CN202523692U - 一种薄膜干燥装置 - Google Patents
一种薄膜干燥装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202523692U CN202523692U CN2012201158589U CN201220115858U CN202523692U CN 202523692 U CN202523692 U CN 202523692U CN 2012201158589 U CN2012201158589 U CN 2012201158589U CN 201220115858 U CN201220115858 U CN 201220115858U CN 202523692 U CN202523692 U CN 202523692U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- solvent
- drying box
- inlet
- liquid
- dividing plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Abstract
本实用新型涉及半导体干燥装置技术领域，具体地说是一种薄膜干燥装置，包括干燥箱和盖板，所述干燥箱顶端布置有溶剂注入机构，所述干燥箱底端设有进液口和排液口，所述进液口连接进液管道，所述排液口连接排液管道，所述排液管道中设置有排液控制机构，所述排液控制机构包括真空吸取器和流体控制阀，所述真空吸取器和流体控制阀安装在排液管道上；本实用新型同现有技术相比，结构新颖、简单，不仅避免了IPA蒸汽与清洗液混溶，而且由于被干燥工件始终处于静止状态，则避免了因移动工件而产生的内应力破坏。
Description
[技术领域]
本实用新型涉及半导体干燥装置技术领域，具体地说是一种薄膜干燥装置。
[背景技术]
集成电路制造工艺中的湿法蚀刻和清洗工艺后，对象工件表面往往会残留清洗液，这些残留液如无法及时去除，其中含有的杂质和液体会附着在工件表面，使得对象工件无法达到下道工序要求，进而影响制程的良率。所以需要一种高效的干燥装置进行及时的工件干燥。
现有的马拉高尼干燥技术(即Marangoni Dryer)大多使用IPA蒸汽与清洗液混溶入工件表面的凹面，利用马拉高尼效应来进行干燥，然而使用蒸汽气化IPA与液体溶液容易混溶，导致形成的薄膜质量不高，从而干燥效率较低，且容易在干燥过程结束后在工件表面形成水迹，影响工件品质。
而且，现有的马拉高尼干燥技术(即Marangoni Dryer)具有机械式抬升装置，并在干燥过程中移动工件，对于精密和超精密级的干燥对象来说，移动工件的位置有相当大的概率会产生工件抖动现象，这样的抖动现象会对工件本身产生内应力破坏。
[发明内容]
本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种薄膜干燥装置，不仅避免了IPA蒸汽与清洗液混溶，而且避免了因移动工件所产生的内应力破坏。
为实现上述目的设计一种薄膜干燥装置，包括干燥箱和盖板，所述干燥箱顶端布置有溶剂注入机构，所述干燥箱底端设有进液口和排液口，所述进液口连接进液管道，所述排液口连接排液管道，所述排液管道中设置有排液控制机构。
所述溶剂注入机构包括储液容器、注入口和溶剂导入隔板，所述储液容器内装有液态干燥溶剂，所述储液容器进口端连接溶剂控制系统，所述储液容器出口端通过管道连接注入口，所述注入口安装在干燥箱内的顶端部位，所述注入口的下方装有溶剂导入隔板，所述溶剂导入隔板安装在干燥箱的侧壁上。
所述溶剂导入隔板的角度可调，所述溶剂导入隔板的角度调节范围为45-80度。
所述排液控制机构包括真空吸取器和流体控制阀，所述真空吸取器和流体控制阀安装在排液管道上。
所述干燥箱顶部盖板位置处设有热惰性气体喷淋口，所述热惰性气体喷淋口通过管道连接惰性气体储气罐。
所述液态干燥溶剂为高纯度无水酒精或异丙醇有机溶剂。
本实用新型同现有技术相比，结构新颖、简单，通过对马拉高尼效应(Maragoni Effect)的主要载体，即有机溶剂薄膜的厚度和品质进行控制，实现了高效的干燥效果；同时，由于避免了整个干燥过程中不断使用IPA蒸汽来维持薄膜的厚度，不仅节省了生成IPA蒸汽部分的能耗和气体使用，而且进一步降低了总体使用的能耗和成本；此外，整个干燥过程中，被干燥工件始终处于静止状态，则避免了由于移动工件而产生的内应力破坏。
[附图说明]
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型中液态干燥溶剂注入示意图；
图3是图2中I的局部放大示意图；
图4是本实用新型中薄膜形成示意图；
图5是本实用新型中液面下降示意图；
图6是本实用新型中排液后的工件主视图；
图7是图6中II的局部放大示意图；
