检测出基板表面的Pin Mura、干燥污渍及其它异常点。

附图说明

图1是实用新型实施例1的一种基板检测装置结构示意图；

图2是实用新型实施例2的一种基板检测装置结构示意图；

图3是实用新型实施例3的一种基板检测装置结构示意图；

图4是图3中的基板检测装置在检测基板表面的针脚云纹及干燥污渍时的示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

实施例1

本实施例的基板检测装置如图1所示，包括：数据处理设备、显示设备及至少一个图像采集设备。图像采集设备能够采集待检测的基板表面的图像，从而获得异常点的图像。本实施例中数据处理设备为计算机主机，图像采集设备为红外摄像机，以采集pin Mura和干燥污渍的异常点为例进行具体说明。

红外摄像机连接计算机主机，用于将采集到的基板的红外图像发送给计算机主机，计算机主机连接显示设备，用于将红外图像发送给显示设备显示。红外摄像机感应的是红外线，红外图像其实是红外摄像机感应物体红外线辐射所生成的图像。物体的温度越高，辐射出的红外线越多，图像上呈现的颜色也不同，即温度相同的区域呈现相同的颜色，不同温度呈现不同的颜色。由于在Pin Mura和干燥污渍处的温度与无Pin Mura和干燥污渍处的温度不同。在基板表面的红外图像中，存在Pin Mura和干燥污渍处的地方都将呈现异常色彩的色斑(异常点处都会呈现不同的色斑)。根据事先设置好的红外摄像机的系统或显示设备的坐标系与基板表面坐标系的关系很容易地检测出基板表面的Pin Mura和干燥污渍的位置。

优选地，包括多个红外摄像机，图1中示出了n个红外摄像机，所有红外摄像机采集的红外图像应该覆盖整个基板表面。可以使红外摄像机均匀分布在pin与基板接触点的上方和基板中心的上方，以保证红外摄像机能够准确地检测基板中心和pin与基板接触点处的温度。若为一个红外摄像机时，也要保证该红外摄像机能够拍摄整个基板表面，即有足够大的广角或是离基板表面有一定的距离，最好使红外摄像机位于基板中心上方。对于多个红外摄像机的情况，采集图像发送到计算机主机后，计算机主机会根据红外摄像机的坐标和拍摄范围对图像的拼接和裁剪等处理，这些处理过程均可采用现有的很成熟的图像处理软件完成，此处不再赘述。

上述基板检测装置能够方便、实时地检测出基板表面由于pin导致的Pin Mura和干燥污渍，或其它存在于基板上的异常点，从而提高产品良率，降低后期宏观检测的人力和材料成本。

实施例2

本实施例的基板检测装置如图2所示，包括：数据处理设备(本实施例中数据处理设备为计算机主机)、显示设备、数据转换器及至少一个红外摄像机。本实施例与实施例1不同的是在红外摄像机和计算机主机之间增加了一个数据转换器，该数据转换器分别连接红外摄像机和计算机主机，用于将红外图像的色斑转换成温度值，并将该色斑的位置坐标及对应的温度值发送给计算机主机。计算机主机根据色斑的位置坐标及对应的温度值绘制温度曲线图，并将所述温度曲线图发送给显示设备显示。

本实施例将色斑转换成具体的温度值，并以温度曲线的形式显示，即将色斑进行量化后显示，数值的大小可以更直观地看出PinMura和干燥污渍的严重程度。因此本实施例的将温度曲线结合基板的红外图像的显示方式能够更准确地检测出基板表面的Pin Mura和干燥污渍。

实施例3

本实施例的基板检测装置是在实施例1或实施例2的基础上改进得到的。即增加了一个三维驱动伺服设备，使得红外摄像机能够在基板表面上方的三维方向上移动。三维驱动伺服设备分别连接计算机主机和红外摄像机，以改进实施例2中的基板检测装置为例，如图3所示。在检测前向计算机主机输入pin在基板表面布局的坐标，计算机主机将pin布局的坐标发送给三维驱动伺服设备。三维驱动伺服设备根据计算机主机发送来的针脚坐标调整红外摄像机的位置，在多个红外摄像机的情况下，使得红外摄像机的位置尽量位于pin与基板接触点的上方和基板中心的上方，一个红外摄像机时能够使该红外摄像机能够拍摄整个基板表面(三维方向上移动红外摄像机)。

