CN202254902U - 炉内压力平衡控制系统 - Google Patents

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郑建宇
肖东辉
王广明
贺小平
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Beijing North Microelectronics Co Ltd
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BEIJING FLIGHT BODA ELECTRONICS Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种炉内压力平衡控制系统，包括：压力检测单元，其检测端分别设置在炉体装置的进气端和排气端，以检测炉内不同位置的压力值；压力控制单元，与压力检测单元和气体补偿单元相连，压力控制单元根据压力检测单元的测量值控制气体补偿单元工作；气体补偿单元，与炉体装置的排气端相连，为该排气端补充气体。本实用新型根据设定的炉内压力值，由排气管道往外部抽风，使炉口与炉尾的压差值达到相对平衡，尤其是在炉体装置内设置压力检测点，实时检测炉体装置不同位置的压力值，并传送给压力控制单元，由压力控制单元判定是否需要对排气管道进行气体补偿，达到炉内压力平衡的目的，该控制系统装置结构简单、实用性强、控制精度高。

Description

炉内压力平衡控制系统
技术领域
本实用新型涉及压力平衡调节技术，特别是涉及一种炉内压力平衡控制系统。
背景技术
半导体或太阳能扩散炉设备中，传统的扩散炉生产工艺中采用非闭管方式，此种方式由于对炉内的压力没有约束和控制，不能达到相应的炉内压力平衡，所以传统设备在工艺水平上想要实现扩散工艺中炉内压力平衡的标准具有一定的难度。
随着半导体工业的飞速发展，对扩散工艺均匀性及工艺扩展性的要求越来越高，同时对于扩散设备的炉内压力控制提出了相应的全新标准，因此，扩散炉炉内压力平衡的实现是半导体工业发展的一个关键环节。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型要解决的技术问题是如何实现扩散炉炉内压力的平衡控制。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种炉内压力平衡控制系统，其包括：
压力检测单元，其检测端分别设置在炉体装置的进气端和排气端，以检测炉内不同位置的压力值；
压力控制单元，与所述压力检测单元和气体补偿单元相连，所述压力控制单元根据压力检测单元的测量值控制气体补偿单元工作；
气体补偿单元，与所述炉体装置的排气端相连，为该排气端补充气体。
其中，所述炉体装置内设置有进气管道，压力检测单元的一个检测端设置在进气管道的出气口。
其中，所述炉体装置内设置有排气管道，压力检测单元的另一个检测端设置在该排气管道内，气体补偿单元与该排气管道相连。
其中，所述进气管道的出气口设置在炉体装置的炉门处，进气管道的进气口设置在炉体装置的炉尾处。
其中，所述排气管道的进气口设置在炉体装置的炉门处，排气管道的出气口设置在炉体装置的炉尾处。
(三)有益效果
上述技术方案所提供的炉内压力平衡控制系统，根据设定的炉内压力值，由排气管道往外部抽风，使炉口与炉尾的压差值达到相对平衡，尤其是在炉体装置内设置压力检测点，实时检测炉体装置不同位置的压力值，并传送给压力控制单元，由压力控制单元经过计算判定是否需要对排气管道进行气体补偿，从而使得炉体装置内压力值精确控制在设定值范围之内，达到压力平衡的目的，该控制系统装置结构简单、实用性强、控制精度高。
附图说明
图1是本实用新型实施例的炉内压力平衡控制系统的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
图1示出了本实用新型实施例的炉内压力平衡控制系统的结构示意图。该炉内压力平衡控制系统，具有专门的压力控制单元和气路流量计模块进行配套实时控制，保证炉内外压差为定值，并可根据工艺需求改变压力差值设定值等高标准要求，进而实现炉内压力平衡控制，由此提升扩散系统设备的整体水平，满足了当前半导体、太阳能电池行业扩散工艺发展的需要。
具体地，本实施例炉内压力平衡控制系统包括：压力检测单元，其设置有至少两个检测端，分别设置在炉体装置的进气端和排气端，以检测炉内不同位置的压力值；压力控制单元与压力检测单元和气体补偿单元相连，压力控制单元根据压力检测单元的测量值控制气体补偿单元工作；气体补偿单元与炉体装置的排气端相连，为该排气端补充气体。
炉体装置内设置有进气管道和排气管道，炉体装置具有炉门和炉尾两端，优选将进气管道与外部气源相连接的进气口设置在炉尾一端，将进气管道的出气口设置在炉门一端；而排气管道与外部抽排风系统相连接的出气口设置在炉尾一端，排气管道的进气口设置在炉门一端，这样，可以将压力检测单元的检测端分别设置在炉门处的进气管道的出气口位置处和排气管道的出气管道上，而气体补偿单元与排气管道相连，为排气管道进行气体补偿。
本实施例炉内压力平衡控制系统的具体工作过程为：由压力检测单元实时检测炉体装置两端的压力值，将该压力值传送给压力控制单元，压力控制单元计算压差值，并与预先设置的压差值进行比较，若压力控制单元计算得到的压差值低于预先设定的压差值时，压力控制单元即启动气体补偿单元，为排气管道补偿气体，使控制单元计算得到的压差值恢复至预先设定的压差值，达到压力平衡的目的。
由以上实施例可以看出，本实用新型实施例根据设定的炉内压力值，由排气管道往外部抽风，使炉口与炉尾的压差值达到相对平衡，尤其是在炉体装置内设置压力检测点，实时检测炉体装置不同位置的压力值，并传送给压力控制单元，由压力控制单元经过计算判定是否需要对排气管道进行气体补偿，从而使得炉体装置内压力值精确控制在设定值范围之内，达到压力平衡的目的，该控制系统装置结构简单、实用性强、控制精度高。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.炉内压力平衡控制系统，其特征在于，包括：
压力检测单元，其检测端分别设置在炉体装置的进气端和排气端，以检测炉内不同位置的压力值；
压力控制单元，与所述压力检测单元和气体补偿单元相连，所述压力控制单元根据压力检测单元的测量值控制气体补偿单元工作；
气体补偿单元，与所述炉体装置的排气端相连，为该排气端补充气体。
2.如权利要求1所述的炉内压力平衡控制系统，其特征在于，所述炉体装置内设置有进气管道，压力检测单元的一个检测端设置在进气管道的出气口。
3.如权利要求2所述的炉内压力平衡控制系统，其特征在于，所述炉体装置内设置有排气管道，压力检测单元的另一个检测端设置在该排气管道的出气口处，气体补偿单元与该排气管道相连。
4.如权利要求3所述的炉内压力平衡控制系统，其特征在于，所述进气管道的出气口设置在炉体装置的炉门处，进气管道的进气口设置在炉体装置的炉尾处。
5.如权利要求3所述的炉内压力平衡控制系统，其特征在于，所述排气管道的进气口设置在炉体装置的炉门处，排气管道的出气口设置在炉体装置的炉尾处。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103031417A (zh) * 2012-12-29 2013-04-10 江苏丰东热技术股份有限公司 一种热处理用真空炉炉气平衡置换系统及平衡置换方法
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CN109387088A (zh) * 2018-11-19 2019-02-26 中国恩菲工程技术有限公司 阳极炉系统及其控制方法
CN110538620A (zh) * 2018-11-14 2019-12-06 北京北方华创微电子装备有限公司 反应腔室的压力控制系统及压力控制方法

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