CN202513194U - 基板传送系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种基板传送系统，其应用于一处理设备中，包括传动部件、动力机构、伸缩驱动机构、旋转驱动机构和密封装置，所述动力机构可以为所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构提供伸缩与旋转用的动力，所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构分别与所述传动部件连接，用于驱动所述传动部件伸缩运动或者旋转运动，所述处理设备具有处理腔室，其中，所述传动部件、所述伸缩驱动机构和所述旋转驱动机构均设置在所述处理腔室内，所述密封装置用于密封连接所述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构。本实用新型提供的基板传送系统，减少了密封传动机构的使用，降低了设备成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种基板传送系统，尤其涉及一种化学气相沉积装置中的基板传送系统。
背景技术
薄膜太阳能电池在弱光条件下仍可发电，其生产过程能耗低，具备大幅度降低原料和制造成本的潜力，因此，市场对薄膜太阳能电池的需求正逐渐增长而制造薄膜太阳能电池的技术和设备更成为近年来的研究热点。化学气相沉积设备是常用的薄膜太阳能电池制造设备。而制造薄膜太阳能电池的电极通常采用低压化学气相沉积装置来完成。在前述的低压化学气相沉积装置中，用于制造薄膜太阳能电池的玻璃基板将被基板传送系统从玻璃基板承载室传送到玻璃基板处理腔中，然后在所述玻璃基板处理腔中，所述玻璃基板将被所述基板传送系统调整到某一高度位置，以便对所述玻璃基板机进行低压化学气相沉积处理。也即，所述玻璃基板在所述低压化学气相沉积装置中要完成两个方向的运动，即前后移动和上下移动。所述前后移动用以将所述玻璃基板传输到不同的腔室中，所述上下移动用以将所述玻璃基板调整到预定的高度位置，以便对所述玻璃基板进行前述的低压化学气相沉积处理。
在现有技术中，所述基板传送系统中通常采用滚轮或辊装置，所述滚轮或辊可以作轴向运动，以在基座的抬升销的配合下，完成所述玻璃基板的上下移动，所述滚轮或辊还可以滚动，已完成所述玻璃基板的前后移动。图1为示出了公开号为CN101636522A的中国专利文件中揭示的基板传送系统，所述基板传送系统包括滚轮或辊36，滚轮或辊36可以作轴向伸缩运动，当可竖直移动的抬升销(图未示)升起基板到预定高度后，所述滚轮或辊36伸出，支向所述基板底部，并开始滚动，以便实现对所述基板的传送。
现有技术的基板传送系统为了实现对所述滚轮或辊的滚动和轴向伸缩控制，往往会将所述基板传送系统的一部分传动驱动机构设置在腔体外，并且设置专门的密封传动机构用于密封连接内传动机构与外传动机构，例如中国公开专利CN101648649号所公开的基板传送系统(图未示)，其包括设置在腔室外的驱动机构和外传动机构、容置在腔室侧壁密封孔中的密封传动机构以及布设在腔室内两侧的内传动机构，所述驱动机构同步驱动外传动机构，所述密封传动机构一端与外传动机构相连，另一端与内传动机构相连，所述内传动机构包括传动轴和传送轮，所述传动轴一端与密封传动机构相连，另一端与传送轮相连，通过传送轮来传送基片等薄板材料。但该种基板传送系统一方面由于其具有外传动机构，另一方面其传输辊的一端设置在腔体侧壁内，由于传输辊的数量较多，因此需要多组密封传动体，这种多组的密封传动机构提高了设备的制造成本，并且容易引起设备故障。
实用新型内容
本实用新型提供的基板传送系统，以减少密封传动机构的使用，降低成本。
为了达到上述目的，本实用新型提供一种基板传送系统，应用于一处理设备中，包括传动部件、动力机构、伸缩驱动机构、旋转驱动机构和密封装置，所述动力机构可以为所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构提供伸缩与旋转用的动力，所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构分别与所述传动部件连接，用于驱动所述传动部件伸缩运动或者旋转运动，所述处理设备具有处理腔室，其特征在于，所述传动部件、所述伸缩驱动机构和所述旋转驱动机构均设置在所述处理腔室内，所述密封装置用于密封连接所述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构。