图8是本实用新型中排液后的工件侧视图；
图9是图8中III的局部放大示意图；
图10是本实用新型中蒸汽干燥示意图；
图中：1、干燥箱 2、盖板 3、清洗液 4、工件 5、承载件 6、溶剂注入机构 7、进液口 8、排液口 9、排液控制机构 10、注入口 11、溶剂导入隔板 12、热惰性气体喷淋口 13、薄膜 14、液态干燥溶剂 15、储液容器 16、真空吸取器。
[具体实施方式]
下面结合附图对本实用新型作以下进一步说明：
如附图1所示，本实用新型包括：干燥箱1和盖板2，所述干燥箱中容纳有清洗液3、工件4和承载件5，所述工件置于承载件上，所述工件初始完全位于干燥箱内清洗液的液面之下，所述干燥箱顶端布置有溶剂注入机构6，所述溶剂注入机构包括储液容器15、注入口10和溶剂导入隔板11，所述储液容器内装有液态干燥溶剂，所述液态干燥溶剂为高纯度无水酒精或异丙醇等有机溶剂。所述储液容器进口端连接溶剂控制系统，所述储液容器出口端通过管道连接注入口，所述注入口安装在干燥箱内的顶端部位，所述注入口的下方装有溶剂导入隔板，所述溶剂导入隔板安装在干燥箱的侧壁上，所述溶剂导入隔板的角度可调，所述溶剂导入隔板的角度调节范围为45-80度；所述干燥箱底端设有进液口7和排液口8，所述进液口连接进液管道，所述排液口连接排液管道，所述排液管道中设置有排液控制机构9，所述排液控制机构包括真空吸取器16和流体控制阀，所述真空吸取器和流体控制阀安装在排液管道上。
如附图2至附图4所示，为通过干燥箱顶端两侧的注入口和溶剂导入隔板向清洗液中注入液态干燥溶剂，所述液态干燥溶剂与清洗液表面形成的薄膜13的厚度为2-15mm，通过流量计的控制和可调角度的溶剂导入隔板，使得液态干燥溶剂精确的注入到清洗液的表面，进而形成固定厚度的薄膜。
如附图5所示，本实用新型为了在完成薄膜准备后使液面呈稳定速率下降，稳定的形成附着在工件表面的液态干燥溶剂薄膜，在排液管道中布置通用性真空吸取器和流体控制阀件组成的排液速率控制机构9，并使排水量处于可控制状态，从而获得的固定速率的液面下降效果，该液面下降的速率为1-3mm/s。
如附图6至附图9所示，为排液后的工件结构示意图，可见工件的表面形成了一层完整的液态干燥溶剂薄膜。
如附图10所示，为确保工件在干燥完成后不被载体5上所附着的液体沾染，还在干燥箱顶部盖板位置处设有热惰性气体喷淋口12，用于进一步强化和确保干燥效果。
本实用新型中，其基本原理为一种马拉高尼效应(Marangoni Effect)，即当一种液体的液膜受外界扰动(如温度、浓度)而使液膜局部变薄时，它会在表面张力梯度的作用下形成马拉高尼流，使液体沿最佳路线流回薄液面，进行“修复”。
本实用新型所述薄膜干燥装置的干燥方法为：在干燥过程的开始阶段，需使得工件完全位于清洗液面之下，通过溶剂注入机构向干燥箱中注入液态干燥溶剂，在清洗液面上形成2-15mm厚度的薄膜；然后打开排液口，在排液控制机构的控制下，使液面呈1-3mm/s速率下降，形成附着在工件表面的液态干燥溶剂薄膜；由于被干燥工件表面分布凹面的关系，使得导入的液态干燥溶剂在重力作用下的流动过程中对原有液体的表面形成表面张力梯度，进而引导附着在工件表面的液体剥离并离开工件表面，从而达到干燥的目的；最后，打开干燥箱顶部盖板位置处的热惰性气体喷淋口，进一步进行承载件干燥处理。
本实用新型并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种薄膜干燥装置，包括干燥箱和盖板，其特征在于：所述干燥箱顶端布置有溶剂注入机构，所述干燥箱底端设有进液口和排液口，所述进液口连接进液管道，所述排液口连接排液管道，所述排液管道中设置有排液控制机构。
2.如权利要求1所述的薄膜干燥装置，其特征在于：所述溶剂注入机构包括储液容器、注入口和溶剂导入隔板，所述储液容器内装有液态干燥溶剂，所述储液容器进口端连接溶剂控制系统，所述储液容器出口端通过管道连接注入口，所述注入口安装在干燥箱内的顶端部位，所述注入口的下方装有溶剂导入隔板，所述溶剂导入隔板安装在干燥箱的侧壁上。
3.如权利要求2所述的薄膜干燥装置，其特征在于：所述溶剂导入隔板的角度可调，所述溶剂导入隔板的角度调节范围为45-80度。
4.如权利要求1、2或3所述的薄膜干燥装置，其特征在于：所述排液控制机构包括真空吸取器和流体控制阀，所述真空吸取器和流体控制阀安装在排液管道上。
5.如权利要求4所述的薄膜干燥装置，其特征在于：所述干燥箱顶部盖板位置处设有热惰性气体喷淋口，所述热惰性气体喷淋口通过管道连接惰性气体储气罐。
