CN202295868U - 光罩推车 - Google Patents

Abstract

一种光罩推车，其包括主支架以及置于主支架上用以放置光罩的层板，所述层板上固定有若干沿第一水平方向间隔排布的第一圆棒，所述相邻两个第一圆棒之间以及最外侧的第一圆棒与主支架之间形成收容光罩的收容槽，所述光罩呈竖直间隔分离式摆放在层板上。本实用新型光罩推车通过设置若干间隔排布的第一圆棒，使得光罩间隔分离式摆放在层板上，充分利用空间，光罩运输数量多，该光罩推车还具有完善的减震措施以及防止光罩倾翻的结构设计，在运输过程中保证光罩不被倾翻，进而防止光罩损坏。

Description

光罩推车

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及半导体制造领域内的一种光罩推车。

背景技术

集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。随着半导体技术的发展，光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2～3个数量级，已从常规学技术发展成应用电子束、X射线、微离子束、激光等新技术，光刻技术成为了一种精密的微细加工技术。

光罩在光刻技术中又称光掩模版。现有技术中光罩主要采用防静电箱或光罩推车进行运输。其中，使用防静电箱搬运光罩效率低，运输量少(1次只能搬运6块)，搬运过程中安全性低，人员摔倒易造成防静电箱翻倒，进而导致光罩的损坏，并且，防静电箱无防震系统易造成搬运过程中的震荡，同样会导致光罩的损坏，防静电箱为密闭空间，洁净度低，容易引起微粒的堆积。使用现有的光罩推车搬运光罩，空间利用率低，光罩推车上设有用以放置光罩的纵向立柱式光罩柜，光罩在光罩推车内一般都采用横向平躺摆放，安全性低，光罩容易倾倒出来且防震措施不完善，易造成光罩的损坏，稳定性低，光罩柜与底部可以拆卸，防震效果不好易造成光罩的损坏。

因此，针对上述技术问题，有必要提供一种具有改良结构的光罩推车，以克服上述缺陷。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种光罩推车，该光罩推车能解决光罩运输数量少，运输过程中光罩易摔坏，光罩推车无完善的减震措施，光罩推车内容易堆积微粒的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种光罩推车，其包括主支架以及置于主支架上用以放置光罩的层板，所述层板上固定有若干沿第一水平方向间隔排布的第一圆棒，所述相邻两个第一圆棒之间以及最外侧的第一圆棒与主支架之间形成收容光罩的收容槽，所述光罩呈竖直间隔分离式摆放在层板上。

优选的，在上述光罩推车中，所述若干第一圆棒包括至少两列，所述两列第一圆棒沿与第一水平方向垂直的第二水平方向间隔排布，所述相邻两列第一圆棒之间还设有区隔该两列第一圆棒的第二圆棒。

优选的，在上述光罩推车中，所述第一圆棒与第二圆棒皆呈“ㄇ”型，所述“ㄇ”型圆棒包括用以间隔分离光罩的限位部以及自限位部两端弯折延伸的安装部，所述安装部与层板固定在一起。

优选的，在上述光罩推车中，所述层板上设有若干贯通层板以避免小颗粒堆积的小孔。

优选的，在上述光罩推车中，所述层板呈长方形，所述层板的四个角与主支架之间设有减震垫，所述减震垫与主支架固定在一起。

优选的，在上述光罩推车中，所述主支架呈长方体结构且包括两层，所述主支架每层的四面设有封板，所述四个封板与层板共同围成一个收容光罩的收容空间。

优选的，在上述光罩推车中，所述主支架的下方还设有防撞块，所述防撞块向外凸出主支架。

优选的，在上述光罩推车中，还包括位于防撞块下方的导向轮以及位于导向轮与防撞块之间的避震连接件，所述避震连接件一端与导向轮连接固定，所述避震连接件另一端与主支架连接固定。

优选的，在上述光罩推车中，所述导向轮为万向轮，所述万向轮上设有刹车系统。

从上述技术方案可以看出，本实用新型实施例的光罩推车通过设置若干间隔排布的第一圆棒，使得光罩间隔分离式摆放在层板上，充分利用空间，光罩运输数量多，该光罩推车还具有完善的减震措施以及防止光罩倾翻的结构设计，在运输过程中保证光罩不被倾翻，进而防止光罩损坏。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型光罩推车的立体示意图；

