CN202237705U - 多晶硅尾气吸附装置 - Google Patents

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Abstract

一种多晶硅尾气吸附装置，由尾气入口、尾气出口、再生气入口、再生气出口、蒸汽入口、冷凝水出口、筒体组成。尾气入口和尾气出口分别设置于吸附装置的下端和顶端，再生气入口和再生气出口设置于筒体一侧的下部和上部，筒体另一侧的下部和上部分别设置蒸汽入口和冷凝水出口。该装置对尾气进行有效的治理，不仅可以提高原料的利用率，还可以降低三废的排放量。

Description

多晶硅尾气吸附装置
技术领域
本实用新型涉及一种多晶硅行业尾气处理装置，属环保产品领域。 
背景技术
多晶硅企业在还原三氯氢硅过程中会产生大量氯硅烷尾气，成分和结构复杂，主要是四氯化硅和三氯氢硅，其次还有二氯二氢硅等多种硅烷形式，分离和精馏比较困难，转化率也非常低。目前技术路线比较可行且又比较经济的办法就是通过焚烧高温水解或低温水解氯硅烷气体，产生25%以上的盐酸和二氧化硅，然后解析盐酸回收氯化氢到系统中再利用或将盐酸出售，副产的二氧化硅含杂质较多，运输不便，不具备商品价值，无法出售；直接排放环保部门又不允许，找地方填埋代价太大同时还会改变土壤的酸碱度，污染地下水。所以必须对多晶硅行业尾气进行处理。 
发明内容
     本实用新型的目的是针对现有技术的不足提供一种低碳、环保的多晶硅尾气原料吸附回收装置。 
     本实用新型的结构包括：尾气入口、尾气出口、再生气入口、再生气出口、蒸汽入口、冷凝水出口、筒体。 
尾气入口和尾气出口分别设置于吸附装置的下端和顶端，再生气入口和再生气出口设置于筒体一侧的下部和上部，筒体另一侧的下部和上部分别设置蒸汽入口和冷凝水出口，筒体内装有吸附剂活性炭。 
本实用新型的有益效果是：多晶硅行业尾气均为可回收的产品或可循环使用的原料。对尾气进行有效的治理，不仅可以提高原料的利用率，还可以降低三废的排放量。 
附图说明
     附图1是本实用新型的结构示意图； 
     图中1、尾气入口，2、尾气出口，3、再生气入口，4再生气出口，5、蒸汽入口，6、冷凝水出口，7、筒体。
具体实施方式
  本实用新型的结构包括：尾气入口、尾气出口、再生气入口、再生气出口、蒸汽入口、冷凝水出口、筒体。 
尾气入口和尾气出口分别设置于吸附装置的下端和顶端，再生气入口和再生气出口设置于筒体一侧的下部和上部，筒体另一侧的下部和上部分别设置蒸汽入口和冷凝水出口。 
由于多晶硅尾气属间歇性排出，尾气排放量较大时，利用活性炭对氯硅烷的吸附作用，当尾气中氯化氢、氢气及少量未液化的氯硅烷经过活性炭后，其中的氯硅烷就被活性炭吸附，当活性炭吸附饱和后，由蒸汽加热，脱出吸附的氯硅烷，未被吸附的氯化氢经水吸收后，变为副产品盐酸外售。氢气经过水封放空处理。 

Claims (1)

1.一种多晶硅尾气吸附装置，其特征是：所述装置由尾气入口、尾气出口、再生气入口、再生气出口、蒸汽入口、冷凝水出口、筒体组成；尾气入口和尾气出口分别设置于吸附装置的下端和顶端，再生气入口和再生气出口设置于筒体一侧的下部和上部，筒体另一侧的下部和上部分别设置蒸汽入口和冷凝水出口。
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