CN202320975U - 一种提篮 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种提篮，特别是涉及在半导体封装行业晶圆切割运送工序可盛装固定在金属圈上的晶圆的提篮。本实用新型的一种提篮，包括篮体（6）、左槽板（1）、右槽板（3），所述左槽板（1）和右槽板（3）内侧分别设有多个相对应的竖向滑槽（13），左槽板（1）和右槽板（3）外侧还分别设有提手（8），本实用新型的一种提篮加大了安全性，使晶圆能够安全的放入其中，不会滑落，确保在运送过程中不被损坏，运送更安全。

Description

一种提篮

技术领域

本实用新型涉及一种提篮，尤其涉及在半导体封装行业晶圆切割运送工序可盛装固定在金属圈上的晶圆的提篮。

背景技术

晶圆提篮是一种晶圆切割加工运送的工具，主要用在晶圆烘烤、晶圆切割工序用来盛装、运送晶圆，其应用形式有两类：

一类是针对可自动上下料的晶圆切割机设计的，该提篮的设计能使机械手臂从中抓取装裱上晶圆的金属圈，当切割完成后机械手臂能将切割完成的晶圆从机器中退出到提篮里，这种提篮要求的精度教高，提篮的高度、和每一片之间的空隙都有严格的要求，主要是防止机械手臂在抓片的过程中卡料。

另一类是针对不能自动上下料的晶圆切割机设计的。

本实用新型设计的提篮就是针对不能自动上下料，需人工手动上下料而改进设计的一种提篮，由于该提篮不需要自动上下料，所以精度要求没有自动上下料提篮高，完全是为了能在加工过程中安全、实用而设计的。

现有提篮包括左槽板、右槽板、提手以及左右槽板间的支柱，所述左槽板和右侧板内侧分别设有横向的滑槽，左槽板和右槽板竖直方向的两端分别设有可沿槽板竖直方向旋动的档杆，所述档杆为柱条形或板条形。由于该提篮的用于卡放晶圆的滑槽是横向的，槽板两端的竖向的档杆起到阻挡卡入左右槽板滑槽中的晶圆滑落的作用。在盛装、运送晶圆时频次较高易造成档杆损坏或意外导致档杆旋动，容易造成晶圆滑落，导致晶圆损坏，从而存在安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的发明目的在于：为了解决现有一种盛装晶圆在盛装、运送晶圆时频次较高易造成档杆损坏或意外导致档杆旋动，容易造成晶圆滑落，导致晶圆损坏的问题，提供一种不易滑落损坏晶圆的提篮。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种提篮，包括篮体、左槽板、右槽板，所述左槽板和右槽板内侧分别设有多个相对应的竖向滑槽，左槽板和右槽板外侧还分别设有提手。

作为优选方案，所述提手分别铰接安装在左槽板和右槽板上，且所述两只提手可旋转到篮体上方接触。

作为优选方案，所述两只提手中，其中一只提手两臂之间连接有长横条，另一只提手的其中一臂上连接有短横条，所述长横条上套有可滑动的套筒，所述套筒在两只提手并拢时，套筒将长横条及短横条套在一起。

作为优选方案，所述篮体呈U形，左槽板和右槽板分别固定于篮体两侧形成上部开口的空腔体。

作为优选方案，所述左槽板和右槽板内侧外表面分别设有长条形的限位条。

作为优选方案，所述左槽板和右槽板通过支柱或支块或支柱和支块安装在篮体上。

作为优选方案，所述支柱或支块分别通过焊接或螺钉连接在篮体竖起的两个面的内侧，所述左槽板和右槽板分别通过焊接或螺钉连接在支柱或支块的两端上。

作为优选方案，所述支柱和支块分别通过焊接或螺钉连接在篮体竖起的两个面的内侧，所述左槽板和右槽板分别通过焊接或螺钉连接在支柱和支块的两端上。   

作为优选方案，所述篮体上设有多个通孔。

作为优选方案，所述左槽板和右槽板上设有多个通孔。

本实用新型中的一种提篮由横向滑槽改为竖向滑槽，滑槽下端有限位条使晶圆外环的金属圈不与提篮底部接触，使提篮在水平倾斜≤90°内不会让提篮内的晶圆受重力影响而滑落的，槽板上端还设有两个提手，提手中间设有长横条和短横条，当两个提手合拢时，长横条上可滑移的套筒可以将短横条也套上，从而保证两个提手不会分开，加大了安全性，使晶圆能够安全的放入其中，不会滑落，确保在运送过程中不被损坏，运送更安全。

