CN202332927U - 分体式pecvd及扩散设备架 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种分体式PECVD及扩散设备架，它包括工作台、排毒箱、主机、气源柜，且工作台、排毒箱、主机、气源柜顺序相连；其中工作台包括工作台上框、工作台中框、机械手、工作台下框、电脑控制台，工作台上框和工作台下框分别位于工作台的顶部和底部，二者相互平行，工作台中框连接着工作台上框和工作台下框；电脑控制台、机械手的顶部和底部分别与工作台上框、工作台下框连接，其长度方向与工作台上框及工作台下框的平面相互垂直；主机包括主机下框、主机中框、主机上框，三者依次相连；结构简单、可进行分拆，有效地节约运输空间，不仅便于运输且极大地降低了运输成本；而且其可分式结构给维修带来了便利。

Description

分体式PECVD及扩散设备架

技术领域

本实用新型涉及半导体、光伏产业中的PECVD及扩散的设备架，尤其涉及对其设备框架的改进。

背景技术

目前用于太阳能电池片生产的扩散及PECVD设备的框架，其工作台、主机等都是一体式，不仅占用空间大，而且维修不方便。同时还给运输造成极大困难，增加了运输成本。随着太阳能电池片的快速发展，已无法满足其产业需求，急需对设备结构进行改进。   

发明内容

为了解决以上技术问题，本实用新型提供了一种结构简单、节省空间、便于维修及运输的分体式PECVD及扩散设备架。

本实用新型所述分体式PECVD及扩散设备架，包括工作台、排毒箱、主机、气源柜，且工作台、排毒箱、主机、气源柜顺序相连；其中工作台包括工作台上框、工作台中框、机械手、工作台下框、电脑控制台，工作台上框和工作台下框分别位于工作台的顶部和底部，二者相互平行，工作台中框连接着工作台上框和工作台下框；电脑控制台、机械手的顶部和底部分别与工作台上框、工作台下框连接，其长度方向与工作台上框及工作台下框的平面相互垂直；主机包括主机下框、主机中框、主机上框，三者依次相连。

本实用新型所述分体式PECVD及扩散设备架结构简单、可进行分拆，有效地节约运输空间，不仅便于运输且极大地降低了运输成本；而且其可分式结构给维修带来了便利。其中工作台可容纳工控机、显示器、推拉舟和机械手的等控制原件，而不再使用单独的控制柜，电缆不再暴漏在设备的外面，提高了设备的空间利用率及安全性能。

为达到更好的效果，本实用新型所述分体式PECVD及扩散设备架还可以采用以下措施：

1、所述电脑控制台包括控制台上框、显示器安装框、键盘框、控制台下框，其中控制台上框、显示器安装框、键盘框、控制台下框由上至下顺序相连，显示器安装框与竖直方向成18度角。该结构采用人体工程学的设计，便于人员观察及操作。

2、所述工作台下框内设置有3个空气净化器，工作台上框内设置有3个轴流风机。通过风机向上吹风及抽风，使出炉的石墨舟得到冷却，再通过风筒将热量排出。

3、所述主机上框内设置有3个轴流风机。可将主机内的热量通过风筒排到室外。

附图说明

图1为本实用新型所述分体式PECVD及扩散设备架的结构图。

图2为图1中工作台部分的结构图。

图3为图2中电脑控制台部分的主视图。

图4为图3的左视图。

图5为图1中主机部分的结构图。

图中编号说明:

1-工作台；2-排毒箱；3-主机；4-气源柜；5-工作台上框；6-工作台中框；7-机械手；8-工作台下框；9-电脑控制台；10-主机下框；11-主机中框；12-主机上框；13-控制台上框；14-显示器安装框；15-键盘框；16-控制台下框。

具体实施方式

结合图1至图5对本实用新型所述分体式PECVD及扩散设备架进行详细说明。

如图1所示，本实用新型所述分体式PECVD及扩散设备架包括工作台1、排毒箱2、主机3、气源柜4，工作台1、排毒箱2、主机3、气源柜4从左至右依次顺利相连。

其中，工作台1是装舟、卸舟的工作平台，其结构如图2所示，包括工作台上框5、工作台中框6、机械手7、工作台下框8、电脑控制台9，工作台上框5和工作台下框6分别位于工作台的顶部和底部，二者相互平行且在该方向的面积相同，构成工作台的顶面和地面。为了便于运输，减小运输空间，工作台1采用分体式的，工作台上框5、工作台中框6、机械手7、工作台下框8、电脑控制台9都是分体单独的部件。

工作台中框6位于工作台上框5和工作台下框8之间并与之连接。

在工作台上框5和工作台下框6左前角、垂直于其二者平行方向上，设置有电脑控制台9，其连接着工作台上框5和工作台下框6。

机械手7中有两根竖直构架，其中一根位于工作台上框5和工作台下框6的右前角且垂直于其二者平行方向，其上下端分别与工作台上框5和工作台下框6连接，另一根的上下端在位于工作台上框5和工作台下框6的中部与之连接，两根构架的长度方向与工作台上框5及工作台下框6的平面相互垂直。

电脑控制台9的结构如图3和图4所示，包括控制台上框13、显示器安装框14、键盘框15、控制台下框16，其中控制台上框13、显示器安装框14、键盘框15、控制台下框16由上至下依次连接，电脑控制台采用人体工程学的设计，安装后电脑显示器平面与竖直方向成18度。

主机3主要是用于承载加热炉体，如图5所示，它主要由主机下框10、主机中框11、主机上框12三部分组成，为了便于运输，减小运输空间，这三部分都是单独的，可以分体的。主机上框12有3个轴流风机将主机内的热量通过3个风筒排到室外。

气源柜4主要是放置气路盘、气路原件的框架，它不仅将气路盘、气路原件装配到上面，而且将控制气炉的电器原件、控制炉体温度的温控仪表等电器件都装配其中，有效的节约的设备的空间，使设备的外形更美观。

Claims (5)

1.一种分体式PECVD及扩散设备架，其特征在于它包括工作台、排毒箱、主机、气源柜，且工作台、排毒箱、主机、气源柜顺序相连；其中工作台包括工作台上框、工作台中框、机械手、工作台下框、电脑控制台，工作台上框和工作台下框分别位于工作台的顶部和底部，二者相互平行，工作台中框连接着工作台上框和工作台下框；电脑控制台、机械手的顶部和底部分别与工作台上框、工作台下框连接，其长度方向与工作台上框及工作台下框的平面相互垂直；主机包括主机下框、主机中框、主机上框，三者依次相连。

2.根据权利要求1所述的分体式PECVD及扩散设备架，其特征在于所述电脑控制台包括控制台上框、显示器安装框、键盘框、控制台下框，其中控制台上框、显示器安装框、键盘框、控制台下框由上至下顺序相连，显示器安装框与竖直方向成18度角。

3.根据权利要求1或2所述的分体式PECVD及扩散设备架，其特征在于所述工作台下框内设置有3个空气净化器，工作台上框内设置有3个轴流风机。

4.根据权利要求1或2所述的分体式PECVD及扩散设备架，其特征在于所述主机上框内设置有3个轴流风机。

5. 根据权利要求3所述的分体式PECVD及扩散设备架，其特征在于所述主机上框内设置有3个轴流风机。

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