优选地，所述密封装置包括旋转驱动密封装置，所述旋转驱动密封装置用于密封连接所述旋转驱动机构与所述动力机构。
优选地，所述密封装置包括伸缩驱动密封装置，所述伸缩驱动密封装置用以密封连接所述伸缩驱动机构与所述动力机构。
优选地，所述动力机构包括伸缩驱动动力机构与旋转驱动动力机构，所述旋转驱动密封装置用于密封连接所述旋转驱动机构与所述旋转驱动动力机构，所述伸缩驱动密封装置用于密封连接所述伸缩驱动机构与所述伸缩驱动动力机构。
优选地，所述传动部件为传输滚子或辊。
优选地，所述传动部件具有轴，所述轴装设在支座上，所述支座的伸出、撤回或摆动可以实现所述转动部件的伸缩运动。
优选地，所述旋转驱动动力机构包括马达与链条。
优选地，所述旋转驱动机构包括与所述链条相连接的软轴、与所述软轴相连的伞齿轮对。
优选地，所述伸缩驱动机构包括与所述伸缩驱动动力机构相连接的轴、与轴连接的旋转机构、与所述旋转机构相连接的连杆、与所述连杆和所述支座连接的导向，所述导向用以伸出或撤回所述支座。
优选地，所述伸缩驱动机构包括与所述伸缩驱动动力机构相连接的轴、与所述轴连接的旋转机构、与所述旋转机构相连接的连杆、与所述连杆和所述支座连接的铰支座，所述铰支座用以摆动所述支座，以实现所述传动部件的伸缩运动。
本实用新型的所述传动部件、所述伸缩驱动机构和所述旋转驱动机构均设置在所述处理腔室内，所述密封装置用于密封连接所述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构。因此本实用新型不需设置任何用于密封传动部件的密封传动机构，节省了成本，也避免了因密封传动机构导致的任何设备故障。另外，本实用新型的密封装置仅用于密封连接所述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构，这使得密封装置的结构更为简单，降低了设备成本。
附图说明
图1是现有技术的基板传送系统的示意图；
图2是本实用新型的处理腔室上盖打开后的基板传送系统的一个实施例子的俯视图；
图3是沿图2的AA线所得的剖面示意图；
图4是图3所示的基板传送系统的传动部件缩回后的示意图；
图5是本实用新型的处理腔室上盖打开后的基板传送系统的另一个实施例子的俯视图；
图6是沿图5的BB线所得的剖面示意图；
图7是图6所示的基板传送系统的传动部件缩回后的示意图。
具体实施方式
本实用新型提供的基板传送系统，应用于一处理设备中，包括传动部件、动力机构、伸缩驱动机构、旋转驱动机构和密封装置，所述动力机构可以为所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构提供伸缩与旋转用的动力，所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构分别与所述传动部件连接，用于驱动所述传动部件伸缩运动或者旋转运动，所述处理设备具有处理腔室，其中，所述传动部件、所述伸缩驱动机构和所述旋转驱动机构均设置在所述处理腔室内，所述密封装置用于密封连接所述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构。因此本实用新型不需设置任何用于密封传动部件的密封传动机构，节省了成本，也避免了因密封传动机构导致的任何设备故障。另外，本实用新型的密封装置仅用于密封连接所述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构，这使得密封装置的结构更为简单，降低了设备成本。
下面结合附图分别进行详细说明。
实施例1
结合图2、3所示，本实用新型的基板传送系统应用于一处理设备(未有图示)中，所述处理设备在本实用新型的最佳实施例子中是低压化学气相沉积设备，所述低压化学气相沉积设备主要用于制造薄膜太阳能电池的电极。所述处理设备具有处理腔室20，所述处理腔室20内设置有基座(未图示)用于放置待处理的基板13，所述基板在本实用新型中是用于制造薄膜太阳能电池的玻璃基板。所述处理腔室20具有上盖(未图示)，所述上盖用于封闭所述处理腔室以使之形成真空环境，以便对所述基板13进行处理。
