CN202483986U - 一种可在高真空中工作的波纹管夹紧模块 - Google Patents
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Abstract
一种可在高真空中工作的波纹管夹紧模块。属于真空技术和气动机械领域,其特征是它由波纹管,夹紧面,前、后法兰,导向限位结构,回位弹簧组成。向模块内部充入压缩空气,波纹管向两端伸长,由于波纹管径向有一定刚度,在通用的10bar以下压力,能保证波纹管径向不发生变形。由于波纹管夹紧模块是全封闭结构,没有往复运动于气缸内的活塞杆,所以它在真空中有很好的密封性能。经实践测试它适用于真空镀膜等高真空领域。
Description
1.技术领域:本实用新型涉及真空技术和气动机械领域,
2.背景技术:
真空(Vacnnm)是指定空间内低于一个大气压力的气体状态,可分为低真空(101325~1333N/m1)、中真空(1333N/m1~1×10-1Pa)、高真空(1×10-1~1×10-5Pa)、超高真空(1×10-5~1×10-9Pa)、极高真空(<1×10-9Pa)。波纹管(Bellows)是一种挠性、薄壁、有横向波纹的管壳零件;能补偿吸收管道轴向、横向、角向热变形,密封性好。它分为金属波纹管、波纹膨胀节和金属波纹软管三种。制造方法有滚压成形、焊接成形、橡胶成形、机械胀形、液压成形、滚压成形和电沉积成形等。其材质为可以是不锈钢,铜、橡胶和塑料等。作用:补偿、吸收管道轴向、横向、角向热变形,吸收设备振动;密封性好。气缸和夹紧模块同样是夹紧或夹持作用,夹紧模块实际上就是小型、短行程气缸;不同之处在于缸径、行程和夹持力大小:例如德国费斯托FESTO夹紧气缸(型号DNCKE)缸径φ40、63、100mm,行程10~2000mm和夹持力1300~8000N。FESTO夹紧模块(型号EV)缸径12~63mm、行程0~5mm和夹持力35~1650N。目前应用的夹紧气缸,因为存在着气缸内腔与活塞杆间不同程度的泄漏现象。因此夹紧气缸不能用于高真空容器中,这是行业内的共识。现在德国费斯托FESTO公司出品一种夹紧模块。是无活塞杆短行程气缸,具有膜片,行程3~5mm。是用橡胶膜片执行工作的。实际测试漏气量较大,例如:费斯托FESTO的EV-63夹紧模块,将这种夹紧模块6个放入水中,向夹紧模块中通入6bar压缩空气,肉眼可见每个模块,气囊与底座结合处有很小的气泡不断从冒出。约1个/S,这样高漏率是不能应用在高真空腔室中的。目前市场上没有供应国内外生产的可工作于高真空中的夹紧模块。
3、实用新型内容:
本实用新型提供一种可以在高真空中工作,漏率低于1×10-5Pa/L·S(行业中可认为是不漏的)的波纹管夹紧模块。采用焊接波纹管,其材质可以是不锈钢,铜或非金属材料。
一种可在高真空中工作波纹管夹紧模块,其特征在于:后法兰(1)将波纹管(2)等组成的夹紧模块固定在工作位置上,并导入导出气体、连接回位弹簧(4)、波纹管(2)和限位机构(3);波纹管(2)内没有活塞,保持行程走直线的限位机构(3)和回位弹簧(4),夹紧面(5)、波纹管(2)和后法兰(1)构成全封闭的空间。压缩空气推动波纹管的伸缩作用完成夹紧模块夹紧或放松工作.
有益效果:可在高真空中工作的波纹管夹紧模块,经实践应用,它的各种指标均达到了设计要求,可应用于真空镀膜等,它为高真空领域气动元件的应用,开辟了一条崭新的途径。
4、附图说明:
图1波纹管夹紧模块说明:1、后法兰;2、波纹管;3、导向限位机构;4、回位弹簧;5、夹紧面;
5、具体实施方式
实施例1:见图1
一种可在高真空中工作波纹管夹紧模块,是由后法兰(1),波纹管(2),限位机构(3),回位弹簧(4),夹紧面(5)组成。
一种可在高真空中工作波纹管夹紧模块,其特征在于:后法兰(1)将波纹管(2)等组成的夹紧模块固定在工作位置上,并导入导出气体、连接回位弹簧(4)、波纹管(2)和限位机构(3)。波纹管(2)内没有活塞,保持行程走直线的限位机构(3)和回位弹簧(4),夹紧面(5)、波纹管(2)和后法兰(1)构成全封闭的空间。气动通过波纹管的伸缩作用完成夹紧模块夹紧或放松工作。
工作过程是:夹紧模块通入压缩空气,压缩空气被波纹管径向和下法兰轴向限制住。只有工作面方向可以膨胀。于是压缩空气推动工作面向前运动。如果前面有被夹工件,工件就挡住了夹紧面继续向前的运动。工件就被牢牢夹紧。如果没有工件,在行程末端限位机构将夹紧面拉住。使夹紧面停止运动。当排除压缩空气,外部环境在一个大气压下。回位弹簧将夹紧面拉回初始位置。如果外部环境是真空,排除压缩空气后,由于夹紧模块内部是一个大气压,内外压力差过大。弹簧是拉不回来夹紧面的。这种情况就要用真空泵将夹紧模块内部抽成真空。内外压力差距不大的情况下加紧面就会被回位弹簧拉回到初始位置。
波纹管夹紧模块可工作于高真空中,其主要原因在于:采用高密封性焊接波纹管产品组成。因为目前一些国内公司已经把波纹管做的很好了,有高密封性焊接波纹管产品。焊接波纹管,其材质可以是不锈钢,铜或非金属材料。
例如:安徽威迈公司制作的焊接波纹管真空漏率:1×10-10Pa/L·S。使用寿命:10万次~100万次以上。压缩比:50%~85%。活塞杆进行往复运动是气缸内漏主要因素,从结构、运行机制和性能完全达到了可工作于高真空中的要求。
6、有益效果:可在高真空中工作的波纹管夹紧模块,经实践应用,它的各种指标均达到了设计要求,可应用于真空镀膜等,它为高真空领域气动元件的应用,开辟了一条崭新的途径。
Claims (2)
1.一种可在高真空中工作的波纹管夹紧模块,其特征在于:后法兰(1)将波纹管(2)等组成的夹紧模块固定在工作位置上,并导入导出气体、连接回位弹簧(4)、波纹管(2)和限位机构(3),波纹管(2)内没有活塞,保持行程走直线的限位机构(3)和回位弹簧(4),夹紧面(5)与波纹管(2)和后法兰(1)构成全封闭的空间,压缩空气推动波纹管的伸缩作用完成夹紧模块夹紧或放松工作.。
2.根据权利要求1所述的夹紧模块,其特征是焊接波纹管,其材质可以是不锈钢,铜或非金属材料。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104344001A (zh) * | 2013-07-23 | 2015-02-11 | 苑玉坤 | 大型闸板阀 |
CN104372405A (zh) * | 2014-12-11 | 2015-02-25 | 西安创联新能源设备有限公司 | 一种多晶炉管道自动控制装置 |
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CN104372405B (zh) * | 2014-12-11 | 2017-06-09 | 西安创联新能源设备有限公司 | 一种多晶炉管道自动控制装置 |
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Legal Events
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GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20121010 Termination date: 20131212 |