CN202275804U - 一种用于制造液晶及oled面板的湿刻机水洗槽喷嘴 - Google Patents
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Abstract
一种用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴，通过在上喷杆和下喷杆上设置喷嘴组，且喷嘴组上部的喷嘴排列的密度大于在下部的喷嘴排列的密度，这样的结构使得液晶及OLED面板就不会由于上下部水洗置换不同而产生水洗不匀，减少此类水洗不匀不良的缺陷，提高液晶及OLED面板的良品率。
Description
技术领域
本实用新型属于OLED装备技术领域，具体涉及一种用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴。
背景技术
目前用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴位置排列采用比较广泛的工艺是将喷嘴等距排列，而近几年的湿刻机大部分改为倾斜搬送基板后，因为下部水洗置换相对上部充分而造成水洗不均匀，使得液晶及OLED面板在生产过程中出现水洗不匀不良的缺陷。
发明内容
为了克服上述现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴，通过在上喷杆和下喷杆上设置喷嘴组，且喷嘴组上部的喷嘴排列的密度大于在下部的喷嘴排列的密度，这样的结构使得液晶及OLED面板就不会由于上下部水洗置换不同而产生水洗不匀，减少此类水洗不匀不良的缺陷，提高液晶及OLED面板的良品率。
为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：
一种用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴，包括在对应的湿刻机水洗槽内待洗的液晶及OLED面板1的运行方向的上方和下方，分别设置与该运行方向平行的上喷杆2和下喷杆3，在上喷杆2和下喷杆3上且面向待洗的液晶及OLED面板1的垂直位置分别设置有喷嘴组，所述的喷嘴组内在上部的喷嘴4排列的密度大于在下部的喷嘴4排列的密度。
通过在上喷杆2和下喷杆3上设置喷嘴组，且喷嘴组上部的喷嘴4排列的密度大于在下部的喷嘴4排列的密度，这样的结构使得液晶及OLED面板1就不会由于上下部水洗置换不同而产生水洗不匀，减少此类水洗不匀不良的缺陷，提高液晶及OLED面板的良品率。
附图说明
附图为本实用新型的用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴的工作原理示意图，其中喷嘴上连接的三角形表示从喷嘴喷洒出水的示意方向形状。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作更详细的说明。
如附图所示，用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴，包括在对应的湿刻机水洗槽内待洗的液晶及OLED面板1的运行方向的上方和下方，分别设置与该运行方向平行的上喷杆2和下喷杆3，在上喷杆2和下喷杆3上且面向待洗的液晶及OLED面板1的垂直位置分别设置有喷嘴组，所述的喷嘴组内在上部的喷嘴4排列的密度大于在下部的喷嘴4排列的密度。
本实用新型的工作原理为当待洗的液晶及OLED面板1沿着对应的运行方向进入湿刻机水洗槽内时，启动上喷杆2和下喷杆3上的喷嘴组内的所有喷嘴4，喷射出垂直于液晶及OLED面板1的水柱来对其进行清洗。
通过在上喷杆2和下喷杆3上设置喷嘴组，且喷嘴组上部的喷嘴4排列的密度大于在下部的喷嘴4排列的密度，这样的结构使得液晶及OLED面板1就不会由于上下部水洗置换不同而产生水洗不匀，减少此类水洗不匀不良的缺陷，提高液晶及OLED面板的良品率。
Claims (1)
1.一种用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴，包括在对应的湿刻机水洗槽内待洗的液晶及OLED面板(1)的运行方向的上方和下方，分别设置与该运行方向平行的上喷杆(2)和下喷杆(3)，在上喷杆(2)和下喷杆(3)上且面向待洗的液晶及OLED面板(1)的垂直位置分别设置有喷嘴组，其特征在于：所述的喷嘴组内在上部的喷嘴(4)排列的密度大于在下部的喷嘴(4)排列的密度。
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| CN2011202258382U CN202275804U (zh) | 2011-06-29 | 2011-06-29 | 一种用于制造液晶及oled面板的湿刻机水洗槽喷嘴 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111589752A (zh) * | 2014-04-01 | 2020-08-28 | 株式会社荏原制作所 | 清洗装置 |
| US11837477B2 (en) | 2014-04-01 | 2023-12-05 | Ebara Corporation | Washing device and washing method |
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2011
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