图2示出了所述处理腔室的上盖打开后的基板传送系统的俯视图，所述基板传送系统包括传动部件6、动力机构、伸缩驱动机构、旋转驱动机构和密封装置，所述动力机构用于为所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构提供伸缩与旋转用的动力，所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构分别与所述传动部件6相连，用以驱动所述传动部件伸缩运动或旋转运动，所述传动部件6、所述伸缩驱动机构和所述旋转驱动机构均设置在所述处理腔室20内，所述密封装置用于密封连接所述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构。
继续参图2、图3所示，所述动力机构包括伸缩驱动动力机构7和旋转驱动动力机构，所述旋转驱动动力机构包括马达1、连接轴3、链条2，所述伸缩驱动动力机构7在本实施方式中也是马达。所述传动部件6在本实施方式中为设置在处理腔室20内的一滚轮或辊，所述传动部件6具有传动轴(未标号)，所述传动轴装设在支座11上，所述支座11的伸出或者撤回运动可以引起所述传动部件6的伸缩运动。正如本领域一般技艺人士所熟知，所述传动部件为多个。由于本实施例子中的传动部件6设置在所述处理腔20内，本实施例子不需设置任何用于密封传动部件6的密封传动机构，节省了成本，也避免了因密封传动机构导致的任何设备故障。所述伸缩驱动机构包括与伸缩驱动动力机构7相连的轴8、与轴8连接的旋转机构9、与所述旋转机构9相连接的连杆10、与所述连杆10和所述支座11连接的导向12，所述导向12用于伸出或者撤回所述支座11，以最终驱动所述传动部件6进行伸缩运动。所述旋转驱动机构包括与所述链条2相连接的软轴4、与所述软轴4相连接的伞齿轮对5。所述密封装置包括旋转驱动密封装置B1与伸缩驱动密封装置B2，所述旋转驱动密封装置B1用于密封连接所述旋转驱动机构与所述所述旋转驱动动力机构，在本实施例子中，所述旋转驱动密封装置B1用于密封连接所述链条2与所述软轴4。所述伸缩驱动密封装置B2用于密封连接所述伸缩驱动动力机构7与设置在所述处理腔室20内的所述轴8。本实施例子的密封装置仅需要旋转驱动密封装置B1与伸缩驱动密封装置B2，不仅减少了密封装置的数量，同时还使得密封装置的结构更为简单，降低了设备成本。
在实际生产过程中，基板13需要被从一个腔室传输到另外一个腔室中，例如在本实施例子中，基板13需从加载腔室(未图示)传输到所述处理腔室20，然后从所述处理腔室20再传出到卸载腔(未图示)。也即背景技术中提到的基板需要实现前后移动，如要实现基板的前后移动，首先所述旋转驱动动力机构1通过所述连接轴3与所述链条2，经由所述旋转驱动密封装置B1将所述旋转驱动动力依次传输至软轴4、伞齿轮对5，然后所述伞齿轮对5的旋转将引起所述传动部件6的转动，从而实现将基板13从一个腔室传输到另外一个腔室，也即实现对所述基板13的前后移动。
此外，在基板13的传输过程中，所述基板13将被所述基板传送系统调整到某一高度位置，以便对所述基板13进行所述低压化学气相沉积处理。也即，所述基板还要完成上下移动，以便基板13可以被传输到处理腔室20中，并被平稳安全的放置在所述基座上。具体地，要完成上述的基板的上下运动，需要所述传动部件6进行伸缩运动，并在所述基座内的顶针机构(未图示)的作用下完成。由于基座与顶针机构是本领域一般技艺人士所熟知的内容，因此在此不予赘述。关于所述传动部件6的伸缩运动的完成，首先，伸缩驱动动力机构7通过所述轴8、旋转机构9、以及连杆10驱动所述导向12，然后所述导向12根据所述伸缩驱动动力机构7发出的伸出或者回撤移动信号以驱动所述支座11进行伸出或者回撤的运动，以最终驱动所述传动机构6进行伸出或者缩回的运动。图4是图3所示的基板传送系统的传动部件缩回后的示意图，如图4所示，所述传动部件6将所述基板13传输到处理腔室20后，所述基座的顶针机构(图未示)升起用以承载所述基板13，所述伸缩驱动动力机构7驱动所述旋转机构9旋转，所述旋转机构9带动所述连杆10运动，所述导向12根据所述旋转机构9、连杆10的运动做出回撤运动从而驱动所述支座11的回撤运动，最终驱动所述传动部件6缩回，所述顶针机构降下用以将所述基板13平稳地放置到所述基座上，以便于对所述基板13的化学气相沉积处理。