图2是本实用新型光罩推车中圆棒安装在层板上的俯视图；

图3是本实用新型光罩推车中减震垫安装位置的局部放大图。

100、光罩推车1、主支架11、连接杆12、封板13、防撞块14、导向轮15、避震连接件16、刹车系统2、层板21、小孔3、减震垫4、第一圆棒41、限位部42、安装部5、第二圆棒

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。随着半导体技术的发展，光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2～3个数量级，已从常规学技术发展成应用电子束、X射线、微离子束、激光等新技术，光刻技术成为了一种精密的微细加工技术。

光罩在光刻技术中又称光掩模版。现有技术中光罩主要采用防静电箱或光罩推车进行运输。其中，使用防静电箱搬运光罩效率低，运输量少(1次只能搬运6块)，搬运过程中安全性低，人员摔倒易造成防静电箱翻倒，进而导致光罩的损坏，并且，防静电箱无防震系统易造成搬运过程中的震荡，同样会导致光罩的损坏，防静电箱为密闭空间，洁净度低，容易引起微粒的堆积。使用现有的光罩推车搬运光罩，空间利用率低，光罩推车上设有用以放置光罩的纵向立柱式光罩柜，光罩在光罩推车内一般都采用横向平躺摆放，安全性低，光罩容易倾倒出来且防震措施不完善，易造成光罩的损坏，稳定性低，光罩柜与底部可以拆卸，防震效果不好易造成光罩的损坏。

本实用新型公开了一种光罩推车，所述光罩推车通过设置若干间隔排布的第一圆棒，使得光罩间隔分离式摆放在层板上，充分利用空间，光罩运输数量多，该光罩推车还具有完善的减震措施以及防止光罩倾翻的结构设计，在运输过程中保证光罩不被倾翻，进而防止光罩损坏。

请参阅图1及图2所示，所述光罩推车100包括主支架1以及置于主支架1上且用以放置光罩的层板2。所述主支架1由若干连接杆11搭接而成，所述主支架1整体呈长方体框架结构，该长方体框架结构的主支架1中设有沿上下方向排布且用以收容光罩的两层空间，所述主支架1每层空间的四面分别设有封板12，所述四个封板12与该层的层板2共同围成一个收容光罩的收容空间。所述主支架1的每层空间内放置有四列光罩。每列可放8块光罩，其中，前三列光罩用若干第一圆棒4(容后详述)分隔。第四列无第一圆棒4分隔，特供放置专用光罩版盒。

请参阅图1及图3所示，所述主支架1的下方还设有防撞块13，所述防撞块13向外凸出主支架1。如此设置，当外界物体与光罩推车100碰撞时，首先与防撞块13接触，经过防撞块13的减震，减小了碰撞对光罩的破坏。所述光罩推车100还包括位于防撞块13下方的四只导向轮14以及位于导向轮14与防撞块13之间的避震连接件15，所述避震连接件15一端与导向轮14连接固定，所述避震连接件15另一端与主支架1连接固定，所述导向轮14为万向轮，所述万向轮14上设有刹车系统16，如此设置，通过设置四只带刹车系统16的万向轮14，可防止静电产生。

请继续参阅图1及图2所示，所述层板2包括两块，该两块层板2分别安装在主支架1的两层空间内。所述层板2上设有若干贯通层板2小孔21。如此设置，通过在层板2上设有若干小孔21，可避免光罩推车100内微粒堆积。

所述层板2呈长方形，所述层板2的四个角与主支架1之间设有减震垫3。所述减震垫3安装固定在光罩推车100的主支架1上。所述层板2可拆装的放置在四个减震垫3上。如此设置，在光罩推车100晃动或者受碰撞时，减震垫3可以削减一些震动，减小晃动或者碰撞对光罩造成破坏。所述层板2上固定有若干沿第一水平方向间隔排布的第一圆棒4，所述相邻两个第一圆棒4之间以及最外侧的第一圆棒4与安装在主支架1上的封板12之间形成收容光罩的收容槽，所述光罩呈竖直间隔分离式摆放在层板2上。如此设置，通过设置若干间隔排布的第一圆棒4，使得光罩间隔分离式摆放在层板上，充分利用空间，光罩运输数量多，并且第一圆棒4可以限制光罩在第一水平方向上的运动范围，保证光罩不被倾倒。