6.如权利要求5所述的薄膜干燥装置，其特征在于：所述液态干燥溶剂为无水酒精或异丙醇有机溶剂。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012201158589U CN202523692U (zh) | 2012-03-23 | 2012-03-23 | 一种薄膜干燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012201158589U CN202523692U (zh) | 2012-03-23 | 2012-03-23 | 一种薄膜干燥装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202523692U true CN202523692U (zh) | 2012-11-07 |
Family
ID=47106627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2012201158589U Expired - Fee Related CN202523692U (zh) | 2012-03-23 | 2012-03-23 | 一种薄膜干燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202523692U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113760020A (zh) * | 2021-09-26 | 2021-12-07 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体设备的压力控制装置及半导体设备 |
-
2012
- 2012-03-23 CN CN2012201158589U patent/CN202523692U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113760020A (zh) * | 2021-09-26 | 2021-12-07 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体设备的压力控制装置及半导体设备 |
| CN113760020B (zh) * | 2021-09-26 | 2023-06-02 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体设备的压力控制装置及半导体设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103779186B (zh) | 气液两相雾化流量可控清洗装置及清洗方法 | |
| CN103111436A (zh) | 雾化异丙醇基片干燥设备 | |
| CN201561627U (zh) | 硅片吹干系统 | |
| CN202523692U (zh) | 一种薄膜干燥装置 | |
| CN107457236A (zh) | 一种全自动回收瓶标签清洗机 | |
| CN108461419A (zh) | 基板处理装置 | |
| CN102610489A (zh) | 一种有机溶剂薄膜干燥装置 | |
| CN210663662U (zh) | 一种晶圆氮气干燥装置 | |
| CN102496590A (zh) | 带超声或兆声振子的异丙醇干燥机 | |
| CN102867885B (zh) | 使硅颗粒干燥并且回收溶剂 | |
| WO2024051334A1 (zh) | 一种应用于晶圆干燥装置中的异丙醇和氮气混合罐 | |
| CN205099785U (zh) | 用于硅外延生长的水冷装置 | |
| CN206857411U (zh) | 一种多功能储水罐 | |
| CN203155611U (zh) | 雾化异丙醇基片干燥设备 | |
| CN209094013U (zh) | 一种湿法清洗装置 | |
| CN104607430A (zh) | 一种胶杯自动清洗的方法 | |
| CN102553308A (zh) | 水搅拌型锥斗污泥浓缩设备 | |
| CN105583191A (zh) | 一种超声波清洗机的机体结构 | |
| CN208240617U (zh) | 硅片湿法刻蚀表面水膜均匀铺设装置 | |
| CN206935922U (zh) | 一种太阳能电池硅片清洗槽 | |
| CN105457458A (zh) | 一种空气干燥器 | |
| CN104319252A (zh) | 单片硅片清洗机台 | |
| CN205324264U (zh) | 一种节水型芯片清洗装置 | |
| CN103696480A (zh) | 一种雨水离线器 | |
| CN102896129A (zh) | 一种用于太阳能光伏清洗槽的慢提抽风装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20121107 Termination date: 20190323 |