实施例2
本实施例子的处理腔室上盖打开后的基板传输系统的俯视图如图5所示，图6示出了沿图5的BB线所得的剖面示意图，结合图5、6所示，本实施例子与实施例1的不同之处在于本实施方式中的伸缩驱动机构的结构不同，本实施方式中的伸缩驱动机构包括与所述伸缩驱动动力机构相连接的轴8、与所述轴8连接的旋转机构9、与所述旋转机构相连接的连杆10、与所述连杆10和所述支座11相连接的铰支座14，所述铰支座14用以摆动所述支座11，以实现所述转动部件6的伸缩运动。图7示出了图6所示的基板传送系统的传动部件缩回后的示意图，如图7所示，所述传动部件6将所述基板13传输到处理腔室20后，所述基座的顶针机构(图未示)升起用以承载所述基板13，所述伸缩驱动动力机构7驱动所述旋转机构9旋转，所述旋转机构9带动所述连杆10运动，所述铰支座14根据所述旋转机构9、连杆10的运动从而驱动所述支座11的外摆运动，最终驱动所述传动部件6缩回，所述顶针机构降下用以将所述基板13平稳地放置到所述基座上，以便于对所述基板13的化学气相沉积处理。本实施例子与实施例1的相同之处在此不予赘述。
尽管本实用新型的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本实用新型的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本实用新型的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本实用新型的保护范围应由所附的权利要求来限定。
Claims (10)
1.一种基板传送系统，应用于一处理设备中，包括传动部件、动力机构、伸缩驱动机构、旋转驱动机构和密封装置，所述动力机构可以为所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构提供伸缩与旋转用的动力，所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构分别与所述传动部件连接，用于驱动所述传动部件伸缩运动或者旋转运动，所述处理设备具有处理腔室，其特征在于，所述传动部件、所述伸缩驱动机构和所述旋转驱动机构均设置在所述处理腔室内，所述密封装置用于密封连接所述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构。
2.如权利要求1所述的基板传送系统，其特征在于，所述密封装置包括旋转驱动密封装置，所述旋转驱动密封装置用于密封连接所述旋转驱动机构与所述动力机构。
3.如权利要求2所述的基板传送系统，其特征在于，所述密封装置包括伸缩驱动密封装置，所述伸缩驱动密封装置用以密封连接所述伸缩驱动机构与所述动力机构。
4.如权利要求3所述的基板传送系统，其特征在于，所述动力机构包括伸缩驱动动力机构与旋转驱动动力机构，所述旋转驱动密封装置用于密封连接所述旋转驱动机构与所述旋转驱动动力机构，所述伸缩驱动密封装置用于密封连接所述伸缩驱动机构与所述伸缩驱动动力机构。
5.如权利要求4所述的基板传送系统，其特征在于，所述传动部件为传输滚子或辊。
6.如权利要求5所述的基板传送系统，其特征在于，所述传动部件具有轴，所述轴装设在支座上，所述支座的伸出、撤回或摆动可以实现所述转动部件的伸缩运动。
7.如权利要求6所述的基板传送系统，其特征在于，所述旋转驱动动力机构包括马达与链条。
8.如权利要求7所述的基板传送系统，其特征在于，所述旋转驱动机构包括与所述链条相连接的软轴、与所述软轴相连的伞齿轮对。
9.如权利要求8所述的基板传送系统，其特征在于，所述伸缩驱动机构包括与所述伸缩驱动动力机构相连接的轴、与轴连接的旋转机构、与所述旋转机构相连接的连杆、与所述连杆和所述支座连接的导向，所述导向用以伸出或撤回所述支座。
10.如权利要求9所述的基板传送系统，其特征在于，所述伸缩驱动机构包括与所述伸缩驱动动力机构相连接的轴、与所述轴连接的旋转机构、与所述旋转机构相连接的连杆、与所述连杆和所述支座连接的铰支座，所述铰支座用以摆动所述支座，以实现所述传动部件的伸缩运动。
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