请参阅图2所示，所述若干第一圆棒4包括三列，所述三列第一圆棒4沿与第一水平方向垂直的第二水平方向间隔排布，所述相邻两列第一圆棒4之间还设有对该两列第一圆棒4进行区隔的第二圆棒5。如此设置，可以限制光罩在第二水平方向上的运动范围，保证光罩不被倾倒。所述第一圆棒4与第二圆棒5皆呈“ㄇ”型，所述“ㄇ”型圆棒包括用以间隔分离光罩的限位部41以及自限位部41两端弯折延伸的安装部42，所述安装部42与层板2固定在一起。

本实用新型光罩推车100通过在第一水平方向上设置若干第一圆棒4对光罩进行区隔以及在第二水平方向上设置若干第二圆棒5对相邻两列第一圆棒4进行区隔，使得光罩呈竖直间隔分离式摆放在层板2上。如此设置，充分利用空间，光罩运输数量多，并且第一圆棒4可以限制光罩在第一水平方向上的运动范围，第二圆棒5可以限制光罩在第二水平方向上的运动范围，共同避免光罩被倾倒出光罩推车100。

本实用新型光罩推车100通过在层板2的四个角与主支架1之间设置减震垫3，通过在推车底部与导电轮14之间设置避震连接件15，通过在主支架1的下方设置防撞块13，借助该三层减震系统，最大限度降低光罩推车100在运输过程中产生晃动量。

本实用新型光罩推车100通过在层板2上设有若干贯通层板2的小孔21，可以以避免小颗粒在层板2上堆积。

本实用新型光罩推车100的导向轮采用带刹车的万向轮，可防止静电产生。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (9)

1.一种光罩推车(100)，其特征在于：包括主支架(1)以及置于主支架(1)上用以放置光罩的层板(2)，所述层板(2)上固定有若干沿第一水平方向间隔排布的第一圆棒(4)，所述相邻两个第一圆棒(4)之间以及最外侧的第一圆棒(4)与主支架(1)之间形成收容光罩的收容槽，所述光罩呈竖直间隔分离式摆放在层板(2)上。

2.根据权利要求1所述光罩推车，其特征在于：所述若干第一圆棒(4)包括至少两列，所述两列第一圆棒(4)沿与第一水平方向垂直的第二水平方向间隔排布，所述相邻两列第一圆棒(4)之间还设有区隔该两列第一圆棒的第二圆棒(5)。

3.根据权利要求2所述光罩推车，其特征在于：所述第一圆棒(4)与第二圆棒(5)皆呈“ㄇ”型，所述“ㄇ”型圆棒包括用以间隔分离光罩的限位部(41)以及自限位部(41)两端弯折延伸的安装部(42)，所述安装部(42)与层板(2)固定在一起。

4.根据权利要求1所述光罩推车，其特征在于：所述层板(2)上设有若干贯通层板以避免小颗粒堆积的小孔(21)。

5.根据权利要求1所述光罩推车，其特征在于：所述层板(2)呈长方形，所述层板(2)的四个角与主支架(1)之间设有减震垫(3)，所述减震垫(3)与主支架(1)固定在一起。

6.根据权利要求1所述光罩推车，其特征在于：所述主支架(1)呈长方体结构且包括两层，所述主支架每层的四面设有封板(12)，所述四个封板(12)与层板(2)共同围成一个收容光罩的收容空间。

7.根据权利要求1所述光罩推车，其特征在于：所述主支架(1)的下方还设有防撞块(13)，所述防撞块(13)向外凸出主支架(1)。

8.根据权利要求7所述光罩推车，其特征在于：还包括位于防撞块(13)下方的导向轮(14)以及位于导向轮(14)与防撞块(13)之间的避震连接件(15)，所述避震连接件(15)一端与导向轮(14)连接固定，所述避震连接件(15)另一端与主支架(1)连接固定。

9.根据权利要求8所述光罩推车，其特征在于：所述导向轮(14)为万向轮，所述万向轮上设有刹车系统(16)。

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