由于采用三维驱动伺服设备可以根据不同的pin布局方便地调整红外摄像机的位置，以便对pin云纹及干燥污渍实现精确地检测。

优选地，计算机主机还用于将显示设备显示的红外图像中的色斑的坐标发送给三维驱动伺服设备。三维驱动伺服设备根据该坐标再对红外摄像机进行微调，以达到更清晰地显示色斑的效果，这样可以使得转换后的温度值更准确。

本实施例相对于实施例1和2，能够方便地对红外摄像机进行控制，以及更加准确地控制红外摄像机拍摄到pin云纹及干燥污渍，从而更准确地检测出pin云纹及干燥污渍的坐标和污染物的严重程度。

上述3个实施例中的计算机主机还可以是单片机，图像采集设备也不限于红外摄像机。

以实施例3的基板检测装置为例，说明其工作原理如下：

如图4所示，将多个红外摄像机1(图中有4个红外摄像机1)固定于可以三轴移动的固定架2上，并将载有红外摄像机1的固定架2置于取向膜预固化工序的腔室3中；

在计算机主机4中输入Pin 5的布局坐标(Pin Layout)，计算机主机4将该坐标发送到三维驱动伺服设备6中，三维驱动伺服设备6的控制软件通过输入的Pin Layout粗调多路红外摄像机1的三维坐标，从而将多路红外摄像机1采集的基板7中心和Pin 5周围的红外图像实时传递给计算机主机4，并将红外图像中的色斑通过数据转换器8转换成温度值。数据转换器8将色斑的坐标和对应的温度值发送到计算机主机4。计算机主机4将红外图像传输到显示设备9上实时显示，并将色斑坐标及对应的温度值绘制成温度曲线。同时将温度曲线发送到显示设备9实时显示。

计算机主机4还将红外图像上的色斑坐标发送到三维驱动伺服设备6，三维驱动伺服设备6还根据显示设备9上的显示的色斑坐标和色环图像微调红外摄像机1的三维坐标以达到最佳检测效果。

由于红外摄像机1的系统坐标或显示设备9的软件界面内的坐标与Pin的Layout坐标相对应，当监控的某个Pin存在Pin Mura和干燥污渍时，对应Pin周围的温度分布异常于正常区间，则通过坐标很容易找到该Pin的位置。

以上实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴，本实用新型的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (7)

1.一种基板检测装置，其特征在于，包括：数据处理设备、显示设备及至少一个图像采集设备；所述图像采集设备连接所述数据处理设备，用于将采集到的基板的图像发送给所述数据处理设备，所述数据处理设备连接所述显示设备，用于提取所述图像中的异常点的坐标，并将所述坐标和所述图像发送给所述显示设备。

2.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述图像采集设备为一个，并且位于待检测基板的中心的上方。

3.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述图像采集设备为多个，并且均匀分布在待检测基板的中心及针脚与基板接触点的上方。

4.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，还包括三维驱动伺服设备，所述三维驱动伺服设备分别连接所述数据处理设备和所述图像采集设备，所述数据处理设备将针脚坐标和所述异常点的坐标发送给所述三维驱动伺服设备，所述三维驱动伺服设备根据所述针脚坐标和异常点的坐标调整所述图像采集设备的位置。

5.如权利要求1～4中任一项所述的基板检测装置，其特征在于，所述图像采集设备为红外摄像机，所述红外摄像机将采集到的基板的红外图像发送给所述数据处理设备，所述数据处理设备提取所述红外图像中的色斑坐标，并将所述色斑坐标和所述红外图像发送给所述显示设备。

6.如权利要求5所述的基板检测装置，其特征在于，还包括数据转换器，所述数据转换器连接所述红外摄像机和所述数据处理设备，用于将所述红外图像中不同的色斑转换成不同的温度值，并将所述色斑的位置坐标和对应的温度值发送给所述数据处理设备，所述数据处理设备将所述色斑的位置坐标和对应的温度值绘制成温度曲线图后将所述温度曲线图发送给所述显示设备。

7.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述数据处理设备包括计算机主机或单片机。

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