附图说明

本实用新型将通过例子并参照附图的方式说明，其中：

图1是本实用新型一种提篮的示意性结构图

图2是本实用新型一种提篮的示意性结构分解图

图3是本实用新型一种提篮提手分开的示意性使用状态图。

图4是本实用新型一种提篮提手合拢且套筒套上的示意性使用状态图。

图中标记为：1-左槽板、2-支柱、3-右槽板、4-限位条、5-螺钉、6-篮体、7-合页、8-提手、9-长横条、10-短横条、11-套筒、12-支块、13-滑槽。

具体实施方式

如图1所示，本实施例的一种提篮，包括左槽板1、支柱2、右槽板3、限位条4、螺钉5、篮体6、合页7、提手8、长横条9、短横条10、套筒11、支块12、滑槽13。

下面结合附图对本实用新型的实施例作进一步详细描述。

如图1 、2、3和4所示，本实施例的一种提篮，包括篮体6、左槽板1、右槽板3，所述左槽板1和右槽板3内侧分别设有多个相对应的竖向滑槽13，左槽板1和右槽板3外侧还分别设有提手8，所述提手8分别铰接安装在左槽板1和右槽板3上，且所述两只提手可旋转到篮体6上方接触，所述篮体6呈U形，左槽板1和右槽板3分别固定于篮体6两侧形成上部开口的空腔体,由于采用了竖向的滑槽8和篮体6可以使提篮在≤90°水平倾斜角度内避免晶圆受重力影响而滑落。

根据本实用新型的实施例，所述两只提手8中，其中一只提手两臂之间连接有长横条9，另一只提手的其中一臂上连接有短横条10，所述长横条9上套有可滑动的套筒11，所述套筒11在两只提手8并拢时，套筒11将长横条9及短横条10套在一起， 使两个提手不会分开，加大了安全性。

根据本实用新型的实施例，所述左槽板1和右槽板3内侧外表面分别设有长条形的限位条4，使晶圆外环的金属圈不与提篮底部接触。

根据本实用新型的实施例，所述左槽板1和右槽板3通过支柱2或支块12或支柱2和支块12安装在篮体6上，所述支柱2或支块12分别通过焊接或螺钉连接在篮体6竖起的两个面的内侧，所述左槽板1和右槽板3分别通过焊接或螺钉连接在支柱2或支块12的两端上，所述支柱2和支块12分别通过焊接或螺钉连接在篮体6竖起的两个面的内侧，所述左槽板1和右槽板3分别通过焊接或螺钉连接在支柱2和支块12的两端上，使得提篮更加牢固不易变形。 

根据本实用新型的实施例，所述篮体6上设有多个通孔，所述左槽板1和右槽板3上设有多个通孔，增加了散热性能，有利于晶圆切割后快速散发热量。

综上所述，由于采用了上述技术方案，与现有技术相比本实用新型的有益效果是：使晶圆外环的金属圈不与提篮底部接触，提篮在水平倾斜≤90°内不会让提篮内的晶圆受重力影响而滑落的，两个提手有套筒的限制防止分开，加大了安全性，使晶圆能够安全的放入其中而不会滑落，确保晶圆在运送过程中不被损坏，运送更安全。

本说明书包括任何附加权利要求、摘要和附图中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种提篮，包括篮体（6）、左槽板（1）、右槽板（3），其特征在于，所述左槽板（1）和右槽板（3）内侧分别设有多个相对应的竖向滑槽（13），左槽板（1）和右槽板（3）外侧还分别设有提手（8）。

2.根据权利要求1所述的一种提篮，其特征在于，所述提手（8）分别铰接安装在左槽板（1）和右槽板（3）上，且所述两只提手可旋转到篮体（6）上方接触。

3.根据权利要求2所述的一种提篮，其特征在于，所述两只提手（8）中，其中一只提手两臂之间连接有长横条（9），另一只提手的其中一臂上连接有短横条（10），所述长横条（9）上套有可滑动的套筒（11），所述套筒（11）在两只提手（8）并拢时，套筒（11）将长横条（9）及短横条（10）套在一起。

4.根据权利要求1所述的一种提篮，其特征在于，所述篮体（6）呈U形，左槽板（1）和右槽板（3）分别固定于篮体（6）两侧形成上部开口的空腔体。

5.根据权利要求1所述的一种提篮，其特征在于，所述左槽板（1）和右槽板（3）内侧外表面分别设有长条形的限位条（4）。

6.根据权利要求3或4所述的一种提篮，其特征在于，所述左槽板（1）和右槽板（3）通过支柱（2）或支块（12）或支柱（2）和支块（12）安装在篮体（6）上。

7.根据权利要求6所述的一种提篮，其特征在于，所述支柱（2）或支块（12）分别通过焊接或螺钉连接在篮体（6）竖起的两个面的内侧，所述左槽板（1）和右槽板（3）分别通过焊接或螺钉连接在支柱（2）或支块（12）的两端上。

8.根据权利要求6所述的一种提篮，其特征在于，所述支柱（2）和支块（12）分别通过焊接或螺钉连接在篮体（6）竖起的两个面的内侧，所述左槽板（1）和右槽板（3）分别通过焊接或螺钉连接在支柱（2）和支块（12）的两端上。

9.根据权利要求1所述的一种提篮，其特征在于，所述篮体（6）上设有多个通孔。

10.根据权利要求1所述的一种提篮，其特征在于，所述左槽板（1）和右槽板（3）上设有多个通孔。

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