CN202336668U - 一种具有玻璃整平功能的薄膜太阳能电池激光刻膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种具有玻璃整平功能的薄膜太阳能电池激光刻膜机，包括机架，机架下部设有基座，基座上设置有激光聚焦头和用于传送材料基板的传送装置，还包括设置于机架上的气浮机构，气浮机构产生定向气流，用于整平放置于所述气浮机构中的材料基板。本实用新型所述的刻膜机设备能够在不接触材料基板的前提下很好的将材料基板整平，使其能更高效的被激光刻划。

Description

一种具有玻璃整平功能的薄膜太阳能电池激光刻膜机

技术领域

本实用新型涉及薄膜太阳能电池激光刻划设备，是一种用于整平加工材料的机构，更具体地说，涉及一种具有玻璃整平功能的薄膜太阳能电池激光刻膜机。

背景技术

目前的太阳能薄膜电池生产过程中，通过激光对材料表面薄膜进行刻划使其分离开来，是一个非常重要的工序，它是将激光束经过非常精确的整形和聚焦后，投射到材料薄膜面上进行工作，刻划的线条宽度一般要求在50～60微米之间。要想达到如此精密的线宽，控制好激光的聚焦点就要求非常严格，通常稍微偏离激光的聚焦点，则刻划的线宽就会显著增加，同时激光的能量密度也变低，出现刻划的产品达不到成品的电气性能要求。

然而，用于生产薄膜太阳能电池的原材料基板（钢化玻璃），在进行镀膜过程中会有大幅度温度变化，使材料基板会产生一定程度的变形(严重时不平整度达到3～4mm)，这个变形就会导致激光加工的困难大大增加。同时在激光加工过程中材料镀膜面又不允许被接触，因此通过物理方法来整平材料就非常困难，通常采用增加激光的功率同时加大激光头聚焦的焦距，来减小材料变形对加工线宽的影响，提高加工的成功率，但终究不能得到很好的解决。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种具有玻璃整平功能的薄膜太阳能电池激光刻膜机，该刻膜机设备能够在不接触材料基板的前提下很好的将材料基板整平，使其能更高效的被激光刻划。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种具有玻璃整平功能的薄膜太阳能电池激光刻膜机，包括机架，所述机架下部设有基座，所述基座上设置有激光聚焦头和用于传送材料基板的传送装置，还包括设置于所述机架上的气浮机构，所述气浮机构产生定向气流，用于整平放置于所述气浮机构中的材料基板。

本实用新型的有益效果是：通过上下夹持的气浮机构，可以在不接触材料基板的前提下很好的将变形的材料基板整平，使其能被激光束有效加工，大大提高了生产薄膜太阳能电池的成品率。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，所述气浮机构包括多个间隔分布的气浮条装置，所述激光聚焦头设置在气浮条装置之间的间隔区域中。

进一步，所述气浮条装置由平行相对的上气浮条和下气浮条构成，所述上气浮条和下气浮条均与水平面相平行。

进一步，所述上气浮条产生向下的定向气流，下气浮条产生向上的定向气流。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的侧视图；

图2A为图2中区域B的放大视图；

图3-a为本实用新型气浮机构承载材料基板的示意图；

图3-b为本实用新型气浮机构整平材料基板的示意图；

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、机架，2、基座，3、传送装置，4、下气浮条，5、上气浮条，6、材料基板，7、激光聚焦头，8、激光聚焦光束。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

如图1、图2、图2A所示，本实用新型实施例所述的一种具有玻璃整平功能的薄膜太阳能电池激光刻膜机，包括机架1，所述机架1下部设有基座2，所述基座2上设置有能够产生激光聚焦光束的激光聚焦头7和用于传送材料基板6的传送装置3。

在本实施例中，所述的激光刻膜机还包括设置于所述机架1上的气浮机构，气浮机构包括多个间隔分布的气浮条装置，所述激光聚焦头7设置在气浮条装置之间的间隔区域中，气浮条装置由平行相对的上气浮条5和下气浮条4构成，上气浮条5和下气浮条4均与水平面相平行，所述上气浮条5产生向下的定向气流，下气浮条4产生向上的定向气流，用于整平放置于所述气浮机构中的材料基板6。

被加工的材料基板6通过传送装置3从刻膜机的一端传送至刻膜机的另一端，调整好上气浮条、下气浮条的位置，分别采用上、下气浮条来承载夹持材料基板6，当材料基板6通过上、下气浮条区域时，由于上下气流形成的气垫作用，材料基板6的上表面（镀膜面）不会被接触，可以保证材料镀膜层的完好，使激光聚焦光束8加工区域内的材料基板6保持在一个固定的平面上。

激光聚焦光束8加工区域内，由于可使材料基板6处于激光聚焦平面位置，因此镀膜材料能有效的被激光进行刻划加工，同时还能保证激光加工后的线宽指标和电气性能。

在图3-a中，箭头方向表示气流方向，当变形的材料基板6通过下气浮条4承载时，会保持原来一定程度的变形，当材料基板6被传送到如图3-b中时，因为上气浮条5的作用，通过上下夹持的气流实现将其整平，从而使经聚焦后的激光束能对其进行有效加工。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种具有玻璃整平功能的薄膜太阳能电池激光刻膜机，包括机架（1），所述机架（1）下部设有基座（2），所述基座（2）上设置有激光聚焦头（7）和用于传送材料基板的传送装置（3），其特征在于，还包括设置于所述机架（1）上的气浮机构，所述气浮机构产生定向气流，用于整平放置于所述气浮机构中的材料基板。

2.根据权利要求1所述的具有玻璃整平功能的薄膜太阳能电池激光刻膜机，其特征在于，所述气浮机构包括多个间隔分布的气浮条装置，所述激光聚焦头（7）设置在气浮条装置之间的间隔区域中。

3.根据权利要求2所述的具有玻璃整平功能的薄膜太阳能电池激光刻膜机，其特征在于，所述气浮条装置由平行相对的上气浮条（5）和下气浮条（4）构成，所述上气浮条（5）和下气浮条（4）均与水平面相平行。

4.根据权利要求1～3任一项中所述的具有玻璃整平功能的薄膜太阳能电池激光刻膜机，其特征在于，所述上气浮条（5）产生向下的定向气流，下气浮条（4）产生向上的定